Способ измерения давления

(И 4 01 1. 21/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТК А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 54) СПОСОБ ИЗЮРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ57) Изобретение относится к вакуумому приборостроению. Цель изобретеия - повышение точности измерения давления в автоматизи мах управления. Электтода регулируется по(56) Лекк Дж. Измевакуумных системахс.108. ие давления ИЛ, 1966 ным ляемому привед При соблюдении ти между элект риве нным Кузьмин ов И.В. онным током г истика иониза ра техник искания. с.159. становится м але измеряемь ле.87.Бюл.Уиршерт87 (088,8) В.В., Левина Л.Е., ТвоВакуумметрическая аппарат высокого вакуума и течеЭнергоатомиздат, 1984,ованньм систеонный ток ка- . акону, опредеотношением, иной зависимосоком катода и радуировочная характеионного вакуумметраотонной во всем интер(6) 1Изобретение относится к вакуумно-,му приборостроению, н частности кионизационным накуумметрам, действие которых основано на ионизации мо 5лекул газа электронным ударом и измерении силы тока образованных положительных ионов, который являетсяфункцией давления газа.Цель изобретения - повьппение точности измерения давления в автоматизированных системах управления,На чертеже иллюстрируется осуществление способа измерения давления. 15На чертеже в логарифмическом безразмерном масштабе изображена пунктирной линией градуировочная характеристика ионизационного вакуумметра, работающего по известному способу при различных значениях электронного тока катода в зависимости отподдиапазона измеряемого данления.Градуировочная характеристика 1(р)дана в виде графической безразмерной 25зависимости 1/1 от Р/Р , где 1ионный ток вакуумметра, соответствующий верхнему пределу электронноготока и нижнему пределу измеряемогодавления Р,В качестве примера взят случай,когда используются три различныхзначения электронного тока катода,относящиеся между собой как 1:0,1;,:0,01. Зависимость электронного тока катода (точнее отношение 1/1 )от измеряемого давления (точнее, ототйошения Р/Ро) для известного случая изображена в нижней части чертежа штрихпунктирной ломаной линией.40В точках а-аи Ь - Ь, градуи.ровочной характеристики, соответствующих точкам с - с и д - д зависи 1мости электронного тока катода, точнов измерение давления затруднено,45особенно в автоматизированных системах.Для поньппения точности измерениядавления предлагается изменить градуировочную характеристику ионизационного вакуумметра до монотонной за 50висимости, изображенной на рисункесплошной линией, подчиняющейся зависимости(1/1 р) =; (Р/Рп) (1) 55РИз уравнения (1 ) следует, что предлагаемая градуировочная характеристи - ка может быть записана в виде или в видев(ю ) Известно, что для рабочего участка характеристики ионизационного вакуумметра, ионный ток этого приббра зависит от давления и электронного тока катода следующим образом: где К - приведенная чувствительностьманометрического преобразователя.С учетом уравнения (4) уравнение(3) можно записать в видеК 1 Р/К 1 Р = (Р/Ро)Отсюда, с учетом уравнения (2 ),имеем: Таким образом, уравнение (6) определяет ту зависимость между электронным током катода и ионным током, при соблюдении которой градуировочная характеристика ионизационного вакуум- метра становится монотонной но всем интервале измеряемых давлений в соответствии с уравнением (1 ).Иэ уравнения (6) и (3) можно определить требуемую занисимость электронного тока катода от давления1 е / 1 еЭта линейная зависимость изображена на чертеже в виде двойной штрих- пунктирной линии.Регулировку электронного тока катода по зависимости (6 )может обеспечить микропроцессорное устройство. Таким образом, регулируя электронныи ток катода предлагаемым способом, можно получить монотонную градуировочную характеристику иониэационного вакуумметра во всем интервале давлений, исключив разрывы градуировочной характеристики, вызываемые переключением тока катода с одного постоянного уровня на другой. Одновременно исключается влияние индивидуальных характеристик манометрических преобразователей на точность измерения давления (таких, на пример, как повьппенное газоныцеление катодов при скачкообразном иэме