Устройство для юстировки предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью

СООЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК О 9) ( 1) ПИСАНИЕ ТЕНИ ВТОРСКО ВИДЕТЕЛЬСТВ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) Патент ФРГМ 1772276, кл, 42 Ь 23/26, 18.01.70 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЮСТИРОВКИ ПРЕДМЕТА С НЕПЛОСКОСТНОЙ, РАЗЛИЧНЫМ СПОСОБОМ ОТРАЖАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ(57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для юстировки положения предмета с неплоскостной, различным способом отра(51)5 О 01 М 11/ОО, 0 01 В 11/26 жающей поверхностью, Цель изобретения - повышение точности юстировки и расширение функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета.Иэображение от точечных диафрагм 3 и 13 проецируется объективами 6 и 7 на поверхности юстируемого предмета 17, установленного на трех пьезокерамических столбиках 18-20. Изображение точечных диафрагм вторично переносится объективами 6 и 7 на фотоприемники 9 и 10, При равенстве сигналов с фотоприемников 9 и 10 предмет 17 съюстирован по высоте. Для угловой юстировки предмета, в передней фокальной плоскости объектива 6 установлена круглая диафрагма 5, иэображение которой создается на квадрантном фотоприемнике 15, установленном в задней фокальной плоскости объектива 7, 2 з,п ф- Щ лы, 3 ил.Изобретение относится к оптическомуприборостроению и может быть использовано для юстировки положения предмета снеплоскостной, различным способом отражающей поверхностью.Известно устройство для юстироакипредмета.Недостатки такого устройства - низкаятоиность и невозможность угловой астировки предмета,Целью изобретения является повышение точности юстировки и расширение функциональных возможностей путемюстировки углового положения предмета.На фиг.1 показана функциональная схема устройства; на фиг,2 - взаимное расположение пьезокерамических столбиков, нафиг.З - схема соединения фотоприемников,Устройство для юстировки содержит оптически связанные первый источник 1 излучения, первый конденсор 2, первуюточечную диафрагму 3, первый светоделитель 4, круглую диафрагму 5, первый и второй проекционные объективы 6 и 7, второйсветоделитель 8, первый фотоприемник 9, Спервым саетоделителем 4 оптически связанвторой фотоприемник 10, с вторым светоделителем 8 оптически связаны второй излучатель 11, второй конденсор 12 и втораяточечная диафрагма 13. Между вторым проекционным объективом 7 и вторым светоделителем 8 через третий светоделитель 14введен квадрантный фотоприемник 15, Четвертый светоделитель 16 установлен длякомпенсации хода лучей в устройстве. Юстируемый предмет 17 расположен на трехпьезокерамических столбиках 18, 9 и 20,; Зеркала 21 - 24 введены для уменьшения габаритов устройства.Устройство работает следующим образом,Первый (фиг,1) источник 1 излучения через первый конденсор 2 освещает первуюточечную диафрагму 3. Первый проекционный объектив 6 создает изображение первой точечной диафрагмы 3 на юстируемомпредмете 17. Второй проекционный объектив 7 создает изображение диафрагмы 3через второй светоделитель 8 на первомфотоприемнике 9, Аналогично излучение отвторого источника 11 излучения через конденсор 12 освещает вторую точечную диафрагму 13, затем второй проекционныйобъектив 7 создает ее изображение на юстируемом предмете 17, а первый проекционный объектив 6 через первыйсветоделитель 4 на втором фотоприемнике10,Первый и второй фотоприемники 9 и 10соединены между собой по дифференциаль 5 10 15 20 25 30 35 40 50 55 ной схеме (фиг,З), Если сигналы с фотоприемнйков 9 и 10 различны; что соответствует неточной юстировке предмета 17, при помощи трех пьезокерамических столбиков 18, 19 и 20 фиг,2) перемещают юстируемый предмет 17 до тех пор, пока сигналы с фотоприемников 9 и 10 не сравняются. Этот случай соответствует продольной юстировке предмета 17.Для установки предмета 17 перпендикулярно линии, проходящей через биссектрису угла, образованного оптическими осями проекционных объективов 6 и 7, в передней фокальной плоскости первого проекционного объектива 6 установлена круглая диафрагма 5. Ее изображение после отражения излучения от предмета 17 фокусируется вторым проекционным обьективом 7 через третий светоделитель на квадрантный фотоприемник 15. Угловое отклонение предмета соответствует перемещению изображения диафрагмы 5 по фотоприемнику 15, Наклон предмета 17 также устраняют путем его перемещения при помощи пьезокерамических столбиков 18, 19 и 20 до тех пор, пока изображение круглой диафрагмы 5 не окажется в центре квадрантного фотоприемника 15, Поворот предмета 17 осуществляют относительно двух взаимно перпендикулярных осей 25 и 26,Формула изобретения 1, Устройство для юстировки предмета с неплоскостной, различным способом отражающей поверхностью, содержащее оптически связанные первый источник излучения, первый конденсор, первую точечную диафрагму, первый проекционный объектив, второй проекционный обьектиа, первый приемник излучения, а также блок перемещения предмета, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения точности юстировки, а устройство дополнительно введены оптически связанные второй источник излучения, второй конденсор, вторая точечная диафрагма, а также второй фото- приемник, первый и второй светоделители, причем вторая точечная диафрагма оптически связана с вторым объективом через первый саетоделитель, второй фотоприемник оптически связан с первым обьективом через второй светоделитель, а блок перемещения предмета выполнен в виде трех пьезокерамических столбиков.2, Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем юстировки углового положения предмета, в него дополнительно введены круглая диафрагма, установленная а переднем фокусе первого объектива, третий саетоделитель и квадран1702210 Составитель Л.ПеребейносоваРедактор М.Бандура Техред М.Моргентал Корректор Т.Палий Заказ 4536 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 ельский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 Производственно тный фотоприемник, установленный в задней фокальной плоскости второго объектива и оптически связанный с ним третьимсветоделителем. 3. Устройство по п,2, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что между вторым светоделителем и круглой диафрагмой введен четвертый светоделитель,