Способ измерения парциального давления кислорода в вакуумных системах и устройство для его осуществления

3. Устройство по п. 2, о т л ич а ю щ е е с я тем, что подложка выполнена из пластины никеля со смесью окислов бария и стронция на поверхности, на которую нанесены атомы бария, при этом устройство снабжено нагревателем подложки. 11902202. Устройстве для измерения пар- энергия связи атома кислорода с циального давления кислорода в электроположительным атомом, при вакуумных системах, содержащее пре- этом устройство дополнительно снабобразователь парциального давления жено источником напыления электро- кислорода в поток электронов, кол- положительных атомов.лектор и измерительную схему, соединенную с коллектором, о т л ич а ю щ е. е т я тем, что в нем преобразователь парциального давлениякислорода выполнен в виде проводящей подложки с электроположительнымиатомами на поверхностиработа выхо-.да электронов с которой меньше, чем1Изобретение относится к вакуумнойтехнике и может быть использовано всверхвысоковакуумных разборных уст"ройствах электронной техники и ядерной физики. 5Цель изобретения - расширениедиапазона измерений в высоковакуумной области,Способ основан на экспериментально исследованном Физическом процессе испускания электронов в резуль. тате взаимодействия кислорода, содержащегося в остаточных газах, с атомами специально подготовленной поверхности. В частности, получена эмиссия 15электронов нри взаимодействии кислорода с поверхности активированногоокисла с напыленной пленкой атомовбария.Парциальное давление кислорода 20преобразуют в пропорциональной интенсивности поток электронов химической реакцией атомов кислорода сатомами бария, расположенными наповерхности окиси бария, обладающей 25работой выхода, меньшей энергии связи атома бария с кислородом,На чертеже изображена функциональная схема устройства,Устройство для осуществления спо- ЗОсоба содержит. преобразователь 1 давления в электрический сигнал с нагревателем 2, коллектор 3, источник 4напыляемых атомов, расположенные ввакуумной камере 5. Вне камеры рас-Зположены источник 6 канала нагревателя преобразователя 1, блок 7 нагрева источника 4 атомов, К коллектору 3 подключена регистрирующаясхема 8 с источниками питания.Устройство работает следующимобразом,На поверхность преобразователя 1из источника 4 с помощью блока 7накала напыляется. пленка атомов,реагирующих с кислородом. Атомыостаточных газов падают на поверх-.ность преобразователя. При этом прбисходит селективная химическая реакция кислорода с атомами, напыленнымина поверхность преобразователя, врезультате которой в вакуум с поверхности преобразователя эмиттируютсяэлектроны. Ускоряющим напряжениемэлектроны оттягиваются на коллектор 3,содержащий вторичный электронныйумножитель (ВЗУ), который регистрирует единичные электроны.Интенсивность импульсов на выходеВЭУ .регистрируется, схемой 7. Количество импульсов в единицу временипропорционально количеству падающихна поверхность преобразователя ато"мов кислорода, которое в свою очередьпропорционально парциальному давлениюего,П р и м е р. Практический интереспредставляет измерение парциальногодавления кислорода в диапазоне менее10 торр, в котором невозможныгизмерения существующими приборами. Для измерения парциального давления кислорода используется смесьСоставитель А. ЗосимовРедактоР Н. Бобкова ТехРед З.Палий Корректор И. Иаксимишинец Заказ 6970/44 Тираж 896 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 3 11 окислов бария и стронция, нанесенная на никелевую нагреваемую пластину. Перед измерениями на поверхность окислов напыляется моноатомная пленка бария. Такая система имеет мапую работу выхода (1,5 эВ). Атомы бария адсорбированы на поверхности в поляризованном виде, что установ-, лено экспериментально, и реагируют с атомами кислорода с эффективным эмиттированием электронов. При воздействии других газов такой преобразователь электроны не эмиттирует. 90220 4Это подтверждает селективную чувствительность предлагаемого преобразователя к кислороду. Практическое применение изобретение может найти для контроля кислорода в вакуумной камере при исследовании физическихмеханизмов работы термоэмиттеров и фотоэмиттеров при 10 разработке технологии изготовленияэмиттеров с отрицательным средством, при изучении катализа на поверхности твердых тел.