Способ контроля герметичности полых изделий

Недостатками известного способа .танке являются его сложность и низкая производительность, обусловленная необходимостью использования сложного электроннолучевого оборудования, длительного сканирования поверхности изделия потоком электронов, а также заполнения изделия пробным газом, Кроме того, способ не применим для контроля стеклянных оболочек электро" вакуумных приборов, так как они легко разрушаются при избыочном давлении внутри оболочки, а также для регистрации микротечей.Пель изобретения - упрощение и повышение производительности контро 50 1 1145Изобретение относится к испыта" тельной технике, а именно к контролю герметичности стеклянных оболочек со впаянным электродом, и может быть использовано при производстве кинес копов, радиоламп, преимущественно больших размеров, осциллографических трубок и других злектровакуумных приборов.Известен способ контроля герметич .ности полых изделий, заключающийся в том, что помещают изделие в вакуумную камеру, заполняют его пробным газом, создают в камере электрический разряд и по свечению пробного газа в зоне разряда судят о герметичности 1 .Недостатками данного способа являются его сложность и низкая производительность, обусловленные неоохо- .20 димостью помещения изделия в вакуумную камеру и заполнения его пробным . азом, что затрудняет использование способа в поточном производстве,Наиболее близким к изобретению ио технической сущности и достигаемо.му результату является способ контроля герметичности полых изделий, заключающийся в том, что полость изделия герметизируют, создают вакуум30 со стороны контролируемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности. Вакуум создают в камере, где размещено изделие, а полость изделия за полняют пробным газом, Поток электронов создают с помощью электронолучевой пушик, установленной в камере, и сканируют им по поверхности изделия путем перемещения последне го 23 256 2 ля стеклянных оболочек со впаяннымэлектродом.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу контроля герметичности полых изделий, заключающемуя в том, что полость изделия герметизируют, создают вакуум со стороны контролируемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности, вакуум создают в полости оболочки, а поток электронов создают с помощью автоэмиссионного катода в форме шарового сегмента, который вводят в полость оболочки чтобы сферическая поверхность сегмента была обращена к контролируемой поверхности, и прикладывают раз-, ность потенциалов к автоэмиссионному катоду и впаянному в оболочку электроду.На чертеже изображена схема, реализующая предлагаемый способ.Контролируемая стеклянная оболочка 1 со сварным швом 2 и впаянным электродом 3 установлена в посадочном гнезде 4 откачного носта не показан), В гнезде 4 закреплен авто- эмиссионный катод 5 в форме шарового сегмента на стойке б. Впаянный электрод 3 и катод 5 подключены к источнику 7 постоянного напряжения. Гнездо 4 и стойка 6 выполнены из электро- проводного материала, а уплотняющий край гнезда 4, контактирующий с оболочкой 1, выполнен из вакуумной резины.Способ контроля герметичности полых изделий реализуется следующимобразом.Стеклянную оболочку 1 устанавливают на посадочном гнезде 4 и вакуумируют полость оболочки 1 до давления менее 0,1 Па. С помощью источника 7 постоянного напряжения прикладывают разность потенциалов к катоду 5 и впаянному электроду 3. В результате автоэлектронной эмиссии с поверхности катода 5 контролируемая поверхность оболочки 1 подвергается .воздействию электронного потока, при этом стекло оболочки 1 люминесцирует слабым желто-зеленым светом.При наличии микрощели по шву 2 или вокруг электрода 3 в оболочку втекает струйка воздуха из окружающей внешнюю поверхность контролируемой оболочки атмосферы, который под воздействием электронного потока114 Составитель Л.ОвсянниковаТехред. С, Йовжий . Корректор И.ЭрдЕйИ Редактор А, Гулько Заказ 1163/32 Тираж 897 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий3035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 ярко люминесцируют розовым светом вблизи микрощели. Место натекания определяют по месту свечения.Автоэмиссионный катод 5 вводят в оболочку таким образом, что сферическая поверхность шарового сегмента обращена к наиболее вероятным местам негерметичности контролируемой поверхности - сварному шву 2 и . электроду 3, при этом радиус сферы, высота сегмента и высота стойки 6 выбираются такими, чтобы линия от любой точки шва 2 и от любой точки кон-такта вывода. электрода 3 со стеклом оболочкидо ближайшей точки сферической поверхности катода 5 была перпендикуларна касательной в этой точке поверхности, так как электроны вылетают с поверхности катода 5 перпендикулярно касательной к ней 5256 4в данной точке, и прн таком условии имеет место оптимальное воздействие потока электронов на поверхность оболочки, обеспечивается максимальная чувствительность.В качестве пробного газа служитатмосферный воздух, что упрощаетпроцесс контроля.Предлагаемый способ легко реализуется в условиях производства электровакуумных приборов с использованиемимеющегося оборудования при незначительной его доработке, например,на конвейерной машине алвиинирования,ю при этом простота и высокая производительность способа позволяютиспользовать его в условиях поточного производства без снижения производительности производственного процесса.