Горизонтальный турбомолекулярный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1130040
Авторы: Горбульский, Митрофанов, Одинцов
Текст
СО 303 СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИКГОСУДАРСТВЕННОЕ. ПАТЕНТНОЕВЩОМСТВО СССР (ГОСАТЕНТ ССС ТВУ ОПИСАНИЕ ИЗ К АВТ 0 РСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ(7 Щ Горбульский ЯХМитрофанов ГФОдинцовНА1130040 3Изобретение относится к вакуумнойтехнике,Известен горизонтальный трубомолекулярный насос, состоящий из чередующихсястаторных и роторных дисков и механических опор, установленных по обоим концамвала ротора.Недостатком этой конструкции является наличие в вакуумной полости паров мас ла, беэ которого механические опоры 10работать не могут,Наиболее близким к предлагаемому потехнической сущности и достигаемому результату является горизонтальный турбомолвкулярный насос, содержащий корпус и 15установленный в нем на двух осевых и двухрадиальных электромагнитных опорах ротор.Такая конструкция позволяет избежатьналичия паров масла в вакуумной полости 20насоса.Однако недостатком известного насосаявляется его низкая эксплуатационная надежиость, обусловленная. тем, что при изменении температуры во время работы насоса 25в результате температурного расширениявала ротора насоса изменяется зазор в. егоосевых электромагнитных опорах на величину, соизмеримую с величйной установочного зазора в осевой электромагнитной ЗОопоре.Целью изобретения является повышение эксплуатационной надежности насосапутем улучшения осевой стабилизации ро-.тора при различных температурных режимах.работы насоса.Указанная цель достигается тем, что вгоризонтальном турбомолекулярном насо-.се, Содержащем. корпус и установленный внем.на двух осевых и двух радиальных злектромагнитных опорах ротор, обе осевыеопоры расположены с одной стороны консоли вала ротора с зазором одна относительнодругой.45На чертеже изображен разрез описыва-емого насоса. Горизонтальный турбамолекулярный насос содержит корпус 1установленный в нем на двух осевых 2 и 3 и двух радиальных 4 и 5 электромагнитных опорах ротор 6. Обе осевые опоры 2 и 3 расположены с одной стороны консоли вала ротора 6 с зазором д.одна относительно другой.На роторе 6 размещен электродвигатель 7, Осевые опоры 2 и 3 содержат якоря 8 и 9. Кроме того, на роторе размещены роторные диски 10, а на внутренней поверхности корпуса 1 статорные диски 11.Насос работает следующим образом. При подаче питания на осевые и радиальные опоры осуществляется бесконтактная подвеска ротора 6. Полость корпуса 1 вакуумируется, а затем электропитание пОдается на электродвигатель 7, При вращении ротора 6 за счет взаимодействия роторных дисков 10 и статорных дисков И образуется газовый поток, создающий разрежение в откачиваемом обьеме. Температура ротора 6 турбомолекулярного насоса во время его работы колеблется от температуры окружающей среды ( 20 С) до температуры100 С, обусловленной выделением тепла в роторах электромагнитных опор и электродвигателя. Однако зто не может йривести к изменению осевого зазора д в осевых опорах, так какобе они размещены на одной консоли вала ротора и расстояние между их якорями (Омм);.выбранное из условия минимального взаимодействия потоков рассеяния осевых электромагнитных опор, таково, что температурные изменения его несоизмеримо меньше установочного зазора.В опйсываемом насосе изменение зазора между осевыми опорами при температурных колебаниями составляет 0,013 мм, что в 150 раэ меньше. изменения зазора в известных насосах. Таким образом, размещение осевыхопор с одной стороны консоли вала увели-.чивает надежность работы насоса.1130040 Составитель А.КузнецовТехред М,Моргентал Корректо исин Подти йоетентаая наб., 4 Ю ТиражНПО "Поиск" Рос113035, Москва, Ж, Рау каэ 319 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гаг101 5 6Ф о р мул а и зо бр е те н вя вышения эксплуатационной надежностиГОРИЗОНТАЛЬНЫЙ ГУРБОМОЛЯКУЛЯРНИЙНАСОС, содеРжащий корпус и режимах работы:насоса, обе осевые опоры установленный в нем на двух осевых и б расположены с Одной сторо ы консоли вадвухрадиэльныхзлектромагнитныхоперх ла ротора с зазором одна относительно ротор, отличеощийсю тем, что, с целью ао- другой
СмотретьЗаявка
3646061, 23.09.1983
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8721
Горбульский Я. Х, Митрофанов Г. Ф, Одинцов Н. А
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: горизонтальный, насос, турбомолекулярный
Опубликовано: 30.10.1993
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1130040-gorizontalnyjj-turbomolekulyarnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Горизонтальный турбомолекулярный насос</a>
Предыдущий патент: Способ вскрытия локальных участков в окисленной поверхности полупроводниковой пластины
Следующий патент: Тепловыделяющая сборка
Случайный патент: 189414