Регулятор расхода газа

(З 1 4 С 05 0 7/О ТЕНИ АлФ ВУ У 40хничеекой механи и В.Д.Скрябин8)нциклопедическийСоветская энци363.етельство СССР5 0 7/03, 1982ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ОПИСАНИЕ И 1 0 С 0 МУ СИД(71) Институт теАН УССР(54) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА(57) Изобретение относится к технике регулирования расхода и можетбыть использовано для высокоточногодоэирования малых количеств газа ввакуумной технике, в аналитическойхимии, в квантовой технике, в радиоспектроскопии. Целью изобретения является повышение точности и улучшение эксплуатационных характеристикрегулятора. Регулятор содержит корпус с входным и выходным каналами,между которыми установлен регулирующий орган, выполненный в виде седлаи клапана с эластичным уплотнением,размещенных в обойме из эластичногоматериала. Полость обоймы соединенас каналом выхода. Клапан жестко соединен с подвижным элементом вибратора, основание которого через стойкисвязано с корпусом регулятора. Привключенном вибраторе возбуждаетсявибрационное движение клапана в пределах упругости эластичного уплотнения с заданной амплитудой и частотойЧерез один-два периода колебаний клапана начинается расходное течение газа через регулирующий орган. Величина расхода газа пропорциональна амплитуде колебаний. При большой частоте колебаний ( - 100 Гц) клапана всочетании с малым расходом газа через регулирующий орган обеспечивается повышение точности регулированиядозы газа. 1 ил, 1 1Изобретение относится к регулированию расхода и может быть использовано для обеспечения высокоточного дозирования малых количеств газа в вакуумной технике, в аналитической химии, в квантовой технике, в радио- спектроскопии.Цель изобретения - повышение точности и улучшение эксплуатационных характеристик регулятора.На чертеже изображена конструктивная схема регулятора расхода газа,Регулятор содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 каналами, между которыми установлен регулирующий орган, выполненный в виде седла 4 и клапана 5 с эластичным уплотнением 6, размещенных в обойме 7 из эластичного материала. Полость обоймы 7 соединена с каналом выхода 3. Клапан 5 жестко соединен через верхнюю 8 и нижнюю 9 части разъемного штока и соединительной муфты 10 с подвижным элементом 11 вибратора 12, Корпус 1 жестко связан через стойки 13 и основание 14 с вибратором 12. Соединительная муфта 10 фиксируется контргайкой 15. Узел настройки выполнен в виде полой втулки 16, жестко соединенной с корпусом 1 через стойки 13 и сопряженной по резьбовому соединению с настроечной гайкой 17. Между настроечной гайкой 17 и клапаном 5 установлена пружина 18. Фиксация настроечной гайки 17 осуществляется контргайкой 19.Регулятор работает следующим образом.Перед включением вибратора освобождают верхнюю часть 8 штока от муфты 10 и, вращая гайку 17, перемещают клапан 5 к седлу 4 до создания герметичности в статическом состоянии. Проверку регулирующего органа на герметичность проводят периодически после определенного времени работы регулятора. После проверки на герметичность регулирующего органа с помощью муфты 10 и контргайки,15 соединяют верхнюю 8 и нижнюю 9 части штока, т.е. обеспечивают жесткое соединение подвижного элемента,И и клапана 5. Включают вибратор 2 и возбуждают267370 вибрационное движение клапана 5 в пределах упругости эластичного уплотнения 6 с заданной амплитудой и частотой, Через один-два периода колебаний клапана. 5 начинается расходное течение газа через регулирующий орган, величина которого пропорциональна амплитуде колебаний. После подачи в вакуумированный объем заданного количества газа выключают вибратор 12.Величина амплитуды колебаний клапана 5 не должна быть больше глубины погружения седла 4 в уплотнение 6 и зазора между обращенными друг к другу неконтактирующими жесткими поверхностями седла 4 и клапана 5. Выполнение этого условия повышает надежность и долговечность регулирующего органа.При большой частоте колебаний (00 Гц) клапана 5 в сочетании с малым расходом газа через регулирующий орган обеспечивается повышение точности регулирования дозы газа, подаваемой в вакуумированный объем. 5 О 5 20 25 формула изобретения 30 35 40 45 50 Регулятор расхода газа, содержащий корпус с входным и выходным каналами, между которыми установлен регулирующий орган, соединенный с вибратором, и узел настройки, о т л и -ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности и улучшения эксплуатационных характеристик регулятора, регулирующий орган выполнен ввиде седла и клапана с эластичнымуплотнением, размещенных в обоймеиз эластичного материала, полость которой соединена с выходным каналом,при этом клапан соединен с вибратором, жестко связанным с корпусом иобеспечивающим колебания клапана впределах упругости эластичного уплотнения клапана, а узел настройки выполнен в виде полой втулки, жесткосоединенной с корпусом и сопряженной по резьбовому соединению с настроечной гаЦкой, причем между настроечной гайкой и клапаном установленапружина, обеспечивающая закрытие клапана в исходном состоянии,