Способ обработки плоских поверхностей и устройство для его осуществления

.Вф ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО изоБРетениям и ОТКРытиямПРИ ГКНТ СССР Н АВТОРСКОМУ С(56) Авторское свидетельство СССРУ 928188кл. С 01 И 1/32, 1980.Авторское свидетельство СССР9 105119, кл. В 24 В 7/02, 1954(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И УСТРОИСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ(57) Изобретение тноситсяэлектронике и мо т быть исно для иэготовле я тонкихраллельных шпифов. Целью из является повышение качества обработки микрощпифов за счет обеспечения неповторяемости следов траекторий инструмента и детали. Вращение от привода 9 передается эксцентрику 3, а от него шатуну 2 с дерзателем детали 1, контакт которого с плоским основанием 10 приводит к перемещению его по лемнискате. В то ае время шкив 5 привода передает вращение шкиву дерзателя инструмента 7 с эксцентрично размещенным в нем трубчатым инструментом, который перемещается относительно детали по эпициклоиде. В результате происходит перемещение детали по лемнискате, а инструмента по . а эпициклоиде по-неповторяющемуся следу. 2 с.п. ф-лы, 2 ил.обТочка, находящаяся на поверхности полирующего инструмента, совершает движение по эпициклоиде. Образец со - вершает перемещение по траектории лемнискаты. За один полный цикл ле нискаты точка, находящаяся на поверхности полирующего инструмента, совершив сложное перемещение по поверхности объекта, возвращается в исходное положение. Но отношение количества полных циклов эпициклоиды к количеству полных циклов лемнискаты больше единицы и не равно целому числу. Поэтому исходное положение точки не совпадает с положением этой точки после завершения цикла лемнискаты. Даль.ев". - шая траектория движения точки отличается от первоначальной. Таким об. 20мразом, каждая .точка полирующего инструмента с началом нового цикла лемнискаты совершает перемещение по новой траектории. Неповторяемость траектории движения каждой точки полирующего инструмента обеспечивает качественную обработку поверхности образца и позволяет существенно уменьшить давление полирующего инс."румента на обрабатываемую поверхностьУстройство, позволяющее реализовать способ, содержит держатель детали 1, жестко закрепленный на шатуне 2, шарнирно связанном с эксцентриком 3, жестко закрепленным на оси привода 4, несущей ведущий шкив 5, кинематически связанный ременной передачей 6 с шкивом 7 держателя трубчатого иьструмента, размещаемого в эксцентричном отверстии шкива 7 держателя. Передаточное число шкива больше единицы и не равно целому числу. Давление полирующего инструмента на образец создает пружина многооборотного индикатора 8; Вращение оси 4 обеспечивает двига 0 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использсвано дляизготовления тонких плоскопараллельных шлифов,Цель изобретения - повышение качества обработки микрошлифов за счетобеспечения неповторяемости следовтраекторий инструмента и детали,На фиг. 1 изображена схема устройства для реализации способа обработки; на фиг. 2 - зависимость величиныэксцентриситета держателя детапи отдиаметра траектории инструмента.Способ осуществляют следующимтель 9, а перемещение держатепя полемнискате - плоское основание 1 О.Площадь обрабатываемой поверхности,эксцептриситет цилиндра и размер траектории полирующего инструмента связаны соотношением Ь =-0,957 П + риситета экс ичина экс де Ь - в Яцентрика 3;площадь обрабатываемой пов ности микрошлифа;Э - диаметр траектории полирующего инструмента.Зависимости траектории полирующего инструмента В при различных площадях обрабатываемой поверхности Б приведены для Я = 0,5 мм; Б = 1 мм", Б1 у 5 мм 1 Б, = 2 ммр ь 5 = 5 мм. Для соблюдения описанных условий обрабо ки поверхности, необходимо, чтобы 0 - Ь. В этом случае обработка поверхности наиболее эффективна, а применение сложной траектории перемещения полирующего инструмента и фрикционной передачи его вращения позволяют. уменьшить давление инструмента на поверхность обрабатываемого изделия и обеспечивает механическую шлифовку и полировку микрошлифов толщиной менее 30 мкм,П р иприготовл ерх-,м е р, Способ применялся при ении поперечных срезов крисСаЛз для ПЭМ. Из шайбы крилщиной 0,4 мм вырезались поклеивались эпитаксиальными таллов из сталла то оск слоями друг к другу. В результате получался пакет из двух кристаллов толщиной 0,8 мм и длиной 3 мм, Механическим способом образец шлифовался вплоскости, перпендикулярной границесоприкосновения кристаллов, до 200 мкми наклеивался воском на объектодержатель: Стеклянный шлифовальник диаметром 0,3 мм с эксцентриситетом О, 1 ммподводился к границе раздела двух образцов таким образом, чтобы при перемещении объектодержателя, шпифовальникперемещался вдоль границы разделакристаллов по эпициклоиде. Перемещение объектодержателю по лемнискатезадавал вращающийся цилиндр с эксцентриситетом 0,5 мм. Отношение диаметра шкива к диаметру патрона шлифовальника принято 1,67 (диаметр шкива20 мм, диаметр патрона 12 мм). Прижимшлифовальника к кристаллу осуществля"лся микрометрическим индикатором 8,5 154 показания которого позволяли контро" лировать величину удаленного материала непосредственно в процессе шлифовки, Абразивная суспензия подавалась в область контакта шлифовальника и объекта и в процессе шлифовки периодически обновлялась, Время,затраченное на шлифовку и полировку кристаллов из СаАз до толщины 15 мкм составило 20 мин. 1034 Цаи) г.г50 Составитель А. ДроздецкийПатрушева Техред Л.Сердюкова Корректор В. Кабаций едакто каз 253 Тираж бО Подписи НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5роизводственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гага Формула изобретения 1. Способ обработки плоских поверхностей, заключающийся в относительном перемещении инструмента и детали по эпициклоиде, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения качества обработки микрошлифов, берут стержневой цилиндрический инструмент, а детали и инструменту сообщают дополнительное относительное перемещение по лемнискате, причемотношение количества полных цикловэпициклоиды к количеству полных цик"лов лемнискаты больше единицы и не 5равно целому числу.2, Устройство для обработки плоских поверхностей, содержащее привод,кинематически связанный с держателем 10 инструмента и держателем детали,шарнирно связанным шатуном с осью привода эксцентрично оси ее вращения,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью повышения качества обработкимикрошпифов, деРжатель инструментавыполнен в виде шкива с эксцентрич"ным отверстием для размещения инструмента, а держатель детали выполненв виде жестко закрепленного на ша туне цилиндрического элемента, установленного с возможностью контактас введенным в устройство плоским основанием.