Способ измерения перемещений

(51)5 0 0 ЕЛЬСТ К АВТОРСКОМУ СВ и и упраышение тфункциоспеченияй и упрощеДля этоестко закрлого 1 ранзвидного мр-и-перехперемещаюго элемент кристалл ереходо Способ осуществляют следующим образом. Способ основан на использовании в ка-честве чувствительного элеллента нитевидного однопереходного транзистора 1, выполненного в виде нитевидного монокристалла полупроводника, например кремния, р-типа с ориентацией роста 11, два крайних токоподвода 3 и 4 которого присоединены через омические контакты, а средний токо- вподвод 4 - через р - и-переход. Тело моно- кристалла между р - и-переходом и одним из его концов жестко связывают, например, приклеиванием с телом объекта 5 измерений, а другой конец монокристалла - с элементом 6, относительно которого определяют перемещения объекта 5 (согласно фиг.1 или 2). Схему по фиг,1 целесообразно использовать при измерениях угловых перемещений. Схему по фиг,2 используют для прецизионных измерений линейных перемещений. Далее транзистор 1 токоподводами 2 - 4 включают совместно с ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Воронежский политехнический институт(56) Авторское свидетельство СССРКе 1125466, кл, 0 01 В 7/00, 1979.(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике и может эффективно использоваться в телеметрических системах Изобретение относится к измерительнои технике и наиболее эффективно может быть использовано в телеметрических системах измерения перемещений и управления.Цель изобретения - повышение точности измерений, расширение функциональных возможностей путем обеспечения измерения угловых перемещений и упроще-. ние измерительной схемы,На фиг,1 показана схема крепления чувствительного элемента при измерениях угловых перемещений; на фиг,2 - то же, при измерениях линейных перемещений; на фиг.3 - измерительная схема релаксационного генератора.На фиг.1 - 3 обозначены чувствительный элемент 1 - нитевидный однопереходный транзистор, крайние токоподводы 2 и 3 транзистора, средний токоподвод 4 транзистора, обьект 5 измерений, неподвижный элемент 6, относительно которого перемещается объект измерений, резисторы 7 и 8 и конденсатор 9. измерения перемещени Цель изобретения - пов измерений, расширение возможностей путем обе ния угловых перемещени мерительной схемы. неподвижном элементе ж один конец однопереход выполненного в виде ките сталла полупроводника с на объекте измерений, относительно неподвижно ко закрепляют тело моно вторым его концом и р - ивл ения, очности альных 1 змерения иза епляют исто ра, онокриодом, а щеллся а, жест- между1610236 ФОВ резисторами 7 м 8 и конденсатором 9 в схему релаксационного генератора (фиг.З), изменение частоты колебаний которого является функцией измеряемых перемещений объекта 5 относительно элемента 6, по скольку при перемещениях объекта 5 изменяется сопротивление Й 24 деформируемой части тензочувствительного монокристалла, т.е. изменяется внутренний коэффициент деления 10ГЬ824 + 843однопереходного транзистора. Таким образом, по результатам измерений частоты колебаний релаксационного генератора 15 (фиг.З) можно определять контролируемые перемещения,сС помощью предлагаемого способа при использовании простейшей помехозащищенной схемы релаксационного генератора 20 можно надежно осуществлять дистанционные измерения как угловых, так и линейных перемещений. Формула изобретения Способ измерения перемещений, заключающийся в том, что объект измерений связывают с нитевидным однопереходным транзистором, выполненным в виде нитевидного монокристалла полупроводника, у которого два крайних токоподвода присоединены через амические контакты, а средний токоподвод - через точечный р-п-переход, транзистор включают совместно с резистором и конденсатором в схему релаксационного генератора, по измерениям частоты колебаний которогоопределяют измеряемые перемещения, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений, расширения функциональных возможностей пугем обеспечения измерения угловых перемещений и упрощения измерительной схемы, объект измерений жестко связывают с телом монокристалла между р - и-переходом и одним из его концов, а другой конец монокристалла жестко связывают с элементом, относительно которого определяют перемещения обьекта.1610236 г,Я Составитель В. МелузоваТехред М.Моргентал Корректор И. Эрдейи Редактор А. Ога роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 каз 3727 Тираж 501 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5