Стекло для композиционного материала

СООЗ ажТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК ив 8 А 3 074) 8/2 04 С ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ченного электро ратурных п . м числ тельнотепловог ния темп кий интво СССР4, 1974.о СССР4, 197 Ь. ения т ННОГО МА(54) СТЕКЛО ДЛЯ КОМПОТЕРИАЛА(57) Изобретение отнологии силнкатов, в чаизводству легкоплавкоалюмоборосиликатногопозиционного материал техно ся к процового для ком назнат св ф и з т еимеет сло 92,0- 8,0.зиционньпокрыти ны в табл, ствляется эовои вых и ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(56) Авторское свидетельВ 509548, кл. С 03 С 3/ОАвторское свидетельстФ 757489, кл. С 03 С 3/О Изобретение относится к технологии синдикатов, к производству легкоплавкого свинцового алюмоборосиликатного стекла для композиционногоматериала, предназначенного для использования в микроэлектронике в качестве низкотемпературньк покрытийи стеклопрнпоев, в том числе дляматериалов с относительно невысокимикоэффициентами теплового расширения,Цель изобретения - снижение температуры растекания и улучшение технологических свойств,Конкретные составы стекол призедны в 1 абл. 1.Свойства стекол да 2.Синтез стекол осуще в электрическои печах в кваррундовых тиглях при 1050+,цля использования в микнике в качестве низкотемпокрытий и стеклоприпоеве для материалов с отноневысокими коэффициентамио расширения. С целью сературы растекания и улехнологических свойств с для композиционного материала содержит, мас. Х: 510 2,0 - 3,0; В 1021 ф 0 " 25 е 01 А 10 1 в 5 " 2 ф 5; РЬО62,0 - 68,0; МяО 0,3 - 0,5; СаО0,3 - 0,5; БЬОэ 2,0 - 4,0; 1 пО1,0 - 3,0; ЕпО 1,0 - 2,0; Сп 0 0,3 -0,5; СЙО 1,0 - 2,0. Температура растекания 450+10 С, коэфФициент теплового расширения Ы 7701,010 градводоустойчивость 0,68 - 1,5173 табл+50 С. При указанном режиме стекла хорошо варятся и осветляются,и при годны для получения различных иэделий методами отливки, прессования и изготовления гранулята.Предлагаемое стекло может испольоваться для создания низкотемпераурного композиционного материала, используемого в микроэлектронике в- качестве легкоплавких стеклоприпоев и защитных покрытий, в том числе для материалов подложек микросхемы с низ" кими коэффициентами теплового распярения.Композиционный материал едующий состав, мас.Х: стеклте 95,0; кварцевое стекло 5,0Конкретные сосгавы компо 1 х материалов и характеристики й3 150249 при температуре обжига 47525 С на подложках нэ кремния, ситалла, керамики и высокоглиноземистого матерна,. ла "люкалокс" приведены в табл. 3,Как показывают данные, приведенные в табл.З, разработанные ннэкотемпературные композиционные материалы обеспечивают получение при пониженных температурах монолитных без трещин с 10 хорошей адгеэией стекловидных покрытий к подложкам иэ материалов с широким диапазоном коэффициента теплового расширения, что свидетельствует о хорошей совместимости этих 15 материалов и обеспечивает им положительный эффект.Формула изобретенияСтекло для композиционного материала, включакщее 810, Воз, А 10 е 1 20 64РЬО, М 80, Сао, БЬ О, 1 п Оз, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюснижения температуры растекания иулучшения технологических свойств,1,оно дополнительно содержит гпо, Си 0ИО при следующем соотношении компонентов, мас. 3: Таблица Содержание компонентов стекла, мас. 3 состава Компоненты стеклаСтеклообразные с хорошей растекаемостью иадгеэией в кремниевой подложке покрытия 450+10 450+10 45010 450+10 77,0"1,0 80 а ВФ А 1 0 РЬО гпо Сц О Сйо МКО Сао У)О 1 п Оз Варочно-выработочныесвойстваХарактеристика покрытий на подложке из кремния при450 ф 10 СТ емп ер а тур а растекания, С 2,0 2,5 21 е 0 2210 2,0 , 1,5 68,0 64,0 1,0 1,5 0,5 0,5 1,0 , 1,0 0,5 050,5 0,5 2,0 4,0 1,5 2,0 Ядо В,О, А 1 О РЬО Мяо Сао 1 п Оз гпО СЙО 2,4 2,0 25,0 23,0 2,0 2,0 62,0 65,0 2,0 1,О ОвЗ 0,41,5 1,0 0,4 0,3 014 ОюЗ 3,0 3,0 1,0 2,0 2-3 21-25 1,5-2,5 62-68 0,3-05 0,3-0,5 2-4 1-2 1-2 0,3-0,5 1-21 502496 Продолжение табл.2 Данных стекла состава Свойствастекла Ч Г Коэффици енттеплового 77,011,0 77,0 ф 1,0 77,0+1,0 77,0+1,0 77,0+1,0 0,81 1 ф 00 Оу 89 0,68 1,51 Таблица 3 Композиция Содержание компонентов композиций, мас. Е Характеристика покрытий на различных под- ложках КремняКерамика Ситалл НаполниСтекло тель,кварцевое стекло 100,0 Стекло Растекаемость к подложк подложке,безтрещин ке,незна- чительные трещиныРастекае 95,0 5,0 То же То же мость иадгезия кподложке хорошая, покрытия без трещин То же 93 в 5 6 ь 5 92,0 8,0 То же ни Составитель Т. ТрифоноваТехред Л,Олийнык Редактор И. Дербак Корректор Т.Малец Заказ 5033/29 Тираж 418 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г,Ужгород, ул. Гагарина,101 расширения,(. 10),градВодоустойчивость,Х и адгезия хорошие, покрытия имеют небольшие тре- щиныы Покрытия схорошей растекаемостьюи адгезией кподложке,безтрещин Покрытияс хорошейрастекаемостью иадгезией Покрытия с хорошей растекаемостью и адгезией Высокоглиноземистый материал Люкалокс" Покрытия схорошей растекаемостьюи адгеэией кподложке,безтр ещин