Способ градуировки вакуумметров

(51 ЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ГОСУДАРС ПО ДЕЛА ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН(71) Производственное объединение энергетического насосостроения "Насосэнергомаш им. 60-.летия СССР" (72) В,В,Кузьмин, В,Н,Одноралов и Л.А,Здель(56) Авторское свидетельство СССР Ф 808889, кл. 0 01 Ь 27/00, 1981,Авторское свидетельство СССР У 469071, кл. О 01 Ь 27/00, 1975. (54) СПОСОБ ГРАПУИРОВКИ ВАКУУИМЕТРОВ (5) Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для определения метрологических характеристик рабочих вакуумметров. Це лью изобретения является расширение диапазона градуировки в сторону высоких давлений. В камере 1 с присоединенными градуируемым 3 и образцовым2 вакуумметрами воспроизводят давление путем откачки насосом 8 черездиафрагму 7 известной проводимости иодновременной подачи газа через элемент 4 меньшей проводимости из резервуара 5 с известным давлением газа,После установления равновесия междупоступлением газа в камеру 1 и откачкой снимают показания градуируемоговакуумметра 3, перекрывают кран 6 откачки и в течение фиксированного времени измеряют сравнительно высокоедавление по образцовому вакуумметру2 и рассчитывают значения давления, скоторыми сопоставляют показания градуируемого вакуумметра 3. 1 ил.Изобретение относится к приборостроению и может быть использованодля определения метрологических характеристик рабочих вакуумметров,Целью изобретения является расширение диапазона градуировкиНа чертеже изображена схема вакуумной системы, реализующей предлагаемый способ градуировки вакуумметров. 10Вакуумная система включает градуировочную камеру 1 (объема 7), ккоторой присоединены образцовый манометр 2, измеряющий сравнительно высокие давления, и градуируемый вакуумметр 3, измеряющий сравнительнонизкие давления, В камеру 1 через элемент 4 малой проводимости 7 подаютградуировочный газ из резервуара 5,С другой стороны, камера 1 через по Оследовательно расположенные клапан 6и диафрагму 7 известной проводимости7 (для молекулярного режима) откачивается вакуумным насосом 8, причем77,. 25Предложенный способ реализуется вследующей последовательности,После предварительной откачки системы из резервуара 5,где газ с давлением Р подают градуировочный газ,а по сле установления равновесия между поступлением газа в камеру 1 из резервуара 5 через элемент 4 малой проводимости 7 и откачкой газа насосом 8 через клапан б и диафрагму 7 с проводимостью 7 производят отсчет показания .градуируемого вакуумметра 3, соответствующего давлению Р. Равновесное течение газа контролируется по неизменности показания градуируемого вакуум"4 Ометра. Данный процесс описываетсяуравнением 45 где проводимость элемента 4 7 является непостоянной величиной, так как течение газа через него происходит в молекулярно-вязкостном режиме.Не изменяя потока газа, поступающего в камеру 1, перекрывают ее откачку путем закрытия клапана 6 и, начиная с этого момента 10, производят отсчет времени 1., Давление Р; в каме" ре 1 возрастает согласно уравнению55Р ( Р Р) (2ЧПо истечении фиксированного интервала времени 1; - 1 измеряют сравни тельно высокое конечное давление Г, в камере 1 по образцовому манометру Ро о(к в)н(2 а) Сопоставляют показание градуиру - емого вакуумметра 3 с расчетнымзначением давления Р, получаемым совместным решением уравнений (1) и (2 а), в результате имеем(3) Повторяют описанные операции для других значений давления Р, Воспроизведение множества этих значений путем воспроизведения и расчета давления и сопоставления его с показаниями градуируемого вакуумметра в камере известного объема с присоеди -ненным градуируемым вакуумметром,откачиваемой через диафрагму известной проводимости, при подаче газа внее из резервуара и с известным давлением газа через элемент меньшейпроводимости, чем проводимость диафрагмы, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью расширения диапазона градуировки в сторону высоких давлений, воспроизведение давления вкамере производят после отсчета показания градуируемого вакуумметра,соответствующего равновесию поступления и откачки газа, контролируемогопо неизменности показаний градуируемого вакуумметра, путем прекращенияоткачки камеры и накопления газа,продолжающего поступать в камеру, втечение фиксированного интервала времени, по истечении которого производят измерение конечного сравнительновысокого давления по образцовому манометру, присоединенному к камере,возможно путем регулирования давления Р или проводимости 70, или обеих величин вместе.Таким образом, осуществляется градуировка вакуумметров независимо от режима течения газа через элемент малой проводимости. Это позволяет расширить диапазон градуировки в сторону высоких давлений, причем расширенный диапазон ограничен сверху давлением, при котором соблюдается молекулярный режим в диафрагме проводимости 7.Формула изобретенияСпособ градуировки вакуумметров.Сердюкова Корре Состав Редактор М.Келемеш ТехредМаксимишин одписио Заказ 6276/4 Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород оектная,Тираж 847ВНИИПИ Государствепо делам изобре035, Москва, Ж,ого комитета СССР ний и открытийаушская наб д, 4