Способ динамической градуировки вакуумметров

СОЮЗ СОВЕТСКИКСОЦИАЛИСТЬНЕСКИХРЕСПУБЛИК П 9) (11 50 4 С 01 1. 2 0 ГОСУД ПО ДЕ ЗОБРЕТЕН ИСА У ВИДЕТЕЛ афрагмукамеру 7ре 4 устление пр известной проводиизкого давления,авливается некото ости и камее давИзакрытом клапан емени регистра етра 2 при помере 4Вто производят азом через кла"ответствующерадуировки. Приаданные моменвакуумметра 2ра 1. По знаремени, соответ градуируемого дающим с покай откачке, раскамере 4. 2 ил ННЫЙ КОМИТЕТ СССРЗОБРетений и ОткРытий(54) СПОСОБ ДИНАМИЧЕСКОЙ ГРАДУИРОВКИВАКУУММЕТРОВ(57) Изобретение отйосится к измерительной технике и позволяет повыситьточность градуировки вакуумметров,Градуируемый вакуумметр 2 соединенс градуировочной камерой 4, в которуюгаз поступает из камеры 3 с образцовым манометром 1. Камера 4 предварительно откачивается через димеряют промежуткиции показаний вакуунижении давления в ричную откачку каме после заполнения ее пан 8 до давления, го верхнему пределу этом регистрируют вты времени покаэани и образцового маномчениям промежутковствующим показаниям вакуумметра 2, совпзаниями при первичнсчитывают давление+- (5) "г 50 где Рг,о Изобретение относится к приборостроению, в частности к способам определения метрологических характеристик вакуумметров,Цель настоящего изобретенияповышение точности градуировки вакуумметров,На фиг, 1 показана принципиальная схема устройства; на фиг, 2 -ход изменения давлений в камерах 3и 4 вакуумной системы в процессеградуировки,Вакуумная система, реализующаяпредлагаемый способ динамическойградуировки вакуумметров, содержитобразцовый абсолютный манометр 1и градуируемый вакуумметр (или манометрический преобразователь) 2, присоединенные к камере 3 образцовогоманометра и градуировочной камере 4(известного объема У) соответственно, Обе камеры отделены друг от друга диафрагмой 5 известной проводимости У, (для молекулярного режиматечения). Необходимый перепад междудавлением Р, в камере 3 и давлениемв камере 4 (Р ) Рг) обеспечиваетсянепрерывным течением газа иэ камеры3 в камеру 4, Последняя откачивается через диафрагму б проводимости У,(также для молекулярного режима течения), Диафрагма б отделяет камеру4 от камеры 7 низкого давления примыкающей непосредственно к высоковакуумному насосу (агрегату). Давление в камере 7 Р сс Рг клапаном 8можно перекрывать диафрагму 5,Градуировку вакуумметра 2 осуществляют следующим образом,После предварительной откачкиградуировочной камеры 4 устанавливают в ней некоторое давление Рг о(при этом клапан 8 закрыт),При непрерывном понижении давле 1ния Р в камере 4 регистрируют показания градуируемого вакуумметра 2во времени, Процесс откачки камеры4 через диафрагму 6 описываетсяуравнением- давление в камере 4 в начальный момент времени( о, суммарный побочный потокгаза, обусловленный явлениями сорбции и десорбции и др,5 Измеряют промежутки временисоответствующие зарегистрированнымпоказаниям градуируемого вакуумметра 2,Наполняк)т камеры системы граду 1 О ировочным газом до давлений, соответствующих верхнему пределу областиградуировки (при этом клапан 8 открыт), и начинают ее вторичную откачку.15 При непрерывном понижении давлеония Р в,камере 4 регистрируют погказания градуируемого вакуумметра 2во времени,В начале вторичной откачки во20 заданные моменты временииоизмеряют по образцовому манометру 1соответствующие давления Р,о и Р,(0Давление Р, в камере 3 непрерывнопонижается согласно уравнению где У - объем камеры 3.Измеряемые давления Р, и Р, свя 1,о 4(заны между собой соотношением"; К -,1Р =Рое (3)Совместное решение уравнений 2 и 3дает Связь между давлением Р" в камере 4 ивремейем Г." описывается уравнением МИзмеряют промежутки временив, соответствующие показаниям граду.ируемого вакуумметра 2, совпадающимс показаниями, зафиксированными в 55 процессе первичной откачки.Сопоставляют зарегистрированныепоказания градуируемого вакуумметра 2 с соответствующими расчетными275243 4решности, обусловленные нестабильностью проводимости натекателя и изменением давления на входе в него. ировки,-е - й М +Рг,ог(6) Предлагаемый способ динамической 10 градуировки вакууммметров позволяет повысить точность не менее, чемдо 2-ЗХ Тогда(8) Ход изменения давления Р и Р на обоих этапах градуировки показан на фиг. 2, 25Уравнения 6 и й точно описывают состояние газа в градуировочной камере, так как рассчитанные по ним значения давления включают необходимые поправки, связанные с побочны- З 0 ми процессами газовыделения и газопоглощения в градуировочной камере и в градуируемом вакуумметре,Устранение необходимости внешней подачи потока газа при градуиров-З ке дает воэможность исключить погР УиггЗаказ 6551/31 Тираж 778 Подписное ектная, 4 В тие, г. Ужгород, ул иэв,-поИ значениями давлений Рг =Р =Р, получаемыми совместным решением уравнений (1) и (5)РП 11 1 Оц с"-с"Р(о Е"а Если Р - наивысшее давление в гра 2,0дуировочной камере 4, при которомможно пренебречь потоком и, тоР = - РЬ(7)г,о,оЛиквидация операций регулирования потока упрощает методику градуФормула изобретения Способ динамической градуировки вакуумметров, заключающийся в понижении давления в градуировочной камере за счет наполнения ее газом и откачки газа через диафрагмы известной проводимости, регистрации показаний градуируемого вакуумметра и измерений давлений по образцовому вакуумметру в течение определенного периода времени, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повьппения точности градуировки, вторично наполняют градуировочную камеру газом, затем откачивают газ из камеры, в процессе откачки фиксируют промежут" ки времени, через которые показания градуируемого вакуумметра совпадут с теми которые были зарегистрированы при первичной откачке, и рассчитывают давление в градуировочной камере по известным зависимостям.