Инструмент для ультразвукового присоединения микропроволоки

(51)5 В 23 К 11/30, 20/10//В 23 К 101:4 ОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТОТКРЫТИЯ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ УЛЪТРАЗВУКОВОГО ПРИСОЕДИНЕНИЯ МИКРОПРОВОЛОКИ боров, в частности для присоединения микропроволоки к контактным площадкам интегральных схем, Сущность изобретения: устройство содержит стержень с боковым отверстием, через которое подается привариваемая микропроволока, и оправку-фиксатор с хвостовиком с открытым пазом. Оправка-фиксатор выполнена из полимерного материала и установлена с возможностью возвратно-поступательного перемещения, что позволяет проводить дополнительную центровку подаваемой микропроволоки, 2 ил.(57) Использование; в радиоэлектронике при производстве полупроводниковых приботает следующим обраИнструмент разом.На стержень 1 с небольшим натягом устанавливается оправка-фиксатор 4. Проводится предварительная центровка оправки-фиксатора, в частности его хвостовика относительно бокового отверстия инструмента. Через боковое отверстие инструмента 2 подают под рабочий торец стержня микропроволоку 3, Затем проводят окончательную центровку микропроволоки, поджимая ее хвостовиком оправки-фиксатора, принудительно опущенного вниз, Инструмент с микропроволокой опускают вниз до соприкосновения с контактной площадкой на кристалле (не показано), подают ультразвуковые колебания, вследствие чего происходит присоединение микропроволоки с контактной площадкой,При изменении технологического цикла, связанного с заменой диаметра микро- проволоки, проводится перемещение оправки-фиксатора в нужном направлении (вверх-вниз), в зависимости от диаметра Изобретение относится к ультразвуковой сварке и предназначено для использования в микроэлектронике, а именно для присоединения микропроволоки к контактным площадкам интегральных схем.Цель изобретения - повышение качества сваоного соединения и расширение технологических возможностей инструмента,Указанная цель достигается тем, что инструмент снабжен оправкой-фиксатором, изготовленным из полимерного материала, установленной на нем с возможностью возвратно-поступательного перемещения и выполненной с хвостовиком, имеющим открытый паз и обращенным в сторону рабочего торца,На фиг,1 изображен предлагаемый инструмент; на фиг.2 - вид по стрелке А, на фиг.1.Инструмент состоит из стержня 1 (изготавливается в соответствии с ОСТ 1131.5001,0 - 85) с наклонным отверстием 2, через которое подают привариваемую микропроволоку 3, и оправки-фиксатора 4(ФС1 С)Рмикропроволоки, в результате чего отпадает необходимость в замене инструмента,Оснащение инструмента оправкой-фиксатором с хвостовиком обеспечивает дополнительную центровку микропроволоки, устраняет смещение ее в зоне сварки и приводит к стабилизации качества сварного соединения, т.е, увеличивая дополнительное напряжение на микропроволоку, осуществляет ее фиксацию. К тому же качество сварки улучшается благодаря тому, что оправка-фиксатор является амортизатором и частично устраняет удары при поступательной подаче микропроволоки в зону сварки, Амортизационные свойства оправки-фиксатора достигается за счет того, что он выполнен из пластического материала и снабжен зазором между инструментом и рабочим механизмом.Предлагаемая конструкция устройства позволяет расширить его технологические возможности из-за использования инструмента с щах диаметром бокового отверстия по отношению к диаметру применяемой микропроволоки и независимо от ее диаметра проводить качественную сварку, не проводя замены инструмента, что обеспечивается перемещением оправки-фиксатора с последующим поджатием микропроволоки. Применение щах диаметра бокового отверстия инструмента по сравнению с диаметром применяемой микропроволоки, уменьшает забивку его грязью и налетом с микропроволоки и облегчает его реставрацию. Благодаря тому, что оправка-фиксаторвыполнена из полимерного материала, исключены потери энергии ультразвуковых колебаний, а выполнение его с хвостовиком5 овальной формы в виде Ч счищает налетгрязи и мелкие заусенцы на микропроволоке.Инструмент по сравнению с аналогичными образцами позволит улучшить качест 10 во сварки за счет устранения смещениямикропроволоки в зоне сварки, что даст возможность увеличить , выхода годных изделий на сборочных операциях на 2 - 5,стабилизировать процесс сварки, что сни 15 зит простои оборудования за счет наладкина режим сварки, а также улучшить условиядля реставрации инструмента, тем самымповышая срок его службы,20 Формула изобретенияИнструментдля ультразвукового присоединения микропроволоки, содержащий стержень, имеющий продольную канавку на рабочем торце, и боковое отверстие для 25 подачи микропроволоки, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения качества сварного соединения и расширения технологических возможностей, он снабжен оправкой-фиксатором из полимерного 30 материала, выполненной с хвостовиком,имеющим открытый паз и обращенным в сторону рабочего торца, и установленной с возможностью возвратно-поступательного перемещения на инструменте.1761408 Составитель З,ХаустоваТехред М.Моргентал Корректор Н,Ревская Редактор Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Заказ 3216 Тираж Подписное 8 НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5