Диффузионно-магниторазрядный индикатор гелия

(2) (22) (46) (72) (53) (56) и систем, повышение икатотвительност на В.Т.,Левии Пим зр дный индис,175 катор гел178 сЬпйс. 196ся к устройнения давлеприменениети изделий ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИПРИ ГКНТ СССР Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ 30914/25-285.09.870,0589.Бюл, В 2(57) Изобретение относитствам для индикации измения гелия и может найтипри контроле герметичнос ью изобретения являет ра к изменению давления гелия в испытуемой среде путем уменьшения величины и нестабильности фоновогоразрядного тока индикатора, Индикатосодержит магниторазрядный насос 1,мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 мембраны и трубопровод 4, Мембрана 2 герметичноподсоединена к системе откачки, анагреватель 3 мембраны установлен свнешней стороны мембранного узла,Мембрана 2 подсоединена к системеоткачки посредством трубопровода 4,выполненного из термостойкого матерала с малым коэффициентом теплопередачи. 1 з,п, ф-лы, 1 ил,Изобретение относится к испытательной технике, в частности к устройствам для индикации изменения давления гелия, и может быть использованопри контроле герметичности изделий исистем.Цель изобретения - повьппение чув"ствительности индикатора к изменению давления гелия в испытуемой среде путем уменьшения величины и нестабильности фонового разрядного токаиндикатора,На чертеже показана схема диффузионно-магнитораэрядного индикатора 15гелия.Диффузионно-магнитораэрядный индикатор гелия содержит магниторазрядный насос 1, мембранный узел с кварцевой мембраной 2, нагреватель 3 20мембраны и трубопровод 4, Мембрана 2герметично подсоединена к системе откачки посредством трубопровода 4,выполненного из термостойкого тепло"изоляционного материала, например 25кварца или стеклаНагреватель 3 мембраны установлен с внешней сторонымембранного узла.Индикатор работает следующим образом, 30Включается магниторазрядный .насос 1, трубопровод 4 подсоединяетсяк системе откачки, затем включаетсянагреватель 3, По достижении установившегося разрядного тока индикаторможет быть использован для регистрации изменения давления гелия в испытуемой среде (в атмосфере или вакууме), в частности для контроля герметичности изделий и систем, При 40этом трубопровод 4 изолируется отсистемы откачки и соединяется с системой подачи испытуемой среды к мембране 2 индикатора. После регистрации индикатором содержания гелия в 451 испытуемой среде трубопровод 4 изолируется от системы подачи испытуемойсреды и соединяется с системой откачки - испытуемая среда удаляетсяот мембраны 2 индикатора,50Поньппение чувствительности предла"гаемого индикатора обеспечиваетсягерметичным подсоединением мембранык системе откачки посредством трубопровода 4 выполненного из термостойФ55кого материала с малым коэффициентом теплопередачи (кварц, стеклои др,), а также размещением нагревателя 3 мембраны 2 с внешней стороны мембранного узла, в результате чего уменьшается фоновый разрядный ток индикатора, особенно при повышении температуры нагревателя 3. Уменьшение нестабильности также достигается герметичным подсоединением кварцевой мембраны 2 к системе откачки посредством трубопровода 4, благодаря чемуместо подсоединения мембраны 2 и трубопронода 4, где расположен нагреватель 3 янляется своего рода аккумулятором тепла, что способствует стабилизации температуры мембраны 2При этом ликвидируется один иэ источников фонового тока индикатора, поскольку атмосферный воздух удаляется от мембраны 2, проницаемость которой при увеличении температуры резко возрастает не только для гелия, но и для других газон, особенно для водорода и азота.П р и м е р, К корпусу малогабаритного магниторазрядного насоса 1подсоединен стеклянно-кварцевый переход, к торцу кварцевой трубки которо"го приварена тонкая (5-10 мкм) кварцевая мембрана диаметром 1,5-2,5 мм,К кварцевой трубке вокруг периметрамембраны герметично подсоединяется,например приваривается, кварцеваяворонка - трубопровод, С внешней стороны мембранного узла на кварцевуютрубку, к которой приварена мембранаустановлен нагреватель мембраны и натрубопровод в непосредственной близости к мембране намотана нихромоваяпроволока через которую пропускается электрический ток,Чувствительность предлагаемого индикатора (3-8) 10 мм рт,ст, при проницаемости мембран (3,5-10) ф 10 л/си скорости откачки гелия "2 10л/с .Таким образом, предлагаемый индикатор позволяет регистрировать изменение давления гелия в испытуемойсреде в (1-3) ф 10 раз меньше по срави.нению с известным.формула изобре тения 1, Диффузионно"магнитораэрядный индикатор гелия, содержащий магниторазрядный насос, соединенный с ним мембранный узел, включающий кварцевую мембрану и нагреватель мембраны, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности индикатора, он снабжен системой откачки, мембрана герметично установлена1483301 Составитель Е,МасленниковТехред М. Ходанич Коррек тор М. Васильев а 1 Редактор А,Лежнина Заказ 2817/38 Тираж 789 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 5в мембранном узле, полость его со стороны мембраны, противоположной магниторазрядному насосу, соединена с системой откачки, а нагреватель мембраны установлен с внешней стороны мембранного узла,62, Индикатор по п.1, о т л и -ц а ю щ и й с я тем, что соединение полости с системой откачки выполнено 5посредством трубопровода из термостойкого теплоизоляционного материала.