Уплотнительный узел сверхвысоковакуумного клапана

(50 4 Р 16:К 51/02 49/О ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ я повышение надежностивия при одновременной тения являе и быстродей оа 1 зол источнику импуль выполнение устезко снизить соченными к внешнем ного тока. Подобн ройства позволяет(54) У ВАКУУМ (57) И ной те польза лическ иг. ОСУДАРСТНЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ д ВТОРСНОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Московский институт электронного машиностроения(56) Авторское свидетельство СССР 9 905569, кл. Р 16 К 49/00.Рот А. Вакуумные уплотнения.М,: Энергия, 1971, с. 349, с.6-29.Спицын В.И., Троицкий О.А.Электропластическая деформация металлов. - М.: Наука, 1985, с. 5-31,ПЛОТНИТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ СВЕРХВЫСОКОНОГО КЛАПАНАзобретение относитсяхнике и предназначенования в клапанных целих соединениях. Целью можности автоматического рег вания натекания через контакт уплотнения за счет электропластического эффекта. Предложенное устройство содержит запорный диск 1, седло 2 и прокладку 4, размещенную между ними, причем уплотнительные поверхности диск и седла 2 выполнены из электрои ирующего материала 3, прокладка 4соединена в диаметрально противоположных точках с электродами 5, подклюпротивление материала прокладки плас тическому деформированию и управлять этим процессом, что обеспечивает дос тижение поставленных целей. 1 з,п. ф-лы 3 ил,1 31229Изобретение относится к вакуумнойтехнике и может быть использовано в Формула изобретения уплотняющих узлах сверхвысоковакуумной коммутационной аппаратуры,Целью изобретения является повышение надежности работы и быстродействия при одновременной возможностиавтоматического регулирования натекания через контакт уплотнения засчет злектропластического эффекта,1Применение данного уплотнительного узла позволяет повысить надежность в 1,5-2 раза, увеличить быстродействие в 10-100 раз и упростить 15эксплуатацию клапана.На Фиг. 1 показан уплотнительныйузел сверхвысоковакуумного.клапана;на фиг, 2 - разрез А-Л на Фиг. 1; нафиг. 3 - вариант уплотнительного узла сверхвысоковакуумного клапана.Устройство состоит из запорногодиска 1 и седла 2 с электроизолирующими покрытиями 3, например из алюмосиликатных стекол. На седле 2 размещена прокладка 4 из пластичного токопроводящего металла, например измеди, которая контактирует в диаметрально противоположных точках с электродами 5, соединенными электрическими цепями с источником 6 импульсноготока (Фиг. 2), расположенным вне вакуумного клапана.Прокладка 4 и электроды 5 (фиг.3)выполнены в виде металлической плен-ки, например, из золота или меди, нанесеннной на электроизолирующее покрытие 3. Уплотнительная поверхностьдиска 1 выполнена из нержавеющейстали 7 и изолирована от основаниядиска 1 покрытием 3.При герметизации уплотнительногостыка (диск 1 - прокладка 4) внешнимприводом (не показан) развиваетсяусилие Р, которое уплотняет стык разьемного соединения клапана, При этомна прокладку 4 подаются импульсы тока плотностью 10 - 10 А/мм (при3плотности тока, меньшей 10 А/мм,действие электропластического эффек 50та незначительно, а плотность токабольше 10 А/мм трудно реализуема4генератором импульсного тока) и длительностью 10 -10 с (при длитель ности импульса больше 10 с можетвозникнуть разогрев металла, а дли тельность импульса меньше 10 труднореализуема генератором импульса).Частота повторения импульсов тока находится в диапазоне 0,1-100 Гц, что определяет скорость деформирования пластичного уплотнителя медного клапана менее 1 мм/с (нижний предел час тоты повторения обусловлен тем, что герметизация может осуществляться в результате действия одиночного импульса, верхний предел обусловлен тем, что для эффективного действия электропластического эффекта к приходу каждого из последующих импульсов должно быть обеспечено накопление неравновесных групп дислокаций).Вследствие электропластического эффекта, в основе которого лежит электрон-дислокационное взаимодействие, приводящее к срыву дислокаций с препятствий и к увлечению их движущимися электронами проводимости, существенно, на десятки и сотни процентов, понижается сопротивление материала прокладки пластическому деФормированию. В результате герметизация уплотнительного стыка, заключающаяся в заполнении пластически деформированным металлом прокладки 4 микроканалов, образованных микроне- ровностями уп;".отняемых поверхностей, происходит при усилии Р, значительно меньшем, чем при известных способах, при этом устраняются недостатки, связанные с нагревом уплотнителя при закрытии и открытии клапанаТак как каждый из импульсов тока вызывает элементарную пластическую деформацию, то управляя частотой следования импульсов или их амплитудой и длительностью, регулируют натекание через уплотнительный контакт клапанного соединения, что упрощает эксплуатацию клапана. 1. Уплотнительный узел сверхвысоковакуумного клапана, содержащий запорный диск и седло с уплотнительными поверхностями, прокладку из токо- проводящего материала, размещенную между ними и соединенную с электродами, подключенными к внешнему источнику, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности и быстродействия, уплотнительные поверхности диска и седла выполнены из электроизолирующего материала, а прокладка выполнена из металла с низким удельным электрическим сопротивлением и непосредственно соединена131 2294 пульсного тока,А-А 1 аксимкинако Корректо Составительедактор И.Николайчук Техред Н.Глущ.Тяск каз 1952 34 Подписомитета СССР НИИПИ о кй и открытийРаушская наб.,по113035 ул.Проектная, 4 оизводственно-полиграфическое предприятие, г.Ужг с электродами в диаметрально противоположных точках, в качестве внешнегоисточника использован источник имТираж 812осударственнлам изобретеМосква, Ж42. Узел по и. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что уплотнительные поверхности диска и седла покрыты слоем металла.