Устройство для измерения давления

(56) 1. Авторское свидетельство СССРВ 620854, кл. 6 01 Ь 11/00, 1978(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗИЕРЕНИЯДАВЖНИЯ по авт. св. Р 620854,802 А о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения точности, в газовом тракте размещена дополнительная откачивающая твердоэлектролитная ячейка, причем откачивающая твердоэлектролитная и дозирующая твердоэлектролитная ячейки последовательно подключены к источнику тока, при этом наружный электрод дозирующей твердозлектролитной ячейки соединен с отрицательным полюсом источникатока, а наружный электрод откачивающей твердозлектролитной ячейки - с положительным полюсом источника1150502 В известном устройстве в вакуумную систему постоянно поступает сравнительный газ - кислород. Давление .и содержание кислорода в вакуумнойсистеме увеличиваются тем быстрее, 50 чем меньше измеряемое давление газав вакуумной системе и чем меньшеобъем вакуумной системы.Для устранения указанных недостатков предлагаемое устройство со держит дополнительную откачивающую. твердоэлектролитную ячейку 7, расположенную в газовом тракте 4 междупотенциометрической твердоэлектроИзобретение относится с измерительной технике, в частности к датчикам давления в вакуумных системах.По основному авт. св, Р 620854 известно устройство, содержащее 5 потенциометрическую твердоэлектролитную ячейку с измерителем ЭДС, рабоая камера которой с одной стороны соединена с вакуумной системой газовым трактом, а с другой сторо ны - с натекателем газа, выполненным в виде дозирующей твердоэлектролитной ячейки с источником тока Я .Известное устройство характеризуется ограниченной областью приме нения и недостаточной точностью измерения давления в вакуумных системах небольших объемов, в связи с тем что нз-за сравнительного газа (чистого кислорода), поступающего 20 из натекателя в вакуумную систему, происходит как изменение давления, так и изменение содержания кислорода в вакуумной системе.Цель изобретения - повышение точ ности измерения и расширение области применения.Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для измерения давления в газовом тракте размещена дополнительная откачивающая твердоэлектролитная ячейка, причем откачивающая твердоэлектролитная и дозирующая твердоэлектролитная ячейки последовательно подключены к источнику тока, при этом наружный электрод З 5 дозирующей твердоэлектролитной ячейки соединен с отрицательным полюсом источника тока, а наружный электрод откачивающей твердоэлектролитной40 ячейки - с положительным полюсом источника тока.Работа устройства основана на создании в рабочей камере потенциометрической твердоэлектролитной ячейки сравнительной среды - чисто- ф 5 го кислорода, получаемого из натекателя, причем давление в рабочей камере поддерживается равным давлению в вакуумной системе. Откачивающая твердоэлектролитная ячейка служит для полной откачки кислорода, поступающего по газовому тракту из нате.кателя, причем откачивается кислорода столько же, сколько накачивается с помощью натекателя, в связи с 5 тем что натекатель и откачивающая твердоэлектролитная ячейка подключены последовательно к источнику тока,На чертеже представлена схемапредлагаемого устройства для измерения давления,Натекатель, выполненный в видедозирующей твердоэлектролитной ячейки 1 с источником 2 тока, сообщенс входом рабочей камеры потенциометрической твердоэлектролитной ячейки 3, выход рабочей камеры которойсообщается через газовый тракт 4с вакуумной системой 5. К электродам потенциометрической твердоэлектрической ячейки 3 подключен измеритель б ЭДС. В газовом тракте 4 размещена откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7. Дозирующая твердоэлектролитная ячейка 1 и откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7подключены последовательно к источнику 2 тока, причем наружный электрод твердоэлектролитной ячейки 1подключен к отрицательному полюсуисточника 2 тока, а наружный электрод твердоэлектролитной ячейки 7к положительному полюсу,Измерение давления осуществляетсяследующим образом.Натекатель, выполненный в видетвердоэлектролитной ячейки 1, поддействием тока от источника 2 токадозирует кислород, который поступаетв потенциометрическую твердоэлектролитную ячейку 3, давление в которойподдерживается равным давлению ввакуумной системе.На электродах твердоэлектролитной ячейки 3 возникает ЭДС, измеряемая измерителем 6 ЭЛС. Давлениев вакуумной системе равноР - 0,207 Ретм 10 где Е - ЭДС по измерителю 6; Р - атмосферное давление, амСоставитель А. СоколовскийРедактор И. Рыбченко Техред А.Бабинец Корректор И. Самборская Заказ 21,32/31 Тираж 897 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4.3 11 литной ячейкой 3 и вакуумной системой 5Откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7 необходима для полной откачки сравнительного газа (кислорода), поступающего от натекателя 1 через потенциометрическую твердоэлектролитную 3 ячейку, газовый тракт 4, причем откачивается кислорода столько же, сколько накачивается натекателем 1, в связи с тем что натекатель 1 и откачивающая твердоэлектролитная ячейка 7 последовательно подключены к,источнику 2 тока, причем наружный электрод твердоэлектролитной ячейки 1 присоединен к отрицательному полюсу источника 50502 4тока, а наружный электрод твердозлектролитной ячейки 7 - к положительному полюсу источника тока.Введение в устройство дополнительной откачивающей твердоэлектролитной ячейки 7 позволяет расширить область применения устройства (производить измерения давления газа в малых объемах) и повысить точность иэмере О ния давления (погрешность измерения 2 относ,Е против;й 5 относ.Х иэ вестного устройства) благодаря тому, что сравнительный газ (чистый кислород) не поступает в вакуумную систему .и не изменяет содержания кислорода и давления в вакуумной системе,