Устройство для изготовления периодических структур

,83,85.ЛЕНИЯ тическому повысить путем устости переуглом Ок го блока 3 пластинки ческому рименеаблонов,повыше тур путем нейности устроист Уст стано очник ель 2 лоско роиство вленные 1 когере пучка, Св параллелОсудАР ст 8 е нны и кОмитетПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИ РИ ГКНТ СССР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Институт электроники АН БСС(56) Авторское свидетельство СССМ 1089541, кл, 6 02 В 27/42, 17.03Авторское свидетельство СССй. 1280561, кл. 6 02 В 27/42, 04,11(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР(57) Изобретение относится к опприборостроению и позволяетточность изготовления структурыранения влияния непрямолинейнмещения каретки. В устр-ве подвыходным осям светоделительноразмещены плоскопараллельные Изобретение относится к оптриборостроению и может найтиие, например, для изготовления шшкал и дифракционных решеток.Целью изобретения являетсяие точности изготовления струкстранения влияния непрямолиеремещения каретки.На чертеже изображена схема содержит последовательно и оптически связанные истного излучения, расширитоделительный блок 3, две ьные пластинки 4, 5, стра 4 и 5, установленные дэ каретке 10, Прошедшие через пласти 1 ки 4 и едва параллельных пучка направляготся отражателем 6 на эта: - .ончую структуру 7. В телескопических системах 8, 9 диафрагмы, установленные в фокусе первых линз, отфильтровывают все дифракционные порядки пучков, кроме выбранных. На заготовке 11 со светочуссгвительным слоем совмещенные пучки образуют интерференционную картину, полосы в которой остаются неподвижными относительно поверхности при перемещении каретки 10 в направлении, перпендикулярном осям освещающих пучков. Пластинки 4, 5 развернуты в те же стороны, что и оси соответствующих оборачивающих элементов - систем 8, 9. Приведено соотношение, связывающее толщину пластинок 4, 5 и угол С,1 ил. жатель 6, эталонную структуру 7, обооачивающие элементы в виде телескопических си- ( стем 8, 9, подвижную каретку 10, Позицией фь, 11 обозначена заготовка со светочувсгви- ( ) тельным слоем.Расширитель 2 расположен на пути пучка от источника 1 излучения. За расширителем установлен оптически связанный с ним светоделительный блок 3, Светоделительный блок 3 имеет коэффициент деления 2 и его выходные оси параллельны оптической оси расширителя 2, В выходящих из свето- делителя пучках под углом а к его выходным осям установлены плоскопараллельные пластинки 4, 5. толщиной д, которые оаз1697040 составитель В,Кравчеедактор Г.Наджарян Техред М,Моргентал орректор В,Гирняк каз 4305 ВНИИПИ Госу Тираж ственного ко 113035, МоПодписноениям и открытияя наб., 4/5 и ГКНТ СССР итета по изобре ва, Ж, Раушс Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 устройства перемещения с аэростатическими направляющими. При перемещении каретки, например, с помощью линейного электродвигателя по длине заготовки формируется структура с пространственной частотой 500 лин/мин,Формула изобретения Устройство для изготовления периодических структур, содержащее последовательно установленные и оптически связанные источник когерентного излучения, расширитель пучка, светоделительный блок с коэффициентом деления 2, выходные оси которого параллельны оптической оси . расширителя, эталонную структуру, размещенную на каретке, которая установлена с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном штрихам эталонной структуры, и оборачивающих элемента, выполненных в виде телескопических систем с увеличением Г1 и размещенных в симметричных порядках дифракции эталонной структуры, причем оптические оси оборачивающих элементов пересекаются в плоскости установки заготовки,о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точности изготовления путем устранения влияния непрямолинейности перемещения каретки, оно дополнительно снабжено двумя плоскопараллельными пластинками толщиной д и отражателем, оптически связанными со светоделительным блоком и последовательно установленными между ними иэталонной структурой, причем плоскопа 5 раллельные пластинки размещены на каретке и развернуты в те же стороны, что и осиоптически связанных с ними соответствующих оборачивающих элементов, рабочиеграни плоскопараллельных пластинок ори 10 ентированы под углом а к выходным осямсветоделительного блока, отражатель установлен под углом 45 к эталонной структуре,эталонная структуоа ориентирована параллельно осям расширителя и светоделитель 15 ного блока, а толщина пластинок д и а уголсвязаны соотношениемдсоза (12 2 1/2)=2/в гЛ,со,где и - показатель преломления материалаплоскопараллельных пластинок;гп - номер порядков дифракции, в которых установлены оборачивающие элементы;- расстояние между эталонной структурой и точкой пересечения осей оборачивающих элементов;А - длина волны источника излучения;а - пространственная частота эталонной структуры.