Способ измерения давления

(51) 5 С 01 1, 11/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Институт радиотехники и электроники АН СССР(56) Майа Н., Мцгаюасвц У. Вцгесй орг 1 са 1 й 11 са 1 йегесгюп оГ йтарЬгарв йеГ 1 есйоп: щахщцю гево 1 цтоп. - Лрр 1 ей Орг,св, 1986,25, Ф 5, р. 7 б 1.(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить разре 2шаюшую способность при измерениидавления, Способ измерения давленияосуществляют при помощи лазера 1,излучение которого через световод 2попадает на колеблющееся зеркало 3и от него отражается на прозрачнуюмембрану 4, установленную в корпусе5, Пучок излучения перемещается попластине 6 прозрачного ферромагнетика имодулируется ее, доменной структурой. С помощью линзы 7, зеркала 8,световода 2 и фотоприемника 9 регистрируют число импульсов модуляции излучения, которое однозначносоответствует измеряемой величинедавления, действующего на мембрану4 с пластиной 6. 2 ил,45 Изобретение относится к приборотроению и может быть использованодля измерения давления в условияхдействия электромагнитных помех.1 ель изобретения - повьппенцеразрешающей способности измерений.На фиг. 1 показан оптический тракт,ча Фиг,2 - пластина прозрачного ферромагнетика с доменами, наведеццымц при неоднородной деформации,Излучение от лазера 1 (Фиг.1) через световод 2 погадает на колеблющееся зеркало 3 и от него отражается на прозрачную мембрану 4, установленную в корпус.е 5 с прозрачнымдном Пучок излучения перемещаетсяпо пластине б прозрачного Ферромагнетика, закрепленной на мембране 4.,модулируется доменной структурой 20пластины 6, проходит линзу 7, отражаетс.я от зеркала 8, помещенного вфокальной поверхности линзы 7 и через световод 2 пог.:адает на Фотоприемник 9,Способ осуществляют следующим образом,Корпус 5, герметично закрытыймембраной 4, подвергают воздействиюизмеряемого давления, избыточногопо отношению к давлению внутри корпуса 5. При этом мембрана 4 прогибается так, что деформация на цей распределяется в соответствии с кривойпоказанной ца фиг,2. Деформация вдольЗспластины 6 распределяется по такомуже закону. Ось легкого цамагцичиваьия в недеформироваццой глас гинележит в плоскости пластины поэтомумагнитные домены имеют бсльпую шири/0ну (порядка ширины пластины) и малоконтрастны.При деформации пластинын ферромагнетике происходит поворотоси легкого намагничивания причемугол поворота растет с деформацией,Когда деформация превосходит критическую, возникают мелкие высококонтрастные в поляризованном свете домены 10, имеющие ширину порядка толщины пластины 6. С увеличением давле 50ния, действующего ца мембран, ч,расширяется область занятая контрастными домецамн на пла тине б, Приэтом имеется однозначное соотнетстьие между избыточным измеряемым давлением и числом контрастных доменов, Для иэмереция давления сканируют с помощью колеблющегося зеркала 3 по пластине б световой пучок, вышедший из световода 2. Диаметр пучка выбирают не превышающим полупериод доменной структуры пластины 6, Сканирование поляризованного пучка света по доменной структуре вызывает модуляцию пучка С помощью фотоприемника 9 регистрируют число импульсов модуляцйи "учка, отраженного от зеркала 8. По числу импульсов модуляции с помощью предварительно,найденной градуировочной зависимости спределяют величину измеряемого давления.В качестве пластины 6 может быть использована монокристаллическая эпитаксиальная пленка УВРеО, тол- . щиной 10 мкм, выращенная 6 а подложке из Сс 1 МО, толщиной 100 мкм, которая в этом случае используется в качестве мембраны 4,Формула и э обретенияСпособ измерения ;авлеция, включающий подачу измеряемого давления ца упругий .,увс твительный элемент и преобразование деформации чувстви тельного элемента в изменение параметра оптического излучения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности измерений, в качестве упругого чувствительного элемента используют прозрачную мембрану с закрепленной на части ее поверхности пластиной оптически прозрачного Ферромагнетика с осью легкого намагничивания, ориентированной в плоскости пластины, а преобразование деформации чувствительного элемента в изменение параметра оптического излучения осуществляют путем сканирования по поверхности пластины узкого пучка поляризованного оптического излучения и регистгации числа импульсов промодулированного доменной структурой пластины излучения.1534343 оставитель И.Сумцоехред Л. Сердюкова Редак Пап орректор И.Иуска ак 45 6 ак по -3 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгор Гагарина, 101 дЕ е осударственного комит 113035, ИосквПодписноеобретениям и открытиям при ГКНТ ССРаушская наб., д. 4/5