Зондовый датчик для бесконтактного измерения плотности поверхностного заряда

. РЕСПУБЛИК 9)1 К 29 ИЯ К ОРСКОМУ ЕТЕЛЬСТВУ д вССР 74.1982,(54) ЗОНДОВЫЙ ДАТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ПЛНОГО ЗАРЯДА(57) Изобретениеизмерительной техтения - повышение БЕСКОНТАКТПОВЕРХНОСТК я к электро ель изобреающей способ тноси ике,разрешьност за счет ности и чувствителуменьшения рабоче расстояния межн Липписа ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР САНИЕ ИЗОБР(46) 30,07.89, Бюл. У 28 (71) Научно-исследовательский институт механики и физики при Сара ском государственном университете (72) Г.М.Герштейн В.Л.Грищенко, И.А.Матвеева и Л.М.Науменко (53) 621.31.328(088.8) (56) Авторское свидетельство С Иф 464872, кл. 6 01 К 29/12, 19Радиотехника и электроника, ш. 27, 1 4, с. 804-82. у зондовым датчиком и исследуемои поверхностью. Зондовый датчик устанавливается над заряженным исследуемым диэлектрическим слоем 5, расположенным на заземленной подложке 6. На зонде индуцируется заряд, пропорциональный плотности поверхностного заряда на слое 5. При относительном продольном перемещении зондового датчика над слоем 5 на метаплическом измерительном электродезондового датчика будет индуцироваться переменный заряд, а в измерительной цепи потечет ток, по величине которого судят о плотности поверхностного заряна слое 5. Цель достигается нанением фторопластовой пленки 4 толщиной 90 + 1 О мкм на торцовую поверхность измерительного электрода 1 и внешнюю поверхность электростатического экрана 2, лежащих в одной плоскости. 2 ил.1497591Изобретение относится к злектроизмерительной технике и может быть исПользовано в микроэлектронике, цефектоскопии, при проведении измеренийплотности поверхностного заряда диэлектрических и высокоомных полупроводниковых слоев,Цель изобретения - повышение разрешающей способности и чувствительности за счет уменьшения рабочегорасстояния между зондовым. датчикоми исследуемой поверхностью,.На фиг,1 схематически изображенаКонструкция зондбвого датчика для 15бесконтактного измерения плотностиповерхностного заряда; на фиг.2 -экспериментально полученный графикзависимости критического расстояния3 при котором еще не наступает про К Убои между зондовым датчиком и исследуЕмой поверхностью, от толщины фторопластовой пленки,Зондовый датчик для бесконтактного измерения плотности поверхностно 25го заряда включает металлический измерительный электрод 1, расположенныйв заземленном электростатическом,экране 2 и отделенный от него диэлектрической прокладкой 3. На торцовую 30поверхность измерительного электрода1 и внешнюю поверхность электростатического экрана 2, лежащие в однойплоскости, нанесена фторопластоваяпленка 4. На фиг,1 также показан исследуемый диэлектрический слой 5,расположенный на заземленной подложке 6. Толщина пленки 4 выбрана экспериментально, Диапазон изменениятолщины выбран на основании результатов экспериментального измерения,представленных на фиг,2, из которыхвидно, что 2 с ростом толщины пленки 4 фторопласта асимптотически приближается к предельному значению 90+10 мкм,Зондовый датчик для бесконтактного измерения плоскости поверхностного заряда работает следующим образом.Зондовый. датчик устанавливается над заряженным слоем 5, расположенным на заземленной подложке б, Назонде индуцируется заряд, пропорциональный плотности поверхностного заряФда на слое 5, При относительном продольном перемещении зондового датчика над исследуемым слоем 5 на измерительном электроде 1 зондового датчика индуцируется переменный заряд, а в измерительной цепи течет ток, по величине которого судят о плотности поверхностного заряда на исследуемом слое 5.Разрешающая способность датчика расширяется более чем в 3 раза, а чувствительности также не менее чем в 3 раза.Формула изобретенияЗондовый датчик для бесконтактногоизмерения плотности поверхностногозаряда, включающий измерительный электрод, выполненный в виде металлического стержня, боковая поверхность которого закрыта заземленным электростатическим экраном и изолирована от негодиэлектрической прокладкой, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности и чувствительности за счет уменьшения рабочего расстояния между зондовым датчиком и исследуемой поверхностью,торец измерительного электрода ивнешняя поверхность электростатического экрана покрыта фторопластовойпленкой толщиной 90+10 мкм,1497591 МЮЮ 20 ЯО М о Составитель Е,Адамоваедактор Л,11 чолинская Техред М.,Дидык ор Н,Яцола дписное иэводственно-иэдательский комбинат "Патент", г.ужгор Гагарина аэ 444 О 48 Тираж 713 ИИПИ Государственного комитета 113035, Москва, о иэобретениям и открытиям при ГКНТ СССР35, Раушская наб., д. 4/5