Ячейка металлизации

ОБ ПЬСТа У СВИ К АВТО ТАЛЛИЗА ие атно сения г ет быть огическ тонкопл зобрете А И(5 Ц ЯЧЕ (57) Изо ванию дл покрытий составе товления сборок. ится к оборудольваницескихиспользовано вй линии изгоноцных микроия - расширение ан и м ехно плат луатации. 2 и СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельство СС И 723808, кл. С 25 0 19/00, 198 Авторское свидеТельство СССР 1395694, кл. С 25 0 19/00, 19(72) Н.О.Козориз, В.И.Ивануна, А.С.Воскобойников и Д.И.Лившиц (53) 621.357.7:035(088.8) 2 технологицеских возмо увелицения номенклату мых заготовок. В исхо ванна 2 опущена и зао двуплецего рычага 12 уровнем вакуумного ст действием противовеса сации заготовки на ва ке 1 ванну 2 перемеща вверх, при этом упор имодействует с плецом цага 12, заостренный при этом опускается н сле обработки механиз щают в исходное полож тивные особенности ус печивают удобство при жностей путем ы обрабатываеном положении тренный конец риподнят над лика 1 под 18, После фикуумном столит вертикально 7 ванны 2 взадвуплецего рыонец которого заготовку. Псы ячейки возвра ние. Конструкройства обесналадке и эксИзобретение относится к оборудова"нию для нанесения гальванических покрытий и может быть использовано всоставе технологической линии изготов-ления плат тонкопленочных микросборокв условиях многономенклатурного производства.Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем уве Оличения номенклатуры обрабатываемыхзаготовок,На фиг. 1 представлена ячейка металлизации, общий вид, разрез; нафиг, 2 - вид А на фиг. 1, 15Ячейка содержит вакуумный столик 1,на котором установлена с воэможностьювозвратно-поступательного вертикального перемещения ванна 2, сопряженная в верхнем положении с контурнымуплотнением 3 неподвижной крышки 4,на которой шарнирно на оси 5 установлен коллектор 6, содержащий перфорированный анод 7 с токоподводом 8, многофакельную плоскую Форсунку 9 и под 25водящий штуцер 1 О. Коллектор 6 снабжен уплотнением 11. Токоподвод к вакуумному столику 1 выполнен в видедвуплечего рычага 12, установленного на оси 13, закрепленной на вилке Зп14, сопряженной с направляющим пазом15 с возможностью прямолинейного перемещения и вращения вокруг оси вилки 14. Н вилке 14 установлена зажим"ная гайка 16, Одно плечо рычага 12изогнуто перпендикулярно плоскостивакуумного столика 1 и заострено, авторое сопряжено с упором 17 ванны 2и заканчивается противовесом 18.Ячейка работает следующим образом. 4 ОВ исходном положении ванна 2 опу-.щена, и заостренный конец рычага 12приподнят над уровнем вакуумного столика 1 под действием противовеса 18.После фиксации заготовки на вакуумном столике 1 ванну 2 перемещают вертикально вверх, при этом упор 17 ванны 2 взаимодействует с плечом рычага 12, заостренный конец которого при этом опускается в точку технологического поля заготовки. После обработки механизмы ячейки возвращают в исходное положение. Переналадку положения токоподвода осуществляют перемещением в направляющем пазу 15 и поворотом вилки 14 с последующей фиксацией гайкой 16. Для осуществления визуальной переналадки коллектор 6 поворачивают вокруг оси 5, открывая зону наладки.1Конструктивные особенности предла-,гаемой ячейки обеспечивают удобствопри наладке и эксплуатации. Формула изобретенияФЯчейка металлизации, содержащая вакуумный столик, установленную на нем с возможнос 1 ью вертикального перемещения ванну, неподвижную крышку, коллектор, перфорированный анод, плоскую многофакельную Форсунку и токо- подводы, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем увеличения номенклатуры обрабатываемых заготовок, она снабжена упором, смонтированным на ванне, в крышке выполнен направляющий паз, один из токоподводов выполнен в виде двуплечего рычага, шарнирно установленного в направляющем пазу с воэможностью взаимодействия с упором, при этом одно плечо рачага выполнено с противовесом, конец второго плеча выполнен заостренным и установлен перпендикуляр-. но плоскости вакуумного столика, а коллектор установлен шарнирно на неподвижной крышке..Яцол дак Заказ У 009/28 Тираж 605 е ВНИИПИ Государственного комитета по ткрытиям при ГКНТ СССР 113035 Москва, %-35 д. 4/5