Интерферометр для измерения линейных перемещений объектов

(5 в)5 6 01 В 1 ТЕНТНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) Н 1 н, ( Эл лучч +т Е т.к СВИДЕТЕЛ ЬСТ ВТОРС 2 ботает след Интерфероме образом.Модулятор 2 р ризованное излуч ка, направленных сщепляет линейно поля ние лазера 1 на два пуч од углом один к другому(71) Особое конструкторское бюро машиностроения при Саратовском заводе "Тантал" (72) А,Н.Смоляков, Е,А,Сигитов и Ф.Л.Лазовский(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТОВ (57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, к интерферометрическим измерениям линейных перемещений объектов. Цель изобретения -Изобретение относится к контрольно-измерительной тсхнике, к интерферометрическим измерениям линейных перемещений объектов.Целью изобретения является повышение технологичности и точности измерений посредством совмещения в пространстве двух пучков излучений с различными ориентациями поляризации,На чертеже приведена схема предлагаемого интерферометра,Интерферометр содержит лазер 1 линейно поляризованного излучения, дифракционный фазовый модулятор 2, предназначенный для расщепления излучения лазера на два пучка, оптический элемент 3, предназначенный для изменения направления пучков излучения, полуволновую фазовую пластину 4, установленную на пути одного из пучков излучения. отражаповышение технологичности и точности измерений посредством совмещения в пространстве двух пучков излучения с различными ориентациями поляризации, Для этого интерферометр снабжен оптическим элементом, предназначенным для изменения направления пучков излучения, полуволновой фазовой пластиной, коллиматором, поляроидом, установленным в опорном канале между светоделителем и фотоприемником, и вторым поляроидом, установленным в рабочем канале между вторым светоделителем и вторым фотоприемником. Оптический элемент, предназначенный для изменения направления пучков излучения, может быть выполнен Я в виде призмы либо в виде оптических клиньев. 2 з.п, ф-лы, 1 ил, оу тель 5. светоделитель 6, коллиматор 7, второй поляриэационный светоделитель 8, не- - а подвижный уголковый отражатель 9, Со подвижный уголковый отражатель 10, уста- С) навливаемый на объекте измерения, поляроиды опорный 11 и измерительный 12, фотоприемники опорный 13 и измерительный 14, Поляроид 11 и фотоприемник 13 установлены в опорном канале интерферо.метра, а коллиматор 7, второй светоделитель 8, отражатели 9 и 10, поляроид 12 и фотоприемник 14 - в рабочем канале, Опти- а ческий элемент 3 может быть выполнен в виде призмы либо в виде оптических клиньев.тр ра ующимОдин из пучков после модулятора 2 имеет частоту в 1, а второй -а, Оптический элемент 3 изменяет направления пучков излучения на взаимно параллельные,После элемента 3 один из пучков излучения проходит через полуволновую фазовую пластину 4, которая поворачивает плоскость поляризации на 90, Второй пучок попадает на отражатель 5, установленный под углом к его оси, и, отражаясь от него, пересекается с первым пучком на светоделителе 6,Светоделитель 6 делит образовавшийся совмещенный пучок излучения на две части, каждая из которых содержит две волны с ортогональными поляризациями, Одна часть совмещенного пучка поступает через поляроид 11 на фотоприемник 13 опорного канала, Другая часть пучка направляется через коллиматор 7 на второй поляризационный светоделитель 8, который разделяет компоненты излучения по поляризации, а тем самым и по частоте, направляя излучение с одной из частот на неподвижный уголковый отражатель 9, а с другой частотой - на подвижный уголковый отражатель 10. После отражателей 9 и 10 пучки в светоделителе 8 объединяются и поступают через поляроид 12 на фотоприемник 14, который на выходе формирует электрический сигнал, частота которого отличается от опорной и несет информацию о перемещении уголкового отражателя 10.В предложенном интерферометре происходит преобразование двух разночастотных пучков излучения из волн с одинаково ориентированными линейными поляризациями в один пучок излучения из двух волн с ортогональными линейными поляризациями. Это обеспечивает возможность уменьшения габаритов оптической схемы и упрощает пространственную развязку лучей по разным направлениям, что позволяет повысить технологичность и точность измерений,Формула изобретения1. И нтерферометр для измерения линейных перемещений объектов, содержащий лазер линейно поляризованного излучения ирасположенные вдоль пучка излучения дифракционный фазовый модулятор, расщепляющий излучение лазера на два пучка, первый"0 светоделитель и фотоприемник, образующиеопорный канал, отражатель, установленныймежду дифракционным модулятором и первым светоделителем, второй светоделитель,отражатель, устанавливаемый на объекте, и15 второй фотоприемник, образующие рабочийканал, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения технологичности и точности измерений, он снабжен оптическим элементом, предназначенным для изменения20 направления пучков излучения, установленным между дифракционным модулятором ипервым светоделителем, полуволновой фазовой пластиной, установленной между оптическим элементом, предназначенным дляизменения направления пучков излучения,и первым светоделителем, коллиматором,установленным в рабочем канале междупервым и вторым светоделителями, поляроидом, установленным в опорном канале30 между первым светоделителем и фотоприемником, вторым поляроидом, установленным в рабочем канале между вторымсветоделителем и вторым фотоприемником,2. Интерферометр по п.1, о т л и ч а ю 35 щ и й с я тем, что оптический элемент,предназначенный для изменения направления пучков излучения, выполнен в видепризмы.3, Интерферометр по п,1, о т л и ч а ю 40 щ и й с я тем, что оптический элемент,предназначенный для изменения направления пучков излучения, выполнен в видеоптических клиньев.1800260 Составитель Б,ЕвстратовТехред М,Моргентал Корректор П.Гереши Редактор С,Кулакова Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Заказ 1156 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5