Устройство для измерения линейных и угловых перемещений объекта

5073 А СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК В 11/00 51) 4 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ЬСТ АВТОРСКОМУ(СВ(21) 3 (22) 1 (46) 1 (72) И С.Ро ена Трудовог женерно-физи танин 9/02, 1972. ьство СССР 11/00, 1971. т ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ 6 19077/242.07.835.10.85. Бюл(71) Московский орКрасного Знамени ический институт(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯЛИНЕЙНЫХ И УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙОБЪЕКТА, содержащее источник когерентного излучения, установленныйпо ходу излучения акустооптическиймодулятор, формирующий два пучка излучения, последовательно расположенные по ходу излучения первогопучка светоделитель и отражатель,скрепляемый с объектом, два приемника излучения, каждый из которыхоптически связан с модулятором исветоделителем, два усилителя,вход каждого из которых электрически связан с выходом одного иэ приемников, и фазометр, электрическисвязанный входами с выходом одногоиз усилителей соответственно, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью повьппения точности измерения,оно снабжено полупрозрачным зеркалом, установленным во втором пучкеизлучения, и двумя полупрозрачнымизеркалами, каждое из которых установлено на входе одного из приемников излучения.1 О 20 Устройство относится к контрольно-измерительной технике и можетбыть использовано для измерения линейных и угловых перемещений объектов, например, в лазерной интерферометрии, а также при создании систем автоматического управления механическими объектамивысокой точности.Цель изобретения - повышение точностиизмерения.На чертеже представлена схемапредлагаемого устройства,Устройство для измерения линейных и угловых перемещений объекта содержит источник 1 когерентного 15излучения, установленный по ходуизлучения акустооптический модулятор 2, формирующий два пучка излучения, генератор 3 ультразвуковойчастоты, электрически связанныйвыходом с входом модулятора 2, последовательно расположенные по ходуизлучения первого пучка светоделитель 4 и отражатель 5, скрепляемыйа при 6 и 7лучения, каждый из которых оптичес -ки связан с модулятором 2 и со светоделителем 4, два усилителя 8 и 9,вход каждого из которых электрическисвязан с выходом одного из приемниЗОков 6 и 7, и фаэометр 10, электрически связанный входами с выходом одного из усилителей 8 и 9 соответственно, полупрозрачцое зеркапо 11, установленное во втором пучке изцучения, и два полупрозрачные зеркала 12и 13, каждое из которых установленона входе одного из приемников 6 и 7изпучения.,Устройство работает следующимобразом.40Когерецтцое излучение от источника 1 падает ца акустооптический модулятор 2, ца вход которого поступает синусоидальцый сигнал ультразвуковой частоты от генератора 3. В результате дифракции когерентного излу-.чения на бегущей ультразвуковой волне, распространяющейся в модуляторе 2, формируются два пучка излучения, частота которых различаетсяна значение ультразвуковой частоты.ПервьпЪ из пучков, пройдя через светоделитель 4, падает на отражатель 5,скрепляемый с объектом. На приемники 7 и 6 поступают части излучения .этого пучка, отразившиеся от светоделителя 4 при прямом и обратном прохождении соответственно. Части излучения второго пучка с помощью полупрозрачных зеркал 11 - 13 направляютна вход приемников 6 и 7 соответственно, На выходе каждого из приемников 6 и 7 возникает сигнал ультразвуковой частоты, который поступаетна вход усилителей 8 и. 9, При перемещении объекта скрепленный с нимотражатель 5 смещается на некотороерасстояние а 1. Перемещение отражателя 5 приводит к изменению фазы выходного сигнала Биусилите -ля 8, Выходной сигнал Б (г.) является опорным, и его Фаза не изменяется при смещении отражателя 5. Фазометр измеряет разность фаз выходныхсигналов усилителей 8 и 9, котораяпропорциональна перемещению контролируемого объекта. Паразитный набегфазы, возникающий в модуляторе 2вследствие температурных Флуктуаций,передается в измерительный и опорныйсигналы с одинаковым знаком и невлияет на результат измерения разности фаэ. Таким образом, снабжение устройства полупрозрачными зеркалами, установленными указанным образом, приводит к повышению точности измерения.тор М.Самборская дактор С.Лисин хред Ч.Над аз 6347 Т филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 НИИПИ Государственногпо делам изобретении13035, Москва, Ж,650комитети открыушская ПодписноеСССРйб., д. 4/5