Способ полирования керамики

(я)5 В 24 В 1/О мНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ Оп Синтетическиепервичные жирные спирты фракции С 1 о - С 12 7,0 - 8,1 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Масловский В.В, Справочник по доводочным работам, Харьков, Изд, "Прапор",1985, с.17.(54) СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ КЕРАМИКИ(57) Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к полированию керамикипри изготовлении керамических подложек,Целью изобретения является повышениепроизводительности полирования и вь 1 ходагодных изделий, Способ полирования заИзобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для полирования керамики при изготовлении керамических подложек.Цель. изобретения - повышение производительности процесса полирования высокоглиноземистой керамики и обеспечение высокого выхода годных деталей,Способ полирования заключается в нанесении на полировальник абразивной пасты и последующем полировании с подачей СОЖ в рабочую зону. В качестве последней применяют смесь синтетических первичных жирных спиртов фракции Сю - С 12. метилового эфира синтетических жирных кислот фракции С 12 - С 15 и керосина осветительного при следующем соотношении компонентов, мас.%: ЯЛ 1696266 А 1 ключартся в нанесении на полировальник абразивной пасты, полировании с прижимом обрабатываемых деталей к вращающемуся со скоростью 9,0 - 9,7 с полировальнику с усилием 17 - 23 10 н/м и подачей в зону резания СОЖ. Используют следующий состав СОЖ, мас,0: синтетические первичные жирные спирты фракции С 1 о-С 12 7,0 - 8,1, метиловый эфир синтетические жирные кислоты фракции С 12 - С 15 0,1- 0,3, керосин осветительный - остальное. Способ может быть использован на доводочных стенках различных конструкций. Использование способа позволяет повысить производительность до 30. 1 табл., 1 ил,Метиловый зфирсинтетических жирных кислот фракции С 12 - С 15 0,1 - 0,3 Керосин осветительный ОстальноеПолирование производят с усилием прижатия обрабатываемых деталей к полировальнику (17 - 23) 10 н/м и скоростью вращения полировальника 9,0 - 9,7 с,-1На чертеже показана схема реализации способа полирования высокоглиноземистой керамики. Полирование производят, например, на станке типа ЗШПс доработкой, позволяющей плавно регулировать скорость вращения полировальника, Диск-спутник 1 с наклеенными на него в количестве шестью керамическими подложками 2 прижимается к полировальнику 3 поводком 4, укрепленным на штанге 5, зафиксированной в головке 6. Полировальник установлен нашпинделе 7. СОЖ подается на полировальник из капельницы 8.Для обеспечения оптимального режима полирования скорость вращения полировальника устанавливают равной 9,4 с, чтообеспечивает 40 двойных ходов поводка вминуту, Гидравлическая система станка посредством штанги создает усилие прижимадиска-спутника к полировальнику, равное внашем случае 20 10 н/м, Величину штриха для применяемых дисков-спутников диаметром 220 мм устанавливают равной60 мм. Полирование производят на алмазной пасте АСМ 5/3, которую наносят наполировальник вручную перед началомпроцесса, Расход пасты 30 - 50 Кар на 1000подложек размером 48 х 60 мм, Расход СОЖпри полировании 10 - 15 капель.в минуту,При полировании достигнуто улучшение поверхности подложек от шероховатости 0,4 - 0,2 мкм до 0,02 мкм для всех типовСОЖ.Результаты полирования высокоглиноземистой керамики данным способом приведены в таблице,Как видно из таблицы, оптимальные соотношения компонентов СОЖ с точки зрения обеспечения цели изобретения -повышения производительности полирования при обеспечении высокого выхода годного - приведены в примерах 3,8,9,Уменьшение и увеличение количества при.садок в СОЖ снижает производительностьпроцесса, что видно из примеров 10, 12.Получить достаточные значения производительности полирования для состава прототипа и составов СОЖ, находящихся запределами предлагаемого изобретения,можно за счет увеличения усилия полирова ния и скорости вращения полировальника, что, однако, приводит к перегреву оснастки, отрыву подложек и уменьшению выхода годного - пример 2,11,13. Для описанного 5 состава оптимальны значения усилия полирования и скорость вращения полировальника, приведенные в примерах 3,4,5.При уменьшении усилия полирования и скорости вращения полировальника проиэво дительность резко падает - пример 6, а приувеличении этих показателей перегревается оснастка и снижается выход годного - пример 7. 0,1-0,3 15 Формула изобретенияСпособ полирования керамики, при котором вращают полировальник, поджимают и перемещают по нему обрабатываемые детали и подают в зону резания абразивную 20 пасту и смазочно-охлаждающую жидкость(СОЖ) на основе керосина, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения производительности обработки высокоглиноземистой керамики и выхода годных де талей, усилие поужатия выбирают равным(17-23) 10 н/м, скорость вращения полировальника 9,0 - 9,7 с , а в качестве СОЖ используют жидкость следующего состава.мас %30 Синтетическиепервичные жирные спирты фракции Со-Си 7,0-8,1 Метиловый зфио35 синтетических жирных кислот фракции С 12 - С 15Керосин осветительный Остальное1696266ХЯСоставитель Б; КамкаРедактор Б. Федотов Техред М.Моргентал Корректор М, ШарошиЗаказ 4266 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101