Устройство для дискретного регулирования расхода газа

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИН 191 (111 14 Ь 05 Б 7/00 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН СВИДЕТЕЛЬ АВТОРСНО титут злектронн А.Коло 8)етельство СССР Р 7/00, 1980, тельство СССР 0 7/00, 1965. 3 гОсудАРстВенный нОмитет сссРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(21) 4227342/24-24 (22) 27.02.87 (46) 15,12.88, Вюл (71) Московский нн го машиностроения (72) Ю.И.1 рохоров, и П.А.1 авлов (53) 621.646.3(088 (56) Авторское сви У 951246, кл. 0 05Авторское свид У 194344, кл. О 05(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИСКРЕТНОГО РЕГУЛИРОВАНИИ РАСХОДА ГАЗА(57) Изобретение относится к областиавтоматического регулирования и может использоваться в машинах и аппаратах различного назначения, напримев производстве полупроводниковыхструктур. Цель изобретения - повышение быстродействич и расширение области применения устройства для дискретного регулирования расхода газа.Устройство содержит корпус в видеоснования 1 с входным каналом 2 иФланцами 3 и установленных на фланцах прижимов 8 с отверстиями 9. Между каждым сланцем и прижимом размещена упругая прокладка в виде пластиныб с жиклером 7. Жиклеры образуют магазин сопротивлений, а величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем "2". Пластины 6 установлены свозможностью возвратно-поступательного перемещения и снабжены каждая приводом в виде оппозитно расположенныхэлектромагнитов; сердечники которыхсоединены с пластинами, причем водном из крайних положений пластинвходной канал соединен с выходнымотверстием через жиклер, а в другомкрайнем положении входной канал и выходное отверстие разделены пластиной.Изобретение относится к автоматическому регулированию и может использоваться в машинах и аппаратах различного назначения,Цель изобретения - повышение бы 5стродействия и расширение областиприменения устройства.На фиг,1 и 2 показано устройство,общий вид; на фиг.3 - разрез А-Ана фиг.1.Устройство содержит корпус в видеоснования 1 с входным каналом 2 ифланцами 3, к основанию присоединенштуцер 4 для подвода газа, а вофланцах 3 выполнены проточки, соединенные отверстиями 5 с .входным каналом 2. В каждой проточке размещенаупругая прокладка в виде пластины бс жиклером 7. Жиклеры образуют магазин сопротивлений, причем величиныпроходных сечений жиклеров образуютгеометрическую прогрессию со знаменателем 2. Пластины 6 поджаты прижимами 8, в которых выполнены выходныеотверстия 9. Равномерность поджатияобеспечивается пружинами 10. В прижимах 8 установлены с уплотнениемштуцеры 11 для отвода газа к потребителю, например к рабочей камередиффуэионной камеры. Центровка прижимов относительно фланцев обеспечивается штифтами 12. Пластины б установлены с воэможностью возвратно-поступательного перемещения и снабженыкаждая приводом в виде оппоэитно расположенных электромагнитов 13 и 14,сердечники 15 и 16 которых соединеныс пластинами, причем в одном из крайних положений пластины 6 входной канал 2 и выходные отверстия 9 прижима 8 соединены через жиклер 7, а вдругом, крайнем положении пластины бвходной канал 2 и выходное отверстие9 прижима 8 разделены пластиной 6.устройство может быть разделено на единичные модули 1, 11, и т.д.,закрепленные на общей плите,Устройство работает следующим образом.Заданный расход газа обеспечивается включением соответствующих электромагнитов, перемещающих в открытоеположение требуемый набор жиклеров,параллельно подключенных к входномуканалу. Диапазон регулирования рас"хода определяется диаметрами проходных отверстий и количеством жиклероваФормула изобретенияУстройство для дискретного регулирования расхода газа, содержащее корпус и магазин сопротивлений в виде размещенной в корпусе упругой прокладки с жиклерами, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения быстродействия и расширения области, применения устройства, корпус выполнен в виде снабженного фланцами основания с входным каналом и установленных на фланцах прижимов, снаб" женных выходными отверстиями, причем упругая прокладка выполнена в виде пластин которые размещены между флан цами и прижимами с возможностью возвратно-поступательного перемещения, жиклеры установлены в пластинах, а величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем 2, каждая пластина снабжена приводом в виде оппоэитно расположенных электромагнитов,. сер-. дечники которых соединены с пластиной, при этом в одном из крайних положений пластины входной канал соедин нен с выходным отверстием через жиклер, а в другом крайнем положении пластины входной канал и выходное от- верстие разделены пластиной.