Молекулярный вакуумный насос

Союз Советских Социалистицеских Республиквидетельстваисимое от л, 2 д,З Государствеиныи комитет по делам изобретеиий и открытий СССРПриоритет УДК 621,521(088.8)621,527,8(088.8) 621.524.1(088.8) убликовано 2,Ч 111.1965, Бюллетеньта опубликования описания 19.Х.19 б 5 Авторыизобретени, М, Тузанкин и Л. А, Беляев аявитель МОЛ Е КУЛЯ Р Н ЪЙ ВАКУУМ Н Ъ 1 И На фиг. 1 изобран в продольном и по А- ием двихкения отка рерии к центру; на ф лением движения отка ра к периферии; на ф ярусным выполнением дписная групп 12 Заявлено 24.1 Ч,1964 ( 8 присоединением заявкиИзвестны молекулярные вакуумные насосы,в корпусе которых размещен ротор, выполненный в виде дисков с прорезями или лопатками, установленными перпендикулярно осивращения ротора,5Предлагается насос, в корпусе которого неподвижные лопатки установлены по концентрическим окруженностям параллельно оси вращения ротора, а между ними помещены рядырабочих лопаток, укрепленных на диске ротора. Чтобы уплотнить зазор между диском ротора и корпусом, в последнем сделаны спиральной формы каналы, идущие от центра кпериферии. Для откачки двумя радиальнымипотоками неподвижные и рабочие лопатки выполцены двухъярусными.Подобная конструкция насоса позволяетсоздать радиальный поток откачиваемого газа, что увеличивает быстроту откачки,В насосе могут быть использованы также 20два или несколько роторов, вращающихся навстречу друг другу. ен предлагаемый насос А разрезах, с направле нваемого газа от перииг. 2 - то же, с направчиваемого газа от центиг. 3 - то же, с двухьнеподвижных и рабо чих лопаток; на фиг. 4 - то же, с двумя вращающимися роторами.В корпусе 1 насоса по концентрическим окружностям параллельно оси 2 вращения ротора установлены неподвижные лопатки 3, между которыми помещены ряды укрепленных на диске 4 ротора рабочих лопаток 5, При этом могут быть использованы лопатки трехгранного, трапецеидального, ромбического и др. профилей. Их располагают в ряд между двумя окружностями под углом а к плоскости, касательной к наружной окружности. В результате такой расстановки лопаток пазы между ними расширяются от центра к периферии, что позволяет увеличить быстроту откачки по сравнению с известной расстановкой, когда пазы одинаковы по всей ширине лопатки. Рабочие лопатки одной стороной крепятся на диске ротора, а другой - к бандажным кольцам б. аз из объема откачиваюг через патрубок 7 и нагнетают через патрубок 8 к форвакуум. ному насосу. На фиг. 1, 3, 4 поток откачиваемого газа направлен от периферии к центру и, следовательно, разъем 9 корпуса насоса находится в области высокого вакуума. В насосе на фиг, 2 поток газа направлен от центра к периферии, и поэтому разъем 9 находится в области низкого вакуума, что является пре 174314имуществом по сравнению с насосом, изображенным на фиг. 1.Полость высокого вакуума от низкого в зазоре между диском ротора и корпусом отделяют с помощью спиральных каналов 10, направленных от центра к периферии. Каналы вместе с вращающейся нижней плоскостью диска образуют обычный молекулярный насос, используемый в данном случае в качестве уплотнителя.Для откачки газа двумя радиальными потоками (фиг, 3) неподвижные н рабочие лолатки выполнены двухъярусными. С целью улучшения условий работы высота таких лопаток может быть уменьшена к периферии.Предлагаемый насос можно также выполнить с двумя (фиг. 4) или несколькими роторами, вращающимися навстречу друг другу, что увеличит эффективность откачки, При этом направление откачки центральной и периферийных частей совпадет,Предмет изобретения1. Молекулярный вакуумный насос с размещенным в его корпусе ротором, отличаюи 1 ийся тем, что, с целью создания радиального потока откачиваемого газа для увеличения быстроты откачки, в корпусе параллельно оси вращения ротора по концентрическим окружностям установлены неподвижные лопатки, между которыми помещены ряды укрепленных па диске ротора рабочих лопаток. 10 2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, сцелью уплотнения зазора между диском ротора и корпусом, в последнем предусмотрены спиральной формы каналы, направленные от 15 центра к периферии.3, Насос по п. 1, отличающийся тем, что, сцелью откачки двумя радиальными потоками, неподвижные и рабочие лопатки выполнены двухъярусными.4. Насос по п, 1, отличающийся тем, что, сцелью увеличения эффективности откачки, в нем предусмотрены два или несколько роторов, вращающихся навстречу друг другу.