Устройство для измерения перемещения

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИРЕСПУБЛИК А 09) (11 З(51) С 01 В 9/О РРй 1 Р; ТВУ упаловнина тво СССР ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ САНИЕ ИЗОБРЕ АВТОРСКОМУ СВ ЕТ(71) Ленинградский ордена Лполитехнический институтим. М.И.Калинина(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯПЕРЕМЕЩЕНИЯ, содержащее двухчастотный лазер, выполненный с двумя противоположными выходами, оптическийфильтр и фотоприемник, установленныев ходе одного из излучений лазера,второй оптический фильтр, светоделитель, каретку, световозвращатель,установленный на каретке, светосоецинитель и Фотоприемник, расположенные в ходе второго излучения лазера,и фазометр, входы которого. электрически соединены с выходами обоихфотоприемников, о т л и ч а ю щ е -е с я тем, что, с целью повышенияточности измерения, оно снабженовторым световозвращателем, установленным накаретке, вторым светосоединителем и четырьмя световодаии,расположенными по ходу лучей за светоделителем, два световода установлены в прямом ходе излучения междусветодепителем и световозвращателями, два других - в обратном ходеизлучения от световозвращателей,жестко скрепленных вершинами одинс другим, а выход каждого из световодов, установленных в обратном ходеизлучения, оптически сопряжен с одним из фотоприемников через соответствующий светосоединитель, и каждый светосоединитель установлен перед одним из фотоприемников.1 113Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения перемещений объектав машино- и приборостроении.,Известно устройство для измерения 5перемещений объекта, содержащее лазер и интерферометр, состоящий изсветоделительного элемента, расположенного на пути световых лучей отлазера подвижного и неподвижного 10зеркал и фотоприемного устройства,установленного по ходу световыхлучей за полупрозрачной пластиной,При смещении подвижного зеркала15образованная интерференционная карти-на полос движется относительно щелиФотоприемного устройства, количествоинтерференционных полос, прошедшихчерез щель Фотоприемника, позволяет20судить о величине перемещения 1Недостатком такого устройстваявляется низкая точность, обусловпенная дискретностью значений измеря-.емых перемещений,Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является устройство для измерения перемещения,содержащее двухчастотный лазер, выполненный с двумя противоположнымивыходами, оптический фильтр и Фото 30приемник, установленные в ходе одногоиз излучений лазера, второй оптический Фильтр, светоделитель, каретку,световозвращатель, установленныйна каретке, светосоединитель и фо-З 5топриемник, расположенные в ходе второго излучения лазера, и Фазометр,входы которого электрически соединены с выходами обоих Фотоприемников 240Недостатком известного устройстваявляется невысокая точность измерения перемещения объекта, так как турбулентность атмосферы и наличиевибраций объекта вносят не учитываемую в устройстве погрешностьв измеренное значение перемещения.Цель изобретения - повышениеточности измерения.Указанная цель достигается тем,что устройство для измерения перемещения, содержащее двухчастотныйлазер, выполненный с двумя противоположными выходами, оптическийфильтр и фотоприемник, установленные 55в ходе одного из излучений лазера,второй оптический фильтр, светодели"тель, каретку, светоЮозвращатель,0736 2установленный на каретке, светосоединитель и Фотоприемник, расположенные в ходе второго излучения лазера,и фазометр, входы которого электрически соединены с выходами обоих фотоприемников, снабжено вторым световозвращателем, установленным на каретке, вторым, светосоединителем ичетырьмя световодами, расположенными по ходу лучей за светоделителег,два световода установлены в прямомходе излучения между светоделителеми световозвращателями, два других -в обратном ходе излучения от световозвращателей, жестко скрепленныхвершинами один с другим, а выходкаждого из световодов, установленныхв обратном ходе излучения, оптическисопряжен с одним из фотоприемниковчерез соответствующий светосоединитель, и каждый светосоединитель установлен перед одним из фотоприемников.На чертеже представлена схемапредлагаемого устройства.Устройство содержит двухчастотныйлазер 1, имеющий два противоположных выхода, оптический фильтр 2,светоделитель 3, световоды 4 и 5,установленные в прямом ходе излучения, световозвращатели 6 и 7 скрепУленные вершинами один с другим, каретку 8, на которой установлены световозвращатели 6 и 7, световоды9 и 1 О, отводящие излучение от световозвращателей 6 и 7, второй оптический фильтр 11, светосоединители12 и 13, плоскости которых совмещены с точками пересечения лучей излучения от обоих выходов лазера 1,фотоприемники 14 и 15,установленные за светосоединителями 12 и 13, и фазометр 16,электрически соединенный с фотоприемниками 14 и 15. Кроме того, начертеже показаны второй светоделитель17 и поворотное зеркало 18,гУстройство работает следующимобразом.Двухчастотное излучение от лазеравыходит из двух его противоположных выходов. Излучение после одного из выходов проходит оптическийфильтр 2, пропускающий одну из двухчастот лазера 1, прошедшее излучение направляют на светоделитель 3,представляющий полупрозрачное зеркало и пространственно делящий пучок излучения на два пучка. Оба