Термокамера для испытаний микроэлектронных приборов

(53)5 Р 25 В 21/02 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМГ 1 РИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Институт технической теплофизики АНУССР(56) Авторское свидетельство СССРФ 1374004, кл. Р 25 В 21/02. 1986.(54) ТЕРМОКАМЕРА ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ (57) Изобретение относится к теплотехнике, а именно - к устройствам для испытаний микроэлектронных приборов. Цель изобретения - расширение области применения. Для этого теплоизолированный корпус 1 камеры разделен теплоизолирующей перегородкой 2 на два отсека 3, 4. Плита 9 имеет в пределах обоих отсеков 3, 4 внутреннюю н:.ЫХ" 1677460 А 1 герметизированную полость 10 с капилляр- но-пористым фитилем 11, частично заполненную теплоносителем. В каждом отсеке 3, 4 имеется нагреватель 5, 6 и термоэлектрический охладитель 7, 8. Каждый термоэлектрический охладитель 7, 8 подключен к источнику 24 питания через переключатель 23 полярности и регулятор 21, 22 мощности, Каждый нагреватель 5, 6 подключен к источнику питания через переключатель 23 полярности, регулятор 25, 26 мощности и диод 27, 28. Испытываемые приборы 16 устанавливают на платы 17, 18 через крышки 12, 13. Для нагрева приборов 16 в отсеке 3 питание подают на нагреватели 5 и на термобатарею в режиме нагрева. Для охлаждения приборов 16 в отсеке 3 термобатарею включают в режим охлаждения. Нагреватель 5 не включается, Когда в отсеке 3 охлаждение, то в отсеке 4 нагрев. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.теплоизоляции 20. Охладители 7, 8 через 25регуляторы 21, 22 мощности и переключатель 23 полярности подключены непосреднапряжения. Нагреватели 5, 6 подключенык источнику 24 через регуляторы 25, 26 мощ 35 40 Изобретение относится к теплотехнике, а именно к устройствам для испытаниймикроэлектронных приборов.Цель изобретения - расширение области применения,На чертеже изображена описываемая термокамера в разрезе.Термокамера содержит корлус 1, разделенный теплоизолирующей перегородкой 2 на два независимых отсека 3, 4.В отсеках 3, 4 размещены отдельные нагреватели 5, 6 и термоэлектрические охладители 7, 8, Охладители 7, 8 установлены на общей плите 9, выполненной полой в виде тепловой трубы, Стенки полости 10 покрыты капиллярно-пористым фитилем 11 в пределах обоих отсеков 3 и 4. Отсеки 3 и 4 снабжены отдельными крышками 12, 13. Нагреватели 5 и 6 установлены на теплопроводах 14, 15, соприкасающихся с рабочими спаями охладителей 7, 8, Испытываемые приборы 16 установлены на испытательных платах 17, 18 и приводятся в тепловой контакт с помощью пружин 19, Корпус термокамеры изолирован с помощью ственно к источнику 24 постоянного ности и переключатель 23 полярности, а также через диоды 27, 28. Схема соединений охладителей 7, 8, нагревателей 5, 6 и переключателя 23 с источником 24 выполнена с обеспечением возможности подачи питания на охладители 7, 8 и нагреватели 5, 6 в отсеках 3, 4 камеры в противофазе.Термокамера работает следующим образом,Открывают крышки 12, 13 отсеков 3, 4корпуса 1 термокамеры и устанавливают на испытательные платы 17, 18 испытываемые приборы 16. Крышки 12, 13 закрывают, при этом испытательные платы 17, 18 пружинами 19 прижимают приборы 16 к теплопроводам 14, 15 через нагреватели 5 и 6, обеспечивая их тепловой контакт. От источ. ника 24 подают напряжение через переключатель 23 полярности и регулятор 21 мощности непосредственно на термоэлектрический охладитель 7 и через регулятор 25 мощности и диод 27 - на нагреватель 5. При этом полярность включения диода 27 и термоэлектрического охладителя 7 согласуют с полярностью 24 с помощью переключателя 23 таким образом, что охладитель 7 работает в режиме нагрева теплопровода 14 и охлаждения участка плиты 9, соприкасающегося с его холодными спая 5 10 15 20 ми, а нагреватель 5, питаемый электроэнергией через диод 27, дополнительно нагревает теплопровод 14, доводя его температуру до заданного условиями испытаний уровня, Благодаря тепловому контакту испытываемых приборов 16 с теплопроводом 14 их температура повышается до заданного уровня и поддерживается на нем требуемый графиком испытаний промежуток времени. Одновременно от источника 24 через переключатель 23 подается напряжение обратной полярности через регулятор 22 непосредственно на охладитель 8 и через регулятор 26 и диод 28 - на нагреватель 6. При этом охладитель 8 работает в режиме охлаждения теплопровода 15 и нагрева участка плиты 9, кочтактирующего с его горячими спаями, Поскольку на диод 28 подано напряжение обратной полярности, то ток через нагреватель 6 не идет, что создает условия для интенсивного охлаждения теплопровода 15 и находящихся в контакте с ним испытываемых приборов 16. Теплота, поступающая в плиту 9 от горячих спаев охладителя 8, вызывает испарение на нагреваемом участке плиты 9 теплоносителя в полости 10 из капиллярно-пористого фитиля 11, Пар перетекает по полости 10 от нагреваемого участка плиты 9 к охлаждаемому, где конденсируется, а конденсат движется по капиллярно-пористому фитилю в обратном направлении, После завершения испытаний в указанном температурном режиме производят смену полярности напряжения, подаваемого на охладители 7, 8 и нагреватели 5, с помощью переключателя 23 и производят испытание приборов 16 в отсеке 3 в режиме охлаждения, а в отсеке 4 - в режиме нагрева, При этом процессы в устройствах для обеспечения температурных режимов в отсеках 3 и 4 поменяются на противоположные, Смену циклов испытаний осуществляют с помощью переключателя 23 вручную или автоматически, При циклических испытаниях охладители 7, 8 работают в противофазе, т.е. если охладитель 7 работает в режиме нагрева теплопровода 14, то охладитель 8 - в режиме охлаждения теплопровода 15 и наоборот.С помощью крышек 12, 13 можно дополнительно регулировать тепловые режимы испытаний, отводя в окружающую среду часть теплоты из отсеков путем их частичного открывания,Формула и зоб рете ни я1. Термокамера для испытаний микроэлектронных приборов, содержащая тепло- изолированный корпус с теплопроводной плитой, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с1677460 10 Составитель Е.ВиноградовРедактор В.Трубченко Техред М.Моргентал Корректор Т.Палий Заказ 3103 Тираж 310 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. Гагарина, 101 целью расширения области применения, корпус разделен теплоизолирующей перегородкой на два отсека, плита имеет в пределах обоих отсеков внутреннюю герметиэированную полость с капиллярнопористым фитилем, частично заполненную теплоносителем; а в каждом отсеке дополнительно установлены нагреватель и термоэлектрический охладитель, каждый термоэлектрический охладитель подключен к источнику питания через переключатель полярности и регулятор мощности, а каждый нагреватель подключен к источнику питания через переключатель полярности, 5 регулятор мощности и диод.2. Термокамера по и. 1, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что отсеки снабжены отдельными крышками.