Способ регулирования расхода реагента и устройство для его осуществления

)5 6 05 О 7/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ . ПРИ ГКНТ СССР ОМИТЕТОТКРЫТИЯ И К АВТ Дь ОПИСАНИЕ ИЗОБР ОУУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Специальное конструкторское бюрститута радиотехники и электроникиСССР(56) Авторское свидетельство СССРИт 1015343, кл, 6 05 О 7/00, 1981.Авторское свидетельство СССРМ 1089460, кл, 6 05 О 7/00, 1982. РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОД СТРОЙСТВО ЛЯ ЕГО ОСУ(57) Изобретение относится к подготовке и анализу газов и может быть использовано для подготовки газов в технологических процессах производства электронной техники, Цель изобретения - увеличение быстродействия регулирования. Цель достигается за счет того, что в устройство дополнительно введены ультразвуковой возбудитель 9 и автогенератор 10. 2 с. и, ф-лы, 1 ил,10 15 Изобретение относится к способам подготовки и анализа газов и может применяться в системах управления технологическими процессами, преимущественно при производстве электронной техники.Известен способ регулирования расхода реагента, при котором производят испарение реагента из твердой фазы.Недостатками данного способа являются его ограниченные функциональные возможности, ввиду невозможности производить испарение некоторых реагентов из твердой фазы, а также большая инерционность процесса, т.е. низкое быстродействие регулирования,Наиболее близким к предлагаемому является способ регулирования расхода реагента, при котором пропускают газ-носитель через раствоо реагента, сравнивают его с заданным и формируют разностный сигнал, в соответствии с которым управляют величиной потока газа-носителя,Устройство для осуществления данного способа содержит сосуд с реагентом, снабженный впускным и выпускным каналами, измеритель концентрации реагента, измеритсль расхода газа, расположенный на впускном канале, два чувствительных элемента, расположенных на впускном и выпускном каналах и подключенных к измерителю концентрации реагента, задатчик расхода реагента, вычислитель, содержащий вычитатель и каскад умножения, к первому входу которого подключен выход измерителя концентрации реагента. а к второму входу - измеритель расхода газа, причем к первому входу вычитателя подключен выход задатчика расхода реагента, к второму входу - выход каскада умножения, а к выходу вычитателя - регулируемый клапан, установленный на впускном канале,Недостатком данного способа является низкое быстродействие процесса регулирования, обусловленное тем., что управление величиной расхода газа-носителя производят с помощью электромеханических устройств (клапанов), быстродействие которых невелико. а также тем, что имеется временная задержка между открытием клапана и достижением потоком газа-носителя сосуда с реагентом.Целью изобретения является увеличение быстродействия регулирования,Цель достигается тем, что в способе регулирования оасхода реагента, при отором пропускают газ-носитель через раствор реагента, измеряют действительный расход реагента, сравнивают его с заданным и формируют разностный сигнал, возбуждают 25 30 35 40 45 50 55 ультразвуковые колебания в объеме реагента, интенсивность которых пропорциональна разностному сигналу,В устройство для осуществления данного способа, содержащее сосуд с реагентом, снабженный впускным и выпускным каналами, измеритель концентрации реагента, измеритель расхода газа, расположенный на впускном канале, два чувствительных элемента, расположенных на впускном и выпускном каналах и подключенных к измерителю концентрации реагента, задатчик расхода реагента, вычислитель, содержащий вычитатель и каскад умножения, к первому входу которого подключен выход измерителя реагента, причем к первому входу вычитателя подключен выход задатчика расхода реагента, к второму входу - выход каскада умножения, дополнительно введены ультразвуковой возбудитель, связанный с сосудом с реагентом, и генератор, подключенный к ультразвуковому возбудителю, причем вычитатель выходом подключен к управляющему входу генератора, а к второму входу каскада умножения выход измерителя расхода газа,В результате проведенного патентного поиска не обнаружено технических решений, содержащих отличительные признаки предлагаемого изобретения.Возбуждение ультразвуковых колебаний в обьеме раствора реагента позволяет с высоким быстродействием менять концентрацию реагента в объеме газа-носителя; при этом увеличивается быстродействие способа в целом за счет исключения из системы регулирования элементов с низким быстродействием электромеханический регулируемый клапан и газовый канал от этого клапана до сосуда с реагентом).На чертеже показана блок-схема устройства для реализации предлагаемого способа.Устройство для регулирования расхода реагента содержит сосуд с реагентом 1, имеющий впускной 2 и выпускной 3 каналы, измеритель 4 расхода газа, расположенный на впускном канале 2, два чувствительных элемента 5, расположенных на впускном 2 и выпускном 3 каналах, измеритель 6 концентрации реагента, с которым соединены чувствительные элементы 5, вычислитель 7, состоящий из вычитателя 8 и каскада 9 умножения, и задатчик 10 расхода реагента, при этом входы каскада 9 умножения соединены с измерителем 4 расхода газа и измерителем 6 концентрации реагента, выход каскада умножения соединен с одним из входов вычетателя 8, с вторым входом которого соединен задатчик 10 расхода реагента, вы6 1746364 25 Составитель И,КняжеченкоТехред М.Моргентал Корректор. Е,Островская Редактор Г.Гербер Заказ 2395 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент"., г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 ход которого соединен с генератором 11 который соединен с ультразвуковым возбудителем 12, связанным с сосудом с реагентом 1.Ультразвуковой возбудитель 12 может 5 быть выполнен в виде пьезоэлектрического .либо магнитострикционного преобразователя и в простейшем случае это может быть диск из пьезокерамики, приклеенный к основанию сосуда с реагентом 1. Остальные 10 узлы устройства аналогичны узлам.известного.Ф ор мул а изобретен и я1. Способ регулирования расхода реагента, при котором пропускают газ-носитель че рез раствор реагента, измеряют действительный расход реагента, сравнивают его с заданным и формируют разностный сигнал, отличающийся тем,что,сцелью увеличения быстродействия регулирования, 20 возбуждаютультразвуковые колебания в объеме реагента, интенсивность которых пропорциональна разностному сигналу. 2. Устройство для регулирования расхода реагента, содержащее сосуд с реагентом, снабженный впускным и выпускным каналами, измеритель расхода газа, расположенный на впускном канале, два чувствительных элемента, расположенных на впускном и выпускном каналах и подключенных к измерителю концентрации реагента, задатчик расхода реагента, вычислитель, содержащий вычитатель и каскад умножения, к первому входу которого подключен выход измерителя концентрации реагента. причем к первому входу вычитателя подключен выход эадатчика расхода реагента, к второму входу - выход каскада умножения, отличающееся тем,чтовустройство введены ультразвуковой возбудитель, связанный с сосудом с реагентом, генератор, подключенный к ультразвуковому возбудителю, причем вычитатель выходом подключен к управляющему входу генератора, а к второму входу каскада умножения подключен выход измерителя расхода газа.