Устройство для дискретного регулирования расхода газа

Т СКОМУ СВ ЕЛ У,О СО твам мого тичеолее в гаи моного ии и в вае,Ощеа реГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР. (71) Винницкий политехнический институт (72) А.А,Новиков и А.А.Никифоров (56) Электронная техника. Серия 4.В.9, 1977, с.129-131.Авторское свидетельство СССР ЬЬ 1444719, кл. 6 05 О 7/00, 1986.Авторское свидетельство СССР ЬЬ 1275382, кл. 6 05 О 7/00, 1985(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИСКРЕТНОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА ГАЗА(57) Изобретение относится к средствам для получения или поддержания требуемого давления в баллоне и к автоматическому регулированию потоков газа, а более конкретно к конструкции регуляторов газовых потоков в вакуумных. системах и.может быть использовано в качестве регулируемого натекателя или переменного газового сопро. Изобретение относится к средс для получения или поддержания требуе давления в баллоне и к области автома ского регулирования потоков газа, а б конкретно - к конструкции регуляторо зовых потоков в вакуумных системах жет быть использовано в каче регулируемого натекателя или перемен газового сопротивления при получен поддержании требуемого разрежения куумной системе или вакуумном обьем Целью изобретения является упр ние устройстваи расширение диапазон, гулирования, Я 2 1810879 тивления при получении и поддержании требуемого разрежения в вакуумной системе или вакуумном объеме. Целью изобретения является упрощение устройства и расширение диапазона регулирования, Устройство для дискретного регулирования расхода газа содержит корпус в виде камеры с входным и выходным патрубками и перекрывающим ее устройством с прижимными элементами, имеющими возможность возвратно-поступательного движения с фиксацией крайних положений, Перекрывающее устройство содержит эластичную мембрану, герметично прикрепленную к части камеры со стороны прижимных элементов, а прижимные элементы расположены над мембраной и выполнены в виде отдельных элементов, площади оснований которых соответствуют одному из известныхкодов, например двоична-десятичному. 4ил. На фиг,1 дан общий вид сверху устройства для регулирования расхода газа; на фиг.2 - общий вид входа устройства для регулирования расхода газа; на фиг.3 - поперечное сечение. устройства для регулирования расхода газа (сечение А-А); на фиг,4 - продольное сечение устройства для регулирования расхода газа (сечение В- В).Устройство для регулирования расхода газа содержит корпус 1 с каналом прямоугольного сечения 2 и расположенной над ним эластичной мембраной 3, прижатой герметично к корпусу 1 фланцем 4, имеющим.45 50 55 форму прямоугольной рамки, Канал 2 в корпусе 1 и мембрана 3 образуют щелевой зазор. через который проходит регулируемый поток газа, обозначенный стрелками на фиг.4, Нэд мембраной 3 расположены прижимные элементы 5-13, имеющие плоские основания и цилиндрические стержни, посредством которых передается усилие на прижим и мембрану, которое создается, например, клавишным механизмом (не показан), Соотношения площадей отдельных элементов выполнены в соответствии с выбранным кодом, например двоичным, десятичным.Устройство работает следующим образом.Газ поступает в канал 2, который при регулировании перекрывается прижимными элементами 5-13. Поскольку сопротивление ( проводимость) канала зависит от его поперечного сечения и длины, происходит управление величиной потока газа, протекающего через канал.Комбинация прижатых-отжатых элементов обеспечивает регулирование потока газа в заданном диапазоне путем изменения длины и поперечного сечения канала. Поскольку прижимные элементы 5-13 выполнены с соотношением площадей, соответствующим выбранному коду, например, двоичному, то управление работой устройства можне: осуществлять непосредственно командами от логического устройства или ЭВМ, При этом используется электромагнитный привод возвратно-поступательного движения с фиксацией крайних положений.В соответствии с кодовой командой управления, поступающей на приводы прижимных элементов, обеспечивается числовое управление устройством. Расход газа будетопределяться проходным сечением канала. Если все прижимные устройства включены, то расход газа равен нулю, Младший разряд команды управления управляет состоянием прижимных элементов, составляющих максимальное сопротивление канала, при этом расход газа будет минимальным. Максимальный расход обеспечивается. полностью открытым каналом, Комбинируя состояние прижимных элементов, можно управлять во всем диапазоне величиной расхода газа от минимального до максимального, Изменяя сочетание прижимных элементов, можно получить регуляторы расхода с числовым управлением с различными характеристиками зависимости расхода от управляюшзго кода,10 15 20 25 30 35 40 Прижимные элементы могут располагаться в один ряд поперек перекрываемого потока газа, а также вдоль него, образуя многорядную матричную систему прижимных элементов, управляемых сигналами от ЭВМ, регулирующих ширину и длину каналов для потока газа.Число прижимных элементов может быть и другим, Оно выбирается в зависимости от диапазона изменения расхода, требуемой плавности изменения регулируемого потока, разрядности цифровой системь 1 уп- Уравления,Использование на входе регулятора с числовым управлением ограничителя входного потока, а на выходе откачного устройства (не показаны) обеспечивает работу регулятора в необходимом диапазоне давлений газа, что позволяет расширить диапазон регулирования потоков, выбрать необходимый режим расхода и область применения.Конструктивная реализация регулятора расхода зависит от типа привода прижимного элемента (магнитострикционный, электрострикционный, электромагнитный и др,).В качестве прижимов допустимо использовать механизм точечной матричной головки современных печатающих устройств (матричный принтер) с доработкой фиксации положения ударного механизма.При использовании устройства для работы при атмосферных давлениях следует учитывать его действие на мембрану. Устройство можно расположить в вакуумной камере для того, чтобы давление внешней среды не прижимало эластичную мембрану и не перекрывало регулируемый поток газа. Формула изобретения Устройство для дискретного регулирования расхода газа, содержащее корпус, между входной и выходной полостями которого установлен дросселирующий орган, о тлича ющееся тем,что,сцелью упрощения устройства и расширения диапазона регулирования, дросселирующий орган выполнен в виде щелевидной камеры, одна из стенок которой выполнена в виде мембраны из эластичного материала, над которой расположены связанные с приводом прижимные элементы, образующие двумерную матрицу, при этом площади оснований прижимных элементов выполнены пропорционально весам разрядов управляющего кода.. Составитель А,НовикТехред М.Моргентал Редакто орректор С.Лисина Производственно-издательский комбинат "Патент", г. У ул.Гагарина 10 Заказ 1446 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 4