Способ изготовления оптической сервоповерхности дискового магнитного носителя информации

СОЮЗ СОВЕТСНИХОСЦФДПМЕСНИПРЕСПУВЛИН 4(51) 6 11 В 5 34ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(72) А. В. Ермолович и В. В. Петров (71) Институт проблем моделирования в энергетике АН УССР(56) 1. Патент Японии В 51-42485, кл. 6 Ц В 5/84, 1976.2. КовЬ 1 по Н., Онана 8. Орйхса 1 шейЬой ой йЬе Ьеай РоздЫопхпя 1 п шаяпейдс Йз 1 с зувСешз.-"1 ЕЕЕ Ттапз- . асИопв оп шарейсз" ,980,7.16, У 5, р.631-633 (прототип).(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ СЕРВОПОВЕРХНОСТИ ДИСКОВОГО МАГНИТНОГО НОСИТЕЗИ ИНФОРМАЦИИ, включающий нанесение маски на поверхностьосновы, заполнение немаскированныхучастков поверхности диффузно-отражающим материалом и удаление маски споверхности основы, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью повышения технологичности при одновременном повышении качества сервоповерхности, предварительно производятэлектрохимическое полирование поверхности основы, перед заполнением производят травление тех же участков, азаполнение осуществляют анодированием в том же электролите, что притравлении.1 11375Изобретение относится к области накопления информации, а именно к способам изготовлений магнитных но. сителей информации.Известен способ изготовления сервоповерхности, при котором растр получают путем, маскирования магнитного регистрирующего материала в местах расположения элементов растра с высоким отражением и формирования 1 О элементов растра с низким отражением путем окрашивания магнитного регистрирующего материала в немаскированных местах 11 .Недостатками известного способа 15 являются малая разность коэффициен" тов отражения и малая механическая стойкость, элементов растра.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемо О му результату является способ изготовления оптической сервоповерхности, при котором вся поверхность основы. диска анодируется, затем анодная пленка маскируется Фоторезистом в .25 местах расположения элементов растра с высоким отражением, после, чего формируются элементы растра с низким отражением путем .окрашивания анодной пленки в немаскированных местах, а ЗО слой магнитного регистрирующего мате-. риала наносится поверх растра, выполненного.на основе, после удаления маски из фоторезиста 12.Недостатками этого способа явля- З 5 ются малые коэффициенты отражения элементов растра и малая их разность, а также повышенные шумы носителя, вы 1 эываемйе модуляцией толщины магнитного. регистрирующего материала из-за порис О той структуры поверхности анодной пленки.Цель изобретения - повышение технологичности при одновременном повышении качества сервоповерхности.Поставленная цель достигается. тем, что согласно способу изготовления оптической сервоповерхности дискового магнитного носителя информации, вклю-чающему нанесение маски на поверхность 5 О основы, заполнение немаскированных участков поверхности диффузно-отражающим материалом и. удаление маски с поверхности основы, предварительно производят электрохимическое полирование 55 поверхности основы, перед. заполнением, производят травление тех же участков, а заполнение осуществляютанодирова 13кием в том же электролите, что и при травленииНа Фнг. 1 (а,б,в) показаны .сеченияосновы на различных этапах формирования растра (на фиг, 1 а - основа 1 с нанесенной маской из Фоторезиста 2;на Фиг. 16 - то же, после травления; на Фиг. 1 в - то же, после заполнения анодной оксидной пленкой 3); на фиг.2- Фрагмент носителяс оптической серво.поверхностью.Носитель информации на фиг. 2 содержит основу 1, участок 3 растра с низким коэффициентом отражения (анодную пленку), участок 4 с высоким коэффициентом отражения и,магнитный регистрирующий слой 5Оптическую сервоповерхность дискового магнитного носителя информации изготовляют следующим образом.После чистовой механической обработки проводят электрохимическое полирование основы 1 носителя, Затем наносят. маску из фоторезиста 2, по конфигурации соответствующую участкам растра с высоким коэффициентом отражения, производят экспонирование и проявление фоторезиста. В комбинированном электролите на основе хромовой или щавелевой кислот или их солей при плотности тока 8-10 А/дм про 2 изводят травление немаскированных участков поверхности основы до образования впадин. Затем в том же электролите при плотности тока 0 8 ЯЭ 1,0 А/дм производят анодирование впадин - заполнение наращиванием анодной оксидной пленки 3 до исчезновения рельфера поверхности, т,е. формирование участков растра с низким коэффициентом отражения. Под маской из фоторезиста 2 остаются участки4 с высоким коэффициентом отражения,который обеспечивается электрохимическим полированием. После удаления фоторезистивной маски 2 производятнанесение магнитного регистрирующегослоя 5.И зобретение позволяет значительноповысить технологичность процесса повысить качество сервоповерхности при уменьшении шумов носителя, поскольку повышается контраст между участками с высоким и низким коэффициентами отражения, а также уменьшается пористость структуры поверхности анодной пленки.1137513ег г Г г / г юФ Фр Г/ /. lСоставитель С. ИльчукРедактор М.Петрова Техред С,Легеза Корректор В. БутягаЗаказ 10533/39 Тираж 583 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, уЛ. Проектная, 4