Способ изготовления болометра

. 4 .1 Ф ОБ ИЯ ТЕЛ ЬСТВУ СО 03 СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИКГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЩОМСТВО СССР (ГОСЙАТЕНТ ССопислникК АВТОРСКОМУ СВИДЕизобретение относится к измерениямтепловых потоков излучения, в частности ктепловым приемникам излучения, работающим при низких температурах. может бытьиспользовано для регистрации и измерения 5мощности излучения.Целью изобретения является увеличение вольт-ваттной чувст вительности,уменьшение порога чувствительности иулучшение воспроизводимости характери- "0стик болометра,На фиг;1-4 изображены этапы изготовления болометра.Способ изготовления болометра реализуют следующим образом. На диэлектрическую подложку 1 для напыления болометра(фиг,1) накладывают вплотную металлическую маску 2, через которую затем осуществляют напыление антенной пленки 3, Приэтом край антенной пленки не образует ступеньки, как в прототипе, поскольку рри напылении пленки через маску образуетсяобласть полутени, Затем проводятретушь(испарение) антенной пленки лучом лазера(фиг,2), Если этого не сделать, то термочувствительная пленка будет электрически закорачиваться полутенью антенной пленки,что ухудшает чувствительность болометра,т,е, положительного эффекта получено небудет, Ступенька, образующаяся при рету ЗОши, в 10-20 раз меньше, чем в прототипе,поскольку в области полутени антеннаяпленка имеет значительно меньшую толщину, чем в центре пленки, После ретуши маску для напыления термочувствительной З 5пленки совмещают с концами вибраторовпленочной антенны и через нее напыляют .термочувствительную пленку 4 (фиг,З), Приэтом термочувствительную пленку напыляют больших размеров, чем требуется из условия согласования с антенной, чтопозволяет отказаться от использованиясложных установок для совмещения фотошаблонов и осуществлять совмещение маски термоцувствительной пленки с антеннойпод обычным микроскопом,Затем ненужную часть термочувствительной пленки испаряют лучом лазеров,доводя сопротивление термочувствительной пленки до величины, требуемой из условия согласования с антенной в рабочейточке (фиг.4).Таким образом, по предлагаемому способу. в отличие от прототипа, всегда можно 55добиться согласования термочувствительной пленки с антенной,В таблице приведены сравнительныехарактеристики болометров, изготовленныхразличными способами. Рассмотрим теперь положительный эффект, связанный с улучшением воспроизводимости характеристик болометра приизготовлении многоэлементного болометраили серии болометров.Лазерная ретушь на установке ЭМАобеспечивает получение требуемых размеров антенны и термочувствительной пленкис точностью 0,5 мкм, что позволяет доводитьсопротивление термочувствительной пленки до величины, требуемой из условия согласования с антенной, Это дает возможностьполучить болометры с одинаковыми характеристиками при изготовлении серии болометров или многоэламентного болометра,Применение сверхпроводниковой термочувствительной пленки имеет одно важное преимущество. Эффективность работыболометра; содержащего антенну, зависитот согласования входного сопротивленияантенны с сопротивлением термочувствительной пленки, Максимальное выделениемощности в термочувствительной пленкеимеет место в режиме согласования, когдаэти сопротивления равны между собой. Таккак пленочная технология дает разброс пленок по тЬлщине, то в прототипе условиясогласования точно выполнить не удается,Так в болометре, изготовленном по способупрототипа, сопротивлениЕ термочувствительной пленки составляло 170 Ом вместо140 Ом по расчету. В,предлагаемом способетермочувствительная пленка изготовленаиз сверхпроводникового материала, поэтому в области сверхпроводникового перехода ее сопротивление можно менять вшироких пределах от В = Вн (сопротивлениев нормальном состоянии) до В = 0 при помощи изменения рабочей температуры болометра. Таким образом, появляетсявозможность настраивать термочувствительную пленку на оптимальное согласование с антенной, что невозможно впрототипе. Это также приводит к увеличению вольт-ваттной чувствительности и улучшению порога чувствительности, а также квозможности точно воспроизводить характеристики болометров при изготовлении серии приемников излучения.Таким образом, положительный эффектдостигается только благодаря совокупностивсех существенных признаков, изложенныхв формуле изобретения, что говорит о единстве положительного эффекта,Предлагаемый способ изготовления болометра, обладая рядом преимуществ посравнению с известным способом, имеет .большие перспективы использования присоздании болометров для различных исследований, особенно в субмиллиметровой и