Станок для резки заготовок из твердых и хрупких полупроводниковых материалов

(55 ОПИСАН Н ИДЕТЕЛ ЬСТВУ АВТОРСКОъг к оборудованой техники и производстве ердых и хруп- твенно полу ееее ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР(54) СТАНОК ДЛЯ РЕЗКИ ЗАГОТОВОК ИЗТВЕРДЫХ И ХРУПКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ(57) Изобретение относится к. оборудованию производства электронной техники иможет быть использовано в производстве Изобретение относится нию производства электрон может быть использовано в станков резки заготовок из т ких материалов, преимуще проводников,Цель изобретения - повышение производительности и увеличение точности обработки.На фиг.1 показан общий вид станка, разрез, на фиг. 2 - узел на фиг, 1 с алмазным диском; на фиг. 3 - то же, с металличеСким диском или диском иэалмаэоносного проката или алмазным диском, полученным гальваническим способом; на фиг, 4 - вид А на фиг.1; на фиг. 5 - вид Б на фиг, 4.Станок резки заготовок содержит станину 1, шпиндель 2 с диском 3, положение которого вдоль оси шпинделя фиксируется кольцами 4. Со станиной 1 неподвижно со 1 б 80513 А 1 станков резки заготовок из твердых и хрупких полупроводниковых материалов. Цель - повышение производительности и увеличение точности обработки. Станок, содержащий станину 1, шпиндель 2 с диском 3 и направляющие диск планшайбы 5 и 6 с выемками для размещения заготовки и соплами для подачи СОЖ и /или/ сжатого воздуха в зазор на обе боковые поверхности диска 3, снабжен установленными в выемках ползунами, закрепленными на планшайбах 5 и 6 с возможностью перемещения в направлении подачи заготовки, а в ползунах выполнены сопла для подачи сжатого воздуха и /или/ СОЖ в зазор на обе боковые поверхности диска 3, 5 ил,единены жесткие планшайбы 5 и 6, расстояние между которыми задано шайбами 7,На станине 1 установлен координатный стол 8 с возможностью шагового перемещения, а также державка, например, графитовая 9, приклеенная к державке заготовка 10. С координатным столом 8 неподвижно соединены не перемещающиеся на шаг упоры 11. Неподвижные части направляющих 12 соединены с планшайбами 5 и 6, а подвижные части 13 неподвижно соединены с ползунами 14. С планшайбами 5 и 6 неподвижно соединены упоры 15. С полэуном 14 соединен трубопровод 16, На фиг.5 показана форма ползунов 14 и 17, расположенных в выемках планшайб 5 и 6.Станок работает следующим образом, Координатный стол 8 отведен от шпинделя, на него установлена заготовка 10. Включается подача сжатого воздуха и СОЖ, затем включается вращение шпинделя 2 иподача координатного стола 8 на шпиндель 2, Одновременно с заготовкой или с небольшими опережением (например, на 0,1 мм) упоры 11 начинают перемещаться и перемещать вправо (фиг.4 и 5) ползуны 14 и ,17, Происходит отрезка пластины от загоГовки ив твердого и хрупкого материала 10.ластины удерживаются приклейкой на ержавке 9, Включается отвод координатого стола 8 от шпинделя 2. По мере выхода заготовки 10 из зоны резки за ней под действием пружин перемещаются ползуны 14 и 17, которые удерживаются после отхода заготовки 10 в крайнем левом положении упорами 15. Затем включается перемещение координатного стола на шаг и цикл повторяется.Точность резки заготовок из твердых и хрупких материалов повышается из-за увеЛичения жесткости диска за счет ползунов с Соплами для подачи СОЖ и /или сжатого воздуха. Причем сопла расположены так, что они приходятся на край диска при его вреэании в заготовку. 5 Формула изобретенияСтанок для резки заготовок из твердыхи хрупких полупроводниковых материалов, включающий станину, шпиндель с диском, имеющим направляющие планшайбы с вы емками для размещения заготовок и соплами для подачи СОЖ или сжатого воздуха, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения производительности и увеличения точности обработки, станок снабжен 15 направляющими, укрепленными на внешней стороне планшайб параллельно подаче заготовки, при этом направляющие снабжены ползунами, расположенными в обра.зованных в планшайбах выемках, причем 20 полэуны имеют сопла, оси которых нормальны боковой поверхности диска.Редакто ельский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гага 10 роизводственно аз 3273 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5