Вертикальный турбомолекулярный насос

(51)4 Г 04 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ИЗОБРЕТЕ УЛЯРНБ к вакуумчшить откачные харповышения ери и насо путе тно и отка на вх и моле- насоса Физ(21) 4301464/ (22) 02.09.87 (46) 15.05.89 (72) А.С.Скор (53) 621.527. (56) Патент Ф кл. Р 04 019 СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ОМУ СВИДЕТЕПЬСТ Бюл. Р 18ин(5/) Изобретение относитсяной технике и позволяет ул1 Верхняя крышка 5 ротора 4 со стороны входного патрубка 2 имеет, коническую поверхность с образующей в виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами 6. Попадающие на поверхность крышки 5 молекулы газа отражаются преимущественно в направлении боковой стенки входного патрубка 2, который выполнен в виде усеченного ко 479702нуса с углом наклона образующей кьоси корпуса 1 не менее 45 . Отражение молекул от стенок входного патрубка 2 преимущественно происходит в направлении проточной части насоса, За счет попадания в проточную часть молекул, соударяющихся с крышкой 5, увеличивается эАЬективная быстрота действия насоса. 1 з.п. А-лы, 2 ил,Изобретение относится к вауумнойтехнике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов,Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса,На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на Лиг, 2 - крышкаротора, вид сверху,Вертикальный турбомолекулярныйнасос содержит корпус 1 с входнымпатрубком 2, закрепленный на внутренней поверхности корпуса 1 статор 3 иустановленный по оси корпуса 1 полыйротор 4 с верхней крышкой 5, котораясо стороны входного патрубка 2 имеетконическую поверхность с образующейв виде гиперболы и снабжена радиальными ребрами 6 с увеличивающейся внаправлении периферии высотой, причем верхние торцы ребер 6 имеют максимальную высоту, превышающую расстояние между ними по внешней окружностикрышки 5, Входной патрубок 2 выполненв виде усеченного конуса с углом наклона образующей к оси корпуса 1 неменее 45 ф, верхним малым основанием,расположенным в плоскости торцов радиальных ребер 6 и высотой, равноймаксимальной высоте последних,Насос работает следующим образом.После создания предварительногоразрежения в корпусе 1 насоса ротор4 раскручивается до номинальных оборотов.Молекулы газа, попадающие вкорпус 1 насоса через входной патрубок 2 и взаимодействующие с лопатками ротора 4 и статора 3, получаютимпульс в направлении откачки и переносятся со стороны всасывания насоса на сторону нагнетания. Молекулы,попадающие на крышку 5 ротора 4 в пространство между радиальными ребрами, благодаря конфигурации внешнейповерхности крышки 5 отражаются пре-.имущественно в направлении боковойстенки входного патрубка 2. Поскольку эта поверхность является конической, то отражение молекул от неепроисходит преимущественно в направлении проточной части насоса. В ре зультате увеличивается вероятностьоткачки молекул газа, попадающих навход насоса, т,е. улучшаются откачные характеристики насоса. 15 Формула изобретения 1Вертикальный турбомолекулярныйнасос, содержащий корпус с входнымпатрубком, закрепленный на внутренней 20 поверхности корпуса статор и установленный по оси корпуса полый ротор сверхней крышкой, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, крышка со стороны входного патрубка имеет коническую поверхность с образующей в видегиперболы и снабжена радиальными ребрами с увеличивающейся в направлениипериферии высотой, причем верхние 30 торцы ребер расположены в одной плоскости и ребра имеют максимальную высоту, превышающую расстояние междуними по внешней окружности крышки.2. Насос по п.1, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что входной патрубоквыполнен в виде усеченного конуса суглом наклона образующей к оси корпуса не менее 45, верхним малым основанием, расположенным в плоскости 40. торцов радиальных ребер, и высотой,равной максимальной высоте последних.1479702 ЕиУА Составитель В.КряковкинКелемеш ТехредЛ.Сердюкова Корректор Л.Пилипенко дакт Заказ 2522/3 раж 52 Подписное роизводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород,агарина, 101 Фиг ВНИИПИ Государственного комитета по и 113035, Москва, Ж, бретениям и открытиям при ГКНТ ССаущская наб., д. 4/5