Способ фиксации положения границы объекта

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУ БЛИН 456 А 1ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Институт электроники АН БССР(56) Патент США Яф 3317739,кл. 356-172, 1967.Патент Франции У 2092569,кл. С 01 В 19/00, 1972.(54) СПОСОБ ФИКСАЦИИ ПОЛОЖЕНИЯ ГРАНИЦЫ ОБЪЕКТА(57) Изобретение относятся к измерительной технике. Цель изобретения -повышение точности измерения за счетуменьшения влияния дистабилизирующихфакторов. Постоянный по интенсивностипоток излучения, формируемый источниками 1, 2 поперечного монохроматического излучения, модулируется по интенсивности модуляторами 3, 4 интенсивности, проходит ослабители 5, 6, зеркало 7 и светоделитель 8 и поступает на блок 9 сканирования. В фокальной плоскости фокусирующего объектива 1 О формируется сканирующее по размеру и перемещающееся поперек границы объектива 16 световое пятно, которое переносится приемным объективом на фотоприемник 13. Переменная составляющая электрического сигнала, снимаемого с фотоприемника 13, выделяется и детектируется блоком 14 обработки сигнала. При экранировании границей объекта 16 середины свето- д вого пятна продетектированный электрический сигнал равен нулю. При этом осуществляется фиксация границы объекта 16 индикатором 15. 2 ил.5 1 О 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных размеров различных объектов, напримерштриховых решеток:Цель изобретения - повышение точности измерения за счет уменьшениявлияния дестабилизующих факторов.На фиг. 1 изображена функциональная схема устройства для осуществления предлагаемого способа; на фиг.2 -относительное перемещение световогопятна и объекта,на фиг, 3 - времен -ные диаграммы сигналов, формируемыхна выходе фотоприемника и в блокеобработки сигналов.Устройство содержит оптическисвязанные источники 1 и 2 когерентного монохроматического излучения сразличными длинами волн, модуляторы3 и 4 интенсивности, ослабители 5 и6, зеркало 7, светоделитель 8, блок9 сканирования, фокусирующий объектив10, столик 11, приемный объектив 12,последовательное соединенные фотоприемник 13, блок 14 обработки сигналов и блок 15 индикации. Фиксируется граница объекта 16,Способ осуществляют следующим образом.Потоки излучения, формируемые источниками 1 и 2 когерентного монохроматического излучения, в виде параллельных пучков лучей направляютсячерез модуляторы 3 и 4 интенсивности,ослабители 5 и 6, зеркало 7 и светоделитель 8 на блок 9 сканирования,Блок 9 сканирования осуществляетпериодическое отклонение параллельныхпучков лучей по углу, направляемыхна фокусирующий объектив 10,: фокальной плоскости которого формируется дифракционная картина, перемещающаяся относительно объекта 16.Модуляторы 3 и 4 интенсивностиосуществляют противофазную модуляциюпо интенсивности потоков излучения,формируемых источниками 1 и 2 когерентного монохроматического излучения, а ослабители 5 и 6 выравниваютинтенсивности потоков излучения,Источники 1 и 2 когерентного монохроматического излучения формируютпотоки излучения на различных длинахволн, в связи с чем размеры центрального дифракционного максимума дифракционной картины, формируемой фокусирующим объективом 10, модулируются по размеру с частотой, равнойчастоте модуляции по интенсивностипотоков излучения, задаваемой модуляторами 3 и 4 интенсивности.Потоки излучения, прошедшие черезобъект 16, установленный на столике11, и приемный объектив 12, преобразуются фотоприемником 13 в электрический сигнал, переменная составляющая которого выделяется и детектируется в блоке 14 обработки сигналов.1При сканировании размера центрального дифракционного максимума дифракционной картины модуляция электрического сигнала возникает при экранировании части дифракционного максимума краем объекта (фиг, 2 а, б,г, д). При экранировании границейобъекта 16 половины центральногодифракционного максимума (фиг, 2 в)модуляции электрического сигнала непроисходит. При этом осуществляетсяфиксация границы объекта 16 блоком15 индикации.Предлагаемый способ по сравнениюс известными повышает точность измерений эа счет фиксации нулевого значения продетектированного переменного электрического сигнала,Формула изобретения Способ фиксации положения границы объекта, заключающийся в том, что фокусируют постоянный по интенсивности поток излучения в виде светового. пятна в плоскости границы объекта, осуществляют относительное перемещение светового пята и границы объекта, преобразуют интенсивность потока излучения, прошедшего через границу объекта, в электрический сигнал, выделяют и детектируют переменную составляющую электрического сигнала,фиксируют характерную точку продетектированной переменной составляющей электрического сигнала, по времени формирования которой судят о положении границы объекта, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения, модулируют по размеру световое пятно, а характерную точку фиксируют при равенстве нулю продетектированной переменной составляющей электрического сигнала.1370456 р г д Фиг. Л Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4 Редактор А.РевинЗаказ 409/39 Составитель Т.АйсинТехред А.Кравчук Корректор С,Черни Тираж 680 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5