Съемник для микродеталей

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 3/00 юо .и ГОСУДАРСПО ДЕЛ ТНЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРИТИЙ ОП ИЗОБРЕТ ТВУ СВИДЕТ ВТОРСК(54) (57) СЪЕ содержащии к но закреплен ненного пово ибылов ский в, А.С ванн.002(088.8)е свидетельс05 К 13/00,В 3804320; к источнику мый наконечн с я тем, чт качества изд мый наконечн а рабочая по чении имеет о СС68.(56) 1. АвторскоВ 264495, кл. Н2. Патент СШАкл, 228-19, 1972 НИК ДЛЯ МИКРОДЕТАЛЕЙ, рпус, в котором шарнир- захват в виде подпружиотного рычага и изолиорпуса, подключенный тока электронагреваеик, отлич ающий -с целью повышения лий, электронагреваеик выполнен в виде петли ерхность захвата в сетрапецеидальную форму.1145Изобретение относится к,технологическому оборудованию, используемомупри производстве микроэлектронныхдеталей.Известен съемник плоских микромодулей, содержащий, захватывающие губки, шарнирно закрепленные на подпружиненном штоке, установленные междудвумя подвижными опорами. В этомустройстве демонтируемый модуль за Охватывается губками, а выводы микромодуля разогреваются паяльником имодуль извлекается из платы разжимающейся пружинойНедостаток этого устройства состоит в Необходимости использованияпаяльника, повреждающего соседниедетали на плате.Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является 2 Осъемник микродеталей, содержащийкорпус, в котором шарнирно закреплензахват в виде подпружиненного пово-,ротного рычага и изолированный откорпуса, соединенный с источником 25тока нагревательный наконечник дляразогрева крепящего микродеталивещества 2.Однако известный съемник не пригоден для съема с подложки микродеталей, установленных с зазором между ними в пределах до 1,5 мм.Цель изобретения - повышение ка -чества изделий.Указанная цель достигается тем,35что в съемнике для микродеталей,содержащем корпус, в котором. шарнирно закреплен захват,в виде подпружиненного поворотного рычага и изолированный от корпуса, подключенный кисточнику тока электронагреваемыйнаконечник, последний выполнен в виде петли, а рабочая поверхность захвата в сечении имеет трапецеидальную форму,На фиг, 1 показан съемник, разрез,45на фиг. 2 - захват и нагревательныйэлемент съемника, на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 2. Съемник содержит размещенную в корпусе 1 и закрепленную на изолирующей втулке 2 пружину 3, на конце которой закреплена пластина иэ диэлектрика 4. На пластине 4 установлены зажимы 5 для подключения электро нагреваемого наконечника 6. На нижней стороне пластины 4 размещен контакт 7, соединенный проводником 8 с 499 1источником тока 9 и взаимодействую,щий с контактом 10, закрепленным вкорпусе 1, С источником тока соединентакже и электронагреваемый наконечник 6, Над электронагреваемым наконечником 6 установлен захват 11, шарнирно закрепленный в корпусе 1 и выполненный в виде рычага, носок 12которого выступает из корпуса. Носок 12 имеет с внутренней сторонытрапецеидальное сечение. Захват 11подпружинен пружиной 13, а электронагреваемый наконечник выполнен ввиде петли,Источник тока съемника содержитблок регулировки энергии импульса,который может быть выполнен в видеавтотрансформатора 14. Схема формирования импульса может иметь множество вариантов исполнения, напримерв виде накопительного конденсаторабольшой емкости 15, соединенного через выпрямитель 16 с автотрансформатором, 14 через ограничительное сопротивление 17 и через тиристор 18 сэлектронагреваемым наконечником 6,Для управления тиристором 18 использован генератор 19 импульсов, соединенный с контактом 7.,При необходимости сообщения электронагреваемомунаконечнику 6 большего количестваэнергии следует использовать болеесложную схему. Съемник работает следующим образом .При необходимости удаления с.подложки дефектной детали, полученной путем резки полупроводниковой плас-, тины, выращенной на подложке, покрытой тонким слоем легкоплавкого материала, поступают следующим образом.Съемник подносится к детали. Захват 11 отжимается и отпускается.При этом он прижимает деталь к электронагреваемому наконечнику 6, охватывающему ее по периметру. Далее путем нажатия на корпус съемника в направлении подложки размыкают контакты 7 и 10. В этот момент срабатывает генератор 19 источника и открывает тиристор 18. Заряд, накопленный в конденсаторе 15, проходит через электронагреваемый наконечник 6 и разогревает его, а вместе с ним и снимаемую микродеталь, которая отделяется от подложки, Поскольку конленсатор 15отделен от выпрямитепя. ограничительным сопротивпением, напряжение на11454 1 О Состави Техред А ль В.ЖеглБабинец рректор С.Шекмар ор М.Дыль сно Заказ 1191/44 Тираж 794 ИИПИ Государственного ком по делам изобретений и о 3035, Москва, Ж, Раушсета СССР рытий я наб д. 4 лиал ППП "Патент", г,ужгород, ул.Проектная,нем падает практически до нуля и тиристор 18 размыкается. Источник тока готов к новому циклу,Как видно из укаэанного выше, петлеобразный электронагреваемый наконечник 6 и захват 11 охватывают снимаемую деталь, не задевая соседние детали. Кратковременность воздействия тока исключает возможность их 99 4повреждения. После удаления всех дефектных деталей подложку разогревают целиком или подвергают воздействию ультразвука и тем самым отделяют от нее остальные детали. Такойподход к отбраковке микродеталейпозволяет супественно упроститьработу и повысить производительностьтруда.