Фильтр

(21) 469 (22) 15.0 (46) 15.0 (72) А. Егорова (53) 66,0 (56) Авт М 4118Авт 1 ч 1163 1972/265.897.91. Бюл, МТ. Буравцев,Милль и М. Ф 67.324(088.8)орское свидетеФ 7, кл. В 01 04орское свидете889, кл. В 01 О ьство СССР /42, 1971, ьство СССР б/42, 1983,м мемно для жидко- , а таклюбых ть про- содерпус и ным мемдля миккостей) в акже мол астях, е произобщии вид,Фильтр и выходным мещены два усеченная к первый пол основанием 2, а больши ным сферич элементомс входным 2 рпусе 1 разонуса 4 и 5 и 6, при этом с 4 меньшим м патрубком с выполненильтрующим ями первого содержит 3 патрубполых ус оническая ый усечен соединенм - с кор еским ос 7. Между корпус 1 ками. В ко еченных к обечайка ный кону с входны пусом 1 и новным ф основаниГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР ИСАНИЕ ИЗОБР ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(57) Изобретение относится к сменнь бранным фильтрам, предназначе микроочистки любой среды (газов, стей) в процессах микроэлектроники же может быть использовано и. в других областях и позволяет повыси изводительность фильтра. Фильтр, жащий горизонтальный кор Изобретение относится к смен браным фильтрам и предназначено роочистки любой среды (газов, жид процессах микроэлектроники, а т жет быть использовано в других обЦель изобретения - повышени водительности фильтра.На чертеже представлен фильт 2установленные последовательно по ходу движения потока рассекатель и два фильтрующих элемента, снабжен установленным по оси корпуса цилиндром, размещенным коаксиально входному патрубку в отверстиях рассекателя и фильтрующего элемента. Фильтр снабжен также усеченной конической обечайкой, меньшее основание которой прикреплено к цилиндру, а большее - к дополнительному фильтрующему элементу, и установлен с зазором к корпусу, Фильтр включает выполненный в виде конуса отбойник и установленный между основаниями обечайки дополнительный рассекатель. Рассекатели и фильтрующие.элементы выполнены сферическими, а вершины обечайки и отбойника направлены к входному патрубку. Кроме того, Б центры радиусов сфер каждого рассекателя с фильтрующим элементом совпадают. 1 з. и.ф-лы, 1 ил. С: усеченного конуса 4 расположен выполненный сферическим рассекатель 8,Второй полый усеченный конус 5 меньшим основанием соединен с выходным патрубком 3, большим основанием - с корпусом 1, а между его основаниями установлен вершиной к выходному патрубку 3 отбойник 9, выполненный в виде конуса,Фильтр имеет также цилиндр 10. расположенный коаксиально входному патрубку 2. В рассекателе 8 выполнено отверстие 11, а в фильтрующем элементе - отверстие 12, через которые проходит цилиндр 10, конец которого соединен с меньшим основанием усеченной конической обечайки б.Между основаниями обечайки б размещен дополнительный рассекатель 13, а большее основание обечайки 6 соединено сдополнительным фильтрующим элементом 14, выполненным сферическим, при этом обечайка 6 установлена с кольцевым зазором 15 к корпусу 1.В фильтре центры радиусов сфер рассекателя 8 и фильтрующего элемента 7 и дополнительного рассекателя 13 и дополнительного фильтрующего элемента 14 совпадают,Фильтр работает следующим образом, Газ (или жидкость) поступает во входной патрубок 2 корпуса 1. В случае, когда в корпусе 1 находятся полые усеченные конусы 4 и 5, газ (или жидкость) поступает к рассекателю 8, делится на множество потоков и поступает в сферическому фильтрующему элементу 7, после чего газ (или жидкость) направляется через второй полый усеченный конус 5, разбиваясь об отбойник 9, в выходной патрубок 3,При необходимости более высокой производительности фильтра уже при поступлении газа (или жидкости) во входной патрубок 2 он делится на два потока, Первый из них проходит через рассекатель 8, фильтрующий элемент 7 и кольцевой зазор 15 к второму полому усеченному конусу 5 и выходному патрубку 3, Второй поток через цилиндр 10 поступает в коническую обечайку 6, проходя. через дополнительный рассекатель 13, делится на множествопотоков, паступает на дополнительный фильтрующий элемент 14, делится отбойником 9 и направляется в выходной патрубок 3,Снабжение фильтра двумя соосными полыми усеченными конусами, направленными навстречу друг другу и соединенными с корпусом большими основаниями и с входным и выходным патрубками меньшими основаниями, а также размещение между усеченными конусами фильтрующего элемента позволяют сначала расширить поступающий поток любой среды и увеличить . таким образом площадь фильтрации, а потом сузить поток, увеличить скорость протока среды, что значительно повышает производительность фильтра,Выполнение фильтра с рассекателями и размещение их между основаниями перед фильтрующими элементами дают возможность разбить поступающий поток любой среды на множество потоков и направить их по радиусам к фильтрующему элементу, используя всю площадь фильтрации, что повышает производительность фильтра,Снабжение фильтра цилиндром. установленным коаксиально входному патрубку, закрепленным в корпусе и размещенным в отверстиях рассекателя и фильтрующего элемента, позволяет раз 45 50 55 патрубку в отверстиях рассекателя и фильтрующего элемента, усеченной конической обечайкой, меньшее основание которой прикреплено к цилиндру, а большее - к дополнительному фильтрующему элементу, установленному с зазором к корпусу, допол 5 10 15 20 25 30 35 40 бить входящий в фильтр поток на два, и один из них подвести к первому фильтрующему элементу, а другой вывести за его пределы к другому фильтрующему элементу, что также повышает производительность фильтра,Выполнение фильтра с усеченной конической обечайкой, соединенной меньшим основанием с цилиндром, и дополнительным фильтрующим элементом, соединенным с большим основанием, позволяет второй поток, проходящий через цилиндр, расширить конусом, разбить на множество потоков сферической решеткой и по радиусам подвести к дополнительному фильтрующему элементу, используя всю площадь фильтрующего элемента, при этом повышается производительность фильтра.Расположение обечайки с кольцевым зазором к корпусу дает воэможность подвести первый поток, прошедший первый фильтрующий элемент, к выходному патрубку через этот кольцевой зазор одновременно с вторым потоком, прошедшим через дополнительный фильтрующий элемент, что также повышает производительность фильтра.Выполнение рассекателей и фильтрующих элементов сферическими позволяет разбить поток на множество потоков, как бы его распылить и направить по радиусам это множество потоков, используя всю площадь фильтрующего элемента, а при совпадении центров радиусов их сфер обеспечивается максимальное использование площади фильтрующего элемента, что повышает производительность фильтра,Кроме этого, изобретение позволяет повысить эффективность фильтра, уменьшить его габариты, увеличить срок его службы,. повысить качество очистки и снизить его стоимость. Формула изобретения 1. Фильтр, содержащий горизонтальный корпус с входным и выходным патрубками и последовательно установленные по ходу движения потока рассекатель, основной и дополнительный фильтрующие элементы, отличающийся тем,что,с целью повышения производительности фильтра, рассекатель и фильтрующий элемент выполнены с отверстием по оси, фильтр снабжен цилиндром, установленным по оси корпуса коаксиально входному,Ога Заказ 2218 Тира ВНИИПИ Государственного к 113035, М435митета посквэ, ЖПодписноеретениям и открытиям при ГКНТ СССшская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород ул.Гагарина, 10 нительным рассекателем, рзмещенным внутри обечайки между ее основаниями, и отбойником, установленным перед выходным патрубком и выполненным в виде конуса, при этом рассекатели и фильтрующие элементы выполнены сферическими, а вершины конической обечайки и отбойника направлены к входному патрубку.2, Фильтрпо п,1, отл ича ю щийсятем, что центры радиусов сфер каждого рас секателя с фильтрующим элементом совпадают.