Способ изготовления мишени для электронно-лучевого испарения
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1136942
Авторы: Карабанов, Крютченко, Соломенников, Чижиков
Текст
(19) (И) СОЮЗ ССВЕТСНИХСФВАЮППчешииРЕСПУБЛИК 4(51) В 28 В 3 00 С 04 В 35 64 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ,Н АВТОБУСНОМУ СВИДОЧЛЬСТВУ ГОСЗЩМфСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИЙ(72) С,М. Карабанов, О.Н. Крютченко, Г.В. Соломенников и А.Е. Чижиков (71) Рязанский радиотехнический институт(56) 1. Патент Великобритании В 1362396, кл. В 22 Г 3/00, 1974.2. Отраслевой стандарт ОСТ 4 ГО.054.028, 1975, редакция 2-74 (прототип).(54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ИСПАРЕНИЯпутем прессования ее в оправке идальнейшего спекания, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления иуменьшения загрязнения материала мишени, прессование и спекание мишениосуществляют в одной и той же оправке, при этом давление прессованиясоставляет 50-100 кгс/см 2, температура спекания 700-1200 С и длительность его 1-3 ч для обеспеченияплотности мишени, равной 0,4-0,7плотности исходного материала.2011369Изобретение относится к областитехнологии формирования полупроводниковых и диэлектрических покрытийметодом электронно-лучевого испарения (ЭЛИ) в вакууме и может бытьиспользовано при изготовлении изделий микроэлектроники, газоразряднойэлектроники, в частности при изготовлении газоразрядных индикаторныхпанелей. 1 ОИзвестен способ формированиямишеней из порошкообразных материалов, основанный на их прессовании.и последующей термообработке, обеспечивающий получение заготовок сплотностью, близкой к максимальной,характерной для массивных материалов 13.Однако использование этого способа сопряжено с рядом технологичес.ких трудностей: требуется специальное, сложное оборудование, не обеспечивается стабильный режим испарения мишеней.Наиболее близким к изобретениюявляется способ изготовления мишеней, в котором исходное порошкообразное вещество смешивается с бин- .дером (поливиниловый спирт) и прессуется при давлении 5 т/см 2, Полученная заготовка освобождается из оправки и проходит два цикла температурного отжига при 1200 С (выдержка 4-5 ч) и при 1500-1600 С (выдержка 20-30 мин). В этом случаеплотность получаемых мишеней ( Р ) З 5также близка к плотности соответствующего исходного массивного вещества (,п ) Г 23.Недостатки данного способа обусловлены загрязнением материала мишени продуктами разложения биндера,значительной продолжительностьюпроцесса (30 ч), необходимостью использования сложной технологическойоснастки.Целью изобретения является упрощение технологии изготовления иуменьшение загрязнения Материала мишени на ЭЛИ,Цель достигается тем, что согласно способу изготовления мишени дляэлектронно-лучевого испарения путемпрессования ее в оправке и дальнейшего спекания, прессование и спекание мишени осуществляют в одной и 55той же оправке, при этом давлениепрессования составляет 50-100 кгс/смгтемпература спекания 700 42 2 1200 С и длительность егой1-3 ч для обеспечения плотности мишени, равной 0,4-0,7 плотности исходного материала,Способ реализуется следующим образом.Исходные порошкообразные материалы засыпают в оправку, например,из кварца требуемого лнаметра и прессуют при давлении, обеспечивающемнеобходимую начальную формоустой -чивость мишени. Затем полученныезаготовки отжигают в той же самой оправке при температуре и длительности отжига, которые обеспечиваютполучение конечной плотности, равной 0,4-0,7 плотности исходного материала. Использование одной.и тойже оправки значительно упрощаеттехнологию изготовления мишени и одновременно устраняет источник еезагрязнения, так как в этом случаеотпадает необходимость использования биндера для обеспечения формо-устойчивости мишеней после прессования.Выбор конкретных параметров процесса формирования мишеней обсловлен электрофизическими свойствамиисходных материалов. Так, оптимальные условия при изготовлении мишеней из МяО и смеси окислов Сг 2 ОЗЧ О - 3102 могут быть определейыиз соответствующих экспериментальныхданных, отраженных в таблице,Выбор диапазонов изменения давления припрессовании и длительностиотжига производится с учетом простоты реализации и технологичностипроцесса изготовления мишени. Значение нижнего предела давления(50 кгс/см ) обусловлено, необходи 2мостью обеспечения достаточной начальной формоустойчивости мишени,верхнего (100 кгс/см ) - простотой реализации процесса прессования.Длительность отжига 1-3 ч. Приэтом минимальная длительность отжига (1 ч) связана с обеспечениемтребуемой плотности при максимально допустимой температуре отжига,которая составляет для выбранныхматериалов 1200 С. Это исключаетхимическое взаимодействие материаловмишени и оправки, а также сохраняетее механическую прочность. Диапазоны изменения температуры (7001200 С) отжига связаны с созданиемонеобходимой консчппй плотности мише694 2 4проводимости мишени из-за возникновения в ее объеме микропробоев по порам, вызванных зарядкой поверхностипри бомбардировке электронами. Этифакторы способствуют быстрому разогреву мишени и стабилизации испарения.При.плотности мишени выше указанного верхнего предела затрудняетсяустановление устойчивого режимаиспарения (трудно разогреть мишеньдо требуемой температуры, срывается процесс испарения из-за зарядкиее поверхности отрицательного знака),Апробация предложенного способапроводилась на различных порошКообразных материалах. Так, в частности, использование разработаннойтехнологии для изготовления мишеней из МеО и смеси окислов СГОзЧ 20-802 (таблица)позволяет получить в процессе ЭЛИ качественныепокрытия с воспроизводимыми электрофизическими свойствами.Таким образом предложенныйспособ изготовления мишеней позволяДлительность отжига, ч(0,4 ВНИНПВ Заказ 10382/10 Тираж 552 Подпмсыое филиал ППП пПатаатфег,Ужгород, ул.Проектвая, 4 3 113 ни при выбранных параметрах процесса.Выбор плотности мишени, равной 0,4-0,7 плотности массивного исходного материала, обусловлен следующими причинами.Нижний предел плотности мишени связан с необходимостью обеспечения минимально допустимой формоустойчивости мишени, предназначенной для ЭЛИ. Стальное испарение мишеней с меньшей плотностью невозможно из-за ее разрушения в процессе испарения и "разлета" ее фрагментов, вызванного электростатическим расталкиванием.При испарении мишени, имеющей плотность в пределах указанного диапазона, достигается стабильный режим испарения, гарантирующий получение пленок с воспроизводимыми электрофизическими свойствами. Это обусловлено пористой структурой мишени. Наличие пор обеспечивает, вопервых, большую глубину проникновения электронов и, как следствие этого, увеличение зоны нагрева (по сравнена с беспористь 1 м материалом), во-вторых, способствует увеличениюет существенно упростить технологиюих изготовления, улучшает качествополучаемых при ЭЛИ покрытий,
СмотретьЗаявка
3495143, 20.09.1982
РЯЗАНСКИЙ РАДИОТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
КАРАБАНОВ СЕРГЕЙ МИХАЙЛОВИЧ, КРЮТЧЕНКО ОЛЕГ НИКОЛАЕВИЧ, СОЛОМЕННИКОВ ГЕННАДИЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, ЧИЖИКОВ АЛЕКСЕЙ ЕГОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: B28B 3/00, C04B 35/64
Метки: испарения, мишени, электронно-лучевого
Опубликовано: 30.01.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1136942-sposob-izgotovleniya-misheni-dlya-ehlektronno-luchevogo-ispareniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления мишени для электронно-лучевого испарения</a>
Предыдущий патент: Способ формования изделий тонкой керамики и устройство для его осуществления
Следующий патент: Прессформа для горячего прессования
Случайный патент: Трапеция для буксирования воднолыжника