Микрополяриметр для определения малых толщин пленок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Ля 125060 Класс 426, 21 СССРфЛФСТМ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Б. В, Дерягин, В. И. Гаврилов, 3. М, Зорин и Т. Н. ВоропаеваМИКРОПОЛЯРИМЕТРЗаявлено 12 января 1955 г. за576782/26Опубликовано в Бюллетене изобретений24 за 1959 г.Существующие оптические методы измерения толщин пленок, основанные на измерении интенсивности отраженного света (интерференционные методы), неприменимы к очень тонким пленкам, толщина которых значительно меньше длины волны освещающего света, а для измерения пленок, толщина которых значительно больше длины волны, эти методы (как и поляриметрические) неудобны из-за неоднозначности определения толщины.Поляриметрический метод, хотя и применим к пленкам, толщина которых доходит до одного ангстрема, но обычно при этом применяют сложные и дорогие приборы (поляризационные спектрометры), не обеспечивающие высокой точности измерений и предполагающие, что пленка равномерна по толщине.Предлагаемый прибор, выполненный в виде вертикального гониометра с осветителем, поляризатором, поляризационным микроскопом в качестве анализатора и со спектральным окуляром, может быть использован для измерения как интерференционным, так и поляриметрическим методами пленок, толщиной от нескольких ангстрем до нескольких микронов. Применение в приборе поляризационного микроскопа позволяет исследовать пленки, неравномерные по толщине, удешевляет аппаратуру, упрощает ее сборку 1 поляризационные микроскопы выпускаются серийно) и повышает возможность измерительной схемы.На фиг. 1 изображена принципиальная оптическая схема микрополяриметра; на фиг. 2 и 3 - его конструкция.Для однозначного и быстрого измерения толщин пленок, превышающих длину волны света, пленку следует освещать лампочкой накаливания или вольтовой дугой и рассматривать отраженный свет через спектроскоп прямого зрения (при освещении параллельными лучами) или с помощью спектрального окуляра. В обоих случаях в спектре отраженного света будут видны темные полосы интерференции, по числу, поло125060жению и контрастности которых определяют толщину пленки, что достигается также комбинацией поляризационного микроскопа со спектральным окуляром,Микроскоп 1 имеет пластинку четверть волны и анализатор-поляроид с лимбом для отсчета углов поворота анализатора, расположенные перед объективом микроскопа. За окуляром расположена съемная спектральная насадка к окуляру. Осветитель 2 имеет два сменных источника света, Источником белого света служит лампа 3, помещенная в кожух с воздушным охлаждением. Источник монохроматического света дает зеленую линию ртутной дуги и состоит из лампы ПРКсо светофильтром, помещенной в кожух с водяным охлаждением. Осветитель имеет рабочую щель, проектируемую объективом на образец и аппаратурную щель, За объективом, по ходу светового луча, расположен поляризатор-,поляроид, снабженный лимбом для отсчета углов поворота поляризатора. Образец укрепляется на столике 4 с кронштейном, который перемещается на колонке б.Осветитель и микроскоп при помощи планетарной передачи совместно вращаются вокруг горизонтальной оси, проходящей через точку пересечения их оптических осей, Углы поворота осветителя и микроскопа отсчитываются по лимбу и нониусам и могут изменяться в пределах 30 - 220. Ось вращения осветителя и микроскопа закрепляется на колонке 5, расположенной на массивном основании б. Осветитель и микроскоп могут перемещаться вдоль оптической оси. В горизонтальной плоскости прибор устанавливается тремя подъемными винтами по двум уровням 7 и 8, укрепленным на основании.Предмет изобретенияМикрополяриметр для определения малых толщин пленок поляризационным и интерференционным методами, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью исследования неоднородных по толщине пленок и повышения их точности определения, он выполнен в виде совокупности вертикального гониометра и служащего анализатором поляризационного ми, кроскопа, снабженного спектральным окуляром.
СмотретьЗаявка
576782, 12.01.1955
Воропаева Т. Н, Гаврилов В. И, Дерягин Б. В, Зорин З. М
МПК / Метки
МПК: G01B 9/10, G01J 4/00, G01N 21/21
Метки: малых, микрополяриметр, пленок, толщин
Опубликовано: 01.01.1959
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-125060-mikropolyarimetr-dlya-opredeleniya-malykh-tolshhin-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микрополяриметр для определения малых толщин пленок</a>
Предыдущий патент: Безщелевой монохроматор
Следующий патент: Способ определения влажности в грунтах, порошках, технических маслах и простых растворах и прибор для осуществления способа
Случайный патент: Устройство для уплотнения -кода