Сканирующее устройство

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИН ОЮ И) 5096 02 В 7/О 10 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ЛЬСТ Р 2 И.Н,Стфиг.фиг. СТРОЙСТВО, в корпусе элементом,валу ии упруСУДАРСТВЕКНЫЙ НОМИТЕТ СССРДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ АВТОРСКОМУ СВИД(54)(57) 1. СКАНИРУЮЩЕЕ содержащее установленный вал, кольцо с оптическим установленное коаксиальн связанное с нит радиальн гими элементами, равнотерно размещенными по окружности, и привод, о т л и ч а ю щ е е с я . тем, что с целью повышения точности сканирования, оно дополнительно снабжено наружным кольцом, установленным коаксиально основному кольцу и связанныт с ним упругими элементами, при этом привод соединен с внешнит кольцом.2, Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что дополнительные упругие элементы размещены по биссектрисе угла между основными упругими элементами.,нению с известным. Изобретение относится к точномуприборостроению и может быть использовано в качестве сканирующего илиповоротного устройства в интерферометрах,.спектрометрах с дифракционнымирешетками для осуществления точногоповорота оптических элементов с высокойугловой точностью порядка долейсекунд при малых осевых габаритахустройства,Цель изобретения - повышение точности сканирования.На фиг. 1 представлена принципиальная схема устройства; нафиг. 2 - разрез А-А на фиг, 1,Сканирующее устройство содержитосновной шарнир, состоящий из неподввкного вала 1, упругих элементов 2, расположенных радиально исимметрично относительно оси вращения устройства, и подвижногокольца 3. Кроме того, устройствосодержит дополнительный шарнир,расположенный коаксиально основному шарниру, причем плоскость максимальной податливости дополнительного шарнира совпадает с плоскостьюмаксимальной податливости основного шарнира. Дополнительный шарнирсостоит из наружного кольца 4,соединенного с подвижным кольцом 3 упругими элементами 5. Последние расположены по углу между упругими элементами 2 основного шарнира, Основной шарнир жестко связан с корпусом6, а на его подвижном кбльце 3установлена оправа для .оптического элементаУстройство работает следующимобразом.При приложении к внешнему кольцу 4 поворачивающего усилия с помощью привода (изображен условно)упругие элементы 5 изгибаются и передают крутящий момент подвижномукольцу 3, одновременно и равномерно поворачивая его вокруг оси, образованной упругими элементами 2и 5. Упругие элемента 2 и 5 могутбыть изготовлены из материалов сразличными характеристиками в зависимости от требуемой жесткостимеханизма и передаточного отношения (различным коэффициентом упругости, сечением и т.д,)Передаточное отношение 1 междувнешним кольцом 4 и подвижнымл 5 1 О 15 20 25 30 35 кольцом 3 определяется отношениеммоментов сопротивления звеньев 2 и5. При этом в каждом конкретномслучаезависит от соотношениядлин упругих элементов 2 и 5 и растет с приближением кольца 3 к неподвижному валу 1 основного шарнира при неизменных внутренних размерах внешнего кольца 4, достигаязначений в несколько тысяч и более,Таким образом, оправа для оптического элемента 7, помещенная на подвижное кольцо 3, значительно меньшевоспринимает погрешности изготовпения привода и может быть повернута на малый угол с точностью,превышающей точность известных систем в десятки раз. Например, приодинаковых упругих элементах 2 и 5и расположении кольца 3 посрединемежду внешним кольцом 4 и неподвижным валом 1 кольцо 3, несущее оправу для оптического элемента 7, поворачивается на угол, в 2 раза меньший, чем угол поворота внешнегокольца 4. Таким образом, точностьсканирования увеличивается вдвоеили вдвое расширяются допуски изготовления механизма передачи углаБ некоторых случаях, когда сканирующее устройство должно передатьвращение нескольким оптическим эле-:ментам и на различные углы, можнокоаксиально основному шарниру установить несколько дополнительных шарниров на расстояниях,определяемых требуемым передаточным соотношением. Расположение дополнительного шарнира, плоскость максимальной податливости которого совпадает с плоскостью максимальной податливости основного шарнира, позволяет выполнить устройство с минимальными габаритами, что особенно важно при использовании его в ограниченных объемах (вакуумной аппаратуре, космической технике). Располокение по углу упругих элементов дополнительного шарнира между упругими элементами основного шарнира позФваляет уменьшить величину деформации подвижного кольца основного шарнира, что также повышает точность предлагаемого устройства по срав -1205096 8526/49 Тираж 525 П ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4одписно аказ ал ППП "Патент" г. Ужгород, ул. Проек Составитель В. Дриньактор А. Огар Техред С.Мигунова Корректор А