Запорное устройство

1286862 Р 16 К24 0 МИТКТ ССС ТЕНИЙ И 0 ТКРЫТОСУДФфСТВЕНН ЛЕЛАМ ИЗОБАТЕ ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ОПИСА(57) Изобретение относится к арматуростроению и может быть исполыовано в вакуумной технике, напримерв плаэмохимичсском оборудовании,термическом оборудовании для процессов осаждения слоев на кремниевуюподложку, ди 44 узионнои и окислительном оборудовании. Цель изобрете26862 пия - расширение Функциональных вазможностей устройства эа счет регулировки величины прямого хода и угла поворота запорного органаПриподаче насыщенного парами масла воздуха в штуцер 13 перемещается поршень 6 и вместе с нии - шток 3 срычагом 2 и запорным органом 1, происходит открытие гериетиэируемогоОбъема, при этом шток Э движетсяпрямолинейно, так как прямой участок проФильного паза скользит по Изобретение относится к арматуростроению и может быть использовано в вакуумной технике например в плаэмохимическом оборудовании, термическом оборудовании для процессов осаждения-слоев на кремниевую подложку, диФФузионном и окислительнои оборудовании.Целью изобретения является расширение Функциональных воэиожностей устройства за счет регулировки величины прямого хода и угла поворота запорного органа,На Фиг.изображено предлагаемое устройство, общий вид, на Фиг,2- Форма проФнльного паза. Устройство состоит иэ запорного органа 1, связанного с помощью консольного рычага 2 со штоком 3 пневмоцилиндра 4. Юток 3 через поворот" ный шарнир 5 связан с поршнем 6 так, что при возвратно-постунательнои перемещении поршня 6 вместе с ним перемещается шток 3, правый (на Фнг. 1) конец которого полый и иа нем образован на участке А проФильный паз 7: Втулка 8 является направляющей для штока 3 и ограничителем от проворота для пальца 9, взаимо, - действующего с ароФильныи паэои 7 штока Э, Палец 9 жестко закреплен в держателе 1 О, установленном внутри штока 3 с возможностью перемещения вдоль оси на длину паза 7 во втулке .8. Перемещение осуществляется эа.г счет вращения по часовой илн против часовой стрелки винта 11 с последующим эаконтриваниеи его гайками 12. паггьцу 9. При дагп,нейшем дппжениипоршня 6 палец 9 ггачнггает скользитьпа винтовой части праФиггьнага пазаи тем самым поворачивает пгтак 3 наугал 1 саатветстБукгщий углу наклонавинтовой линии проФильного пазаПриэтом запарный органотходит н сто рону, освобождая пространства длядоступа к герметизируемому объему.Закрытие устройства Осуществляетсяв обратном порядке при подаче воздуха в штуцер 4, 2 ил. 2В корпусе пневмацилиггдра 4 выполнены штуцерьг 13 и 14 подачи воздуха,При перемещении пальца 9 к псршнго 6 вращением ниита 1 протчв ча савой срелки увеличивается прямойход запорного органа 1,ат герметизируемого объема, чта очень важно приналичии на запорном органе 1 бальгг 1 Ого количества экранов.Ю При перемещении пальца 9 ат порп. ия 6 вращением винта 1 на часовойстрелке уменьшается прямой хад запорного органа 1 и увеличивается угол отклонения последнего. Запорное устройство работает следу 1 ощим образом.2 р, При подаче, насыщенного парами масла воздуха в штуцер 13 перемещаетсяпоршень 6 и вместе сним шток Эс рычагом 2 и запорным органам 1,происходит открытие герметизируемога 25 объема, при этом.шток 3 движетсяпрямолинейно, так как прямой участокпройильного паза 7 скользит па пальцу 9. при дальнеРпгем движении паргпня 6 палец 9 начинает скользить павинтовой части профильного паза 7 итем самым поворачивает гггтак 3 наугол саатзетстВугОщгги углч наклонавинтовой ливии прайильнага паза,При этом з ап Орный орган г. а тхади т в сторону, освобождая пространства для доступа к герметизируемаму объему. Закрытие устройства асакествляется в обратном порядке при подаче воздуха в штуцер 14,4 Составитель Л, ФокинТ р д Л Сер к а КоРРектоР А.ТЯско Редактор Н.Бандура Заказ 7700/37 Тираж 811 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Иосква, Ж, Раувская наб., дМ 5 т ьмвиюав тФормула изобретения Запорное У:тройство, содержащее запорный орган, пневмоцилиндр с корпусом, поринем и к 1 током, средство поворота с пальцем и закрепленный на щтоке поворотный шарнир, о т л ич а ю щ е е с я тем,.что, с. целью 1)а.Рп 1 р 4.пня Жункпиональнъпс возможногтей, средство поворота размещенов корпусе пневмоцилиндра, а поворот"ный парнир установлен внутри пориияс воэможностью взаимодействия с нимгрн этом палец средства поворота установлен с возможностью перемещениявдоль оси ятока.