Установка оптической литографии

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ 4782 СПУБЛИК 3 В 27 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ нии при изготовлени типлицировании и т. повышение качества и повышение произ ние от источника 1 подается на оригина правляется через бл ки, в усилитель 5, и которого в обратном волна с обращеннь затем волна проход ленин усилитель 5 оптической развязки ратор 8. Фазовые ются с точностью до димости. 2 ил. произв. М.: кие метоых прибо- М.: СоветИ ользова иностро ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54) УСТАНОВКА ОПТИЧЕСКОГРАФ ИИ(57) Изобретение может быть испв электронной технике, точном маш и фотошаблонов, мульд. Цель изобретения - переноса изображения водительности. Излучекогерентного излучения л 2 и объективом 3 наок 4 оптической развязв формирователь 6, из направлении выходит м волновым фронтом, ит в обратном направи с помощью блока 4 фокусируется на регистискажения компенсирудифракционной расхоИзобретение относится к области оптической литографии, основанной на применении когерентного излучения, и может бытьиспользовано в электронной технике, точноммашиностроении и других областях при изготовлении фотошаблонов, мультиплицировании и т. д.Цель изобретения - повышение качествапереноса изображения и повыгпеггие производительности,На фиг. 1 изображена оптическая схема 10установки оптической литографии; на фиг. 2и 3 графически иллюстрируется принципком пенса пи и иска жени й, вносимых неоднородностью в плоский фронт.Установка оптической литографии состоит из источника 1 когерентного излучения,15оригинала 2, стоящего перед объективом 3,блока 4 оптической развязки, оптическогоквантового усилителя 5, формирователя 6предметного излучения с обращенным волновым фронтом, второго обьектива 7, формирующего изображение оригинала 2 па регистраторе 8 изображения.Установка работает следующим образом.Излучение от источника 1 когерентногоизлучения подается на оригинал 2 и объективом 3 направляется через блок 4 в усилитель 5.После усилителя 5 излучение попадаетв формирователь 6, из которого в обратномнаправлении выходит волна с обрагценнымволновым фронтом.Физическая сущность принципа компенсации состоит в следуюцгем. Если на формирователь излучения с обращенным волновым фронтом подается излучение с искаженным оптической неоднородностью волновымфронтом (на фиг. 2 а - участок 1 волнового35фронта после прохождения неоднородностиимеет задержку Л . = а(гг - и) относительно участка 11, где аразмер оптическойнеоднородности в направлении распространения излучения, гг; - показатель преломления неоднородности, и,показатель преломления окружающей неоднородность среды, и )а), то после отраженияформирователем задержка участка 1 сменится на его опережение на эту же величинуЛ+ = а (ггпу - -л.) относительно участка 11,т. е. произойдет обращение волнового фронта, падающего на формирователь излучения(фиг. 2 б) .При прохождении излучения с таким волновым фронтом в обратном направлениичерез ту же оптическую неоднородность(фиг. 2 б) участок 1, имеющий опережениеЛл. = а(а - пс), получит дополнительнуюзадержку Л = гг(лн - пс) . В результате Ггосле прохождения волны через неоднородностьв обратном направлении суммарное смещение участка 1 волнового фронта относительноучастка 11 составит Л = Лл. + Л . = сг(гг -- .ис) - ,а(ггпу - гг ) = О, т. е. искажение волнового фронта, вызванное оптической неоднородностью при прямом прохождении излучения, полностью (с точностью до дифракционной расходимости) компенсируется при прохождении преобразованного формирователем излучения через эту же неоднородность в обратном направлении (на фиг. 2 б волна, распространяющаяся влево за неоднородностью).Вышедшее из формирователя 6 излучение с обращенным волновым фронтом пропускается для повторного усиления через тот же усилитель 5 в обратном направлении и с помощью блока 4 и объектива 7 фокусируется на регистратор 8.При этом прохождении излучения с обращенным волновым фронтом через усилитель 5 в обратном направлении, фазовые искажения, внесенные усилителем 5 при прохождении излучения в прямом направлении, компенсируются с точностью до дифракционной расходимости.Для компенсации искажений, вносимых аберрациями объективов 3 и 7, они берутся одной марки, поскольку характерные аберрации объективов одной марки имеют близкие значения.Кроме того, из группы объективов одной марки выбираются объективы, величины остаточных аберраций (сферической, комы, астигматизма, кривизны, дисторсии) которых удовлетворяют условиюЛ; - Л.; ( ЛЯгде Л;, Л 2, - величина аберрации г-го видасоответственно первого и второго объективов;Л, - допустимая разность аберраций г-го вида, обусловленная технологией процесса литографии.Применение второго объектива для компенсации искажений, вносимых аберрациями первого объектива, улучшает качество изображения и обуславливает некритичность к использованию дорогостоящей безаберрационной оптики. Кроме того, благодаря двойному усилению излучения, существенно повышается производительность процесса литографии. Повышению производительности способствует и открывающаяся возможность применения мощных оптических квантовых усилителей, благодаря компенсации их фазовых искажений.Формула изобретенияУстановка оптической литографии, включающая источник когерентного излучения, оригинал, объектив и регистратор изображения, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества переноса изображения и повышения производительности, за объективом введены блок оптической развязки,,оеодразаАжая грормироба- Рориоробатель гпелем 8 юлсгу8 ыМ 4 досю 7- ао 8 леж АЮ 4 а ЮеМюоогбголб Щс/г 5 СостаТех ред ТиражИ Государственнделам изобретен Москва, Ж - 35, П Патент, г. У Ревин46ВНИИПпо орректор В. Бутя одписноеСР Редактор Заказ 41 д. 45ектная 5,ПП 113 филиаоптический квантовый усилитель, формирователь предметного излучения с обращенным волновым фронтом и второй объектив, причем аберрации объективов связаны соот- ношением Райоощаююелсам е.лаупловая8 оюа где Л, Л 2, - величины аберрации-го видасоответственно первого и второго объективов;Л; - допустимая разность аберраций 1-го вида, обусловленная технологией процесса литографии. вигель В. АндрееИ. Верес36ого комитета Сий и открытииРаушская наб.,жгород, ул. Пр