Способ двусторонней доводки

союз советскихсоциАлистическихРЕСПУБЛИК 4 В 37 51) СУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ0 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ И ГКНТ СССР ПИС 30 ТЕНИ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ анаульга, А,П,Орл ьство СССРкл, В 24 В 37/04,(54) СПОСОБ ДВУСТОРО (57) Изобретение относи обработке деталей и мож вано для двусторонней д верхностей деталей материалов: полупров кварца, металлов. Цель вышение качества повер деталей, При обработке диаметра на станках с ра ширина дорожки которы Изобретение относится к абразивной обработке деталей и может быть использовано для двусторонней доводки плоских поверхностей деталей приборов, преимущественно пластин иэ полупроводниковых материалов, стекла, кристаллов, кварца, металлов притирами с применением закрепленного и незакрепленного абразива.Целью изобретения является повышение качества поверхности доведенных деталей. На чертеже представлено устройство,помощью которого может быть реалиэовапредлагаемый способ.(56) Авторское свидетепо заявке М 426400729.03,88. ННЕЙ ДОВОДКИ тся к абразивной ет быть испольэооводки плоских поиз различных одников, стекла, изобретения - похности доведенных пластин большого змерами притиров, х соизмерима с диаметром пластин, необходимо управлять положением детали в гнезде сепаратора, Для этого к обоим притирам прикладываются дополнительные крутящие моменты, изменяющиеся по периодическому закону. При этом сдвиг по фазе между ними может изменяться в пределах 0-45 О, а амплитудыдополнительных крутящих моментов составляют 5-9 от величины номинальных значений основных крутящих моментов. Величины сдвига по фазе между моментами и их амплитуды выбирают исходя из требований по точности формы, глубине нарушенного слоя и величине припуска на обработку, Использование данного способа доводки позволяет повысить качество обработанных поверхностей деталей за счет снижения колебаний системы нижний притир - деталь - верхний притир и за счет обеспечения необходимого поворота отрабатываемой детали вокруг собственной оси, 1 ил, 1 табл. Устройство содпаратор 3 с обрабаПри использовдвустороннеи доводтящие моменты моодновременно к дсдвигом по фазе о1 ельно другого, Одприложение допомоментов наиболекогда необходимоскопараллельностьлом припуске на обдетали проворачив ержит притиры 1 и 2. сетываемыми деталями 4. ании данного способа ки дополнительные кругут прикладываться как вум притирам, так и со дного притира относиновременное синфаэное лнительных крутящих е эффективно в случае, получить высокую плосторон детали при маработку, так как при этом аются на максимально1683998 Отношение амплитуды дополнительного крутящего момента к основному крутяем момент,Закон изменения дополнительного крутя щего момента на нижнем притире Сдвиг по фаземежду дополнительными моментами, угл.град Параметры качества пластин количество рисок на 1 см 2 сколы на краях пластин Закон изменения дополнительного крутящего момента на верхнем притире 5 20, сколы на краях пластины 12, отсутствие сколов10, отсутствие сколов11, ухудшение плоскопараллельности с 3 до 5 мкм Нет вращения деталии ЗО Пилообразный Пилообразный и 20 и 50 10 и 16 16 и возможный угол, Смещение по фазе моментов приложения дополнительных крутящих моментов дает возможность плавного перехода от состояния покоя детали в гнезде сепаратора к провороту вокруг собственной 5 оси за счет создания предварительного крутящего момента, действующего на деталь со стороны одного из притиров, способствующего переходу системы нижний притир - деталь - верхний притир в состояние не устойчивого равновесия (под состоянием неустойчивого равновесия понимается режим полной разгрузки детали от силового воздействия сепаратора).Последующее приложение дополни тельного крутящего момента к другому притиру создает дополнительный момент малой величины, действующий на деталь и заставляющий ее.плавно переходить из состояния равновесия к провороту вокруг соб ственной оси. Сдвиг по фазе наиболее эффективен для получения деталей с минимально нарушенным слоем, так как отсутствуют резкие перепады скоростей и ускорений в относительном движении де таль - притир. Сдвиг по фазе между прикладываемыми дополнительными крутящими моментами более чем на 45 неэффективен, поскольку при этом не наблюдается дальнейшее улучшение качества нарушенного 30 слоя, тогда как угол поворота детали уменьшается.Предлагаемый способ может быть реализован с помощью устрбйства, содержащего притиры 1 и 2, сепаратор 3 с деталями 35 4, В качестве электродвигателей в приводах притиров используются двигатели постоянного тока. Для приложения к притирам дополнительных крутящих моментов необходимо увеличить напряжение питания на двигателях соответствующим образом,П р и м е р. Пластины монокристаллического кремния диаметром 150 мм и толщиной 0,8 мм закладывают в сепаратор 3, установленный на стенке между притирами 1 и 2. Притирам и сепаратору задают вращение с постоянными угловыми скоростями. После выхода этих звеньев на номинальные режимы работы к обоим притирам прикладывают дополнительные крутящие моменты, изменяющиеся по периодическому закону, в одной фазе путем изменения на электродвигателях постоянного тока питающего напряжения соответствующим образом,Результаты эксперимента приведены в таблице. Формула изобретения Способ двусторонней доводки, при котором детали размещают в сепараторе между притирами и сообщают притирам и сепаратору относительные перемещения под действием основных крутящих моментов, а к одному из притиров прикладывают дополнительный крутящий момент, изменяющийся по периодическому закону, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения качества обрабатываемьх поверхностей деталей, дополнительный крутящий момент прикладывают также и к второму притиру при этом сдвиг по фазе между дополнитель ными крутящими моментами назначают в пределах 0-450, а их амплитуды выбирают в пределах 5-90 от величин номинальных значений основных крутящих моментов.1683998 Продолжение таблицы Елр Составитель Б.КамкаРедактор С.Лисина Техред М,Моргентал Корректор Н,ко Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 1 каз 346ВНИИ Тираж Подписноесударственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5