Сорбционный вакуумный насос

( 04 В 37/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ О С: ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Московский институт электронного машиностроения(54) СОРБЦИОННЫЙ ВЛКУУМНЫЙ НЛСОС(57) Изобретение относится к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с нераспыляемыми газопоглотителями. Цель изобретения улучшение откачных характеристик насоса, а также повышение его экономичности. В корпусе 1 с входным патрубком 2 размещены по оси нагреватель 3 и охватывающий его кольцевой сорбционный блок, который выполнен в виде втулки 4 и закрепЯО, 1423787 А 1 ленных на ней по спирали сорбционных эле. ментов 5. Г 1 оследние м. б. расположены с переменным шагом между витками спирали, увеличивающимся от патрубка 2, что способствует меньшему сопротивлению молекулам газа, проникающим в глубину насоса, что в целом увеличивает откачные характеристики насоса. Элементы 5 м.б. выполнены в виде секторов, при этом ось симметрии каждого сектора расположена к оси корпуса под острым углом, что обеспечивает экранировку элементов 5 соседних витков спирали. Это приводит к уменьшению потери тепла, выделяемого нагревателем, а следовательно. дает возможность повысить экономичность насоса. Выполнение элементов 5 в виде секторов, которые могут располагаться с перекрытием зазоров между ними по вертикали, позволяет при повышении проводимости блока и, соответственно, увеличении быстроты действия уменьшить обратный поток газа из сорбционного блока к входному патрубку. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с нераспыляемыми газо.поглотителям и.Цель изобретения - улучшение откач 5 ных характеристик насоса, а также повышение его экономичности.На фиг. 1 представлен насос с сорбционными элементами в виде секторов окружности, общий вид; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг. 1; на фиг. 3 - насос с увеличива 10 ющимся шагом между витками спирали, общий вид; на фиг. 4разрез Б- - Б на фиг. 3.Сорбционный вакуумный насос содержит корпус 1 с осевым входным патрубком 2 и размещенные в корпусе 1 по оси нагреватель 3 и охватывающий его кольцевой сорбционный блок, выполненный в виде втулки 4 и закрепленных на ней по спирали сорбционных элементов 5. Последние расположены с переменным шагом между витками спирали, увеличивающимся от входного патрубка 2, и выполнены в виде секторов, причем ось симметрии каждого сектора расположена к оси корпуса 1 под острым углом.25Насос работает следующим образом.В качестве сорбента на сорбционных элементах 5 используется нераспыляемый газо- поглотитель, например спеченый порошок титана, который активно поглощает газы при высокой температуре. Включение насоса в ЗО работу осуществляется путем включения нагревателя 3, тепло от которого через втул. ку 4 передается сорбционным элементом 5. Газ, поступающий в насос через входной патрубок 2, взаимодействует с сорбционными элементами, где поглощается. Поскольку элементы 5 расположены по спирали вокруг втулки 4, пе поглощенные молекулы газа свободно проникают н глубину насоса, где вероятность их поглощении за счет многократного соударенпя с поглощающей по верхностью увеличивается. Переменный шаг спирали, увеличивающийся от входного патрубка, способствует меньшему сопротивле. нию молекулам газа, проникающим в глубину насоса, что в целом увеличивает откачные характеристики насоса.Наклон секторов к оси корпуса насоса обеспечивает экранировку сорбционных элементов 5 соседних витков спирали, что приводит к уменьшению потери тепла, выделяемого нагревателем, а следовательно, дает возможность повысить экономичность насоса.Выполнение сорбционных элементов 5 в виде секторов, которые могут располагаться с перекрытием зазоров между ними по вертикали, позволяет при повышении проводимости сорбционного блока и, соответственно, увеличении быстроты действия уменьшить обратный поток газа из сорбционного блока к входному патрубку.формула изобретения1. Сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус с осевым входным патрубком и размещенные в корпусе по оси нагреватель и охватывающий его кольцевой сорбционный блок, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, сорбционный блок выполнен в виде втулки и закрепленных на ней по спирали сорбционных элементов.2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что сорбционные элементы расположены с переменным шагом между витками спирали, увеличивающимся от входного патрубка.3, Насос по и. 1, отличающийся тем, что сорбционные элементы выполнены в виде секторов.4. Насос по и, 3, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, ось симметрии каждого сектора расположена к оси корпуса под острым углом.(.оставитсдь В ЕрялонлипРедактор М Петрова Тскред И Берег Ео(рслто 11 МуслиЗа к аз 4624,4 Тираж 574 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж 35, Раупшская наб, д. 45Производственно. полиграфическое предприятие, г Ужгород, уд, Проектная, 4