Устройство для резки

(1%. ИО 45 04 АНИЕ ИЭОБРЕТ ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУна ос- рез- щих ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИноваиии которого размещены бл,ки и установленный на направлповоротный координатный стол,л и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью увеличения производительности,блок резки выполнен в виде качающего рычага с двумя шпинделями 1 установленными симметрично оси качания,несущими набор алмазных дисков спеременным шагом, а коордийатныйстол снабжен двуплечевым рычагом, предназначенным для поочередного взаимодействия с введенными в устройствокулачками, размещенными на основании,1230 25 Изобретение относится к механической обработке, в частности к резке диэлектрических подложек, и может быть использовано в производстве микросхем. 5Цель изобретения - повышение производительности путем исключения холостого обратного хода, что обеспечи-, вает резку в продольном и поперечном направлениях за один рабочий цикл. ОНа фиг.1 представлено устройство, вид спереди; на фиг 2 - то же, вид сверху; на фиг.З - блок-схема рабочих позиций устройства для резки.Устройство для резки содержит 5 блок резки, который состоит иэ качающегося рычага 1, на котором установлены два шпинделя 2 и 3, снабженных наборами режущих дисков 4 и 5. Качающийся рычаг закреплен на оси 20 б качания в корпусе подшипника 7, смонтированном на неподвижном кронштейне 8. С одной стороны качающийся рычаг соединен с пневмоцилиндром 9 и ограничителями 10 и 11 движения рычага, выполненными в виде винтов с контргайками. Пневмоцилиндр 9 соединен трубопроводами с золотником 2.На направляющих установлен поворотный координатный стол 13, снаб женный двуплечевым рычагом 14,плечи которого расположены относительно друг друга под углом 900 и находятся на разных уровнях по высоте. Рычаг 14 закреплен на оси координатного стола, несколько выше уровня основания 17, Кулачки 15 и 16 установлены на основании 17 устройства для резки в точках поворота координатного стола.40Последовательность работы устройства для резки с порядком взаимодействия узлов и механизмов (фиг.З) следующая.Позиция 1. Подача сжатого воздуха от золотника в пневмоцилиндр перемещения блока резки и в пневмогидравлический привод перемещения координатного стола.Позиция 2. Перемещение блока реэ ф ки в положение для резки продольного (поперечного) размера подложки и пе-. ремещение координатного стола с подложкой В зону реэкивПозиция 3. Резка в продольном 55 (поперечном) направлении.Позиция 4. Поворот координатного стола на 90 ф вокруг вертикальной оси 7521Позиция 5. Переключение золотника на обратный ход.Позиция б, Подача сжатого воздуха в пневмоцилиндр перемещения блока резки и в пневмогидравлический привод перемещения координатного стола в обратном направлении. Позиция , Перемещение блока резки в положение для резки подложки в поперечном (продольном) направлении и перемещение координатного стола с подложкой в зону резки ва обратном ходе.Позиция 8, Резка подложки в поперечном (продольном) направлении,Позиция 9. Поворот координатного стола на 90 (в исходное положение). Устройство для резки работает следующим образом,Подложку 18 устанавливают на коор динатный стол 13 и фиксируют на нем с помощью вакуума, Совмещение подложки с направлением реза обеспечивают двупольным оптическим устройством (не показано), При нажатии рукоятки золотника 12 координатный стол с подложкой начинает перемещаться в сторону блока резки по направляющим 9, В то же время один конец рычага 1 с набором режущих дисков 5 .опускается до уровня, определяемого глубиной резки. При дальнейшем перемещении подложки 18 под дисками осуществляется резка подложки по всей ее плоскости в одном направлении на отдельные полосы, При этом количество линий реза равно количеству дисков, а шаг резки определяется шагом размещения дисков на шпинделе. После окончания цикла резки на прямом ходе координатный стол 13 поворачивается при зацеплении двуплечего рычага 14 с кулачком 15 и перемещается дальше в том же направлении до крайней точки прямого хода, в которой он переключает золотник 12 на обратный ход, При обратном ходе качающийся рычаг с набором дисков 4 опускается в зону резки, при этом второе плечо рычага с набором дисков 5 поднимается и выходит из эоны рез- . ки, При обратном движении координатного стола осуществляется резка пластины в направлении, перпендикулярном линиям реза прямого хода.зПосле окончания резки обратногохода координатный стол поворачивается в исходное положение путем эафиГЗ Составитель В,Иганов дактор Л.Повхан Техред М.Ходанич Корректор Е.РошкоПодписноеета СССР ак рытииая наб., д Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная 2480/15 Тираж ВНИИПИ Государствпо делам иэобре 113035Москва, Ж 1001нного комиений и От35, Раушс 1230762 4цепления рычага 14 с кулачком 1 б,после чего платы снимают и процессповторяют на новой пластине,