Стекло для межслойной изоляции
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1127859
Авторы: Бобкова, Рачковская, Шишканова
Текст
Известный 20,5 30-35 24,5 Бч.02 13,5 11,5 29,5 37,0 17,5 18-23 23-28 Вг ОзВаО 32,5 1 11278Изобретение относится к составамэлектроизоляционных стекол, которыерекомендовано использовать в микроэлектронике для создания изоляционных стеклокристаллических покрытийна керамической подложке при изоляции многоуровневой медной разводкикоммутационных плат.Известно стекло для спаиванияи межслойной изоляции, следующего 10состава, мас.Ж: РЪО 57-б 2; ВОз 13,5. 15,5; 83.0 1,3-1,5; ЕпО 13,0150 Г 13.Недостач ком указанного стеклаявляется наличие большого содержания токсичного оксида свинца, восстанавливающегося до металлическогов защитных средах, в частностив среде азота, приводящего к ухудшению электроизоляционных свойств 20стеклокристаллических покрытий.Наиболее близким по техническойсущности.и достигаемому результатук изобретению является стекло следую-,щего состава, мас.Ж: Бч.02 30,0-35; 25В О 18-23; ВаО 23-28; АГ Оз 4-б;ЕпО 15-17 Г 2 .Известное стекло не содержитв своем составе оксида свинца и,позволяет получить изоляционное покрытие по керамике, используя медную разводку вместо разводки из драгметаллов. Однако недостатком стеклаявляются невысокие электроизоляционные свойства получаемого на его осно 35ве покрытия: сравнительно низкоеэлектросопротивление и высокие диэлектрические потери, а также слабаяхимическая совместимость стеклас медью,.40Цель изобретения - повышениеэлектрического сопротивления и сниже. ние. тангенса угла диэлектрическихпотерь.Поставленная цель достигаетсятем, что стекло для межслойной изоляции, содержащее Яч.О, ВО, ВаО,Компоненты и свойства 59 2,А 10 э и ЕпО, дополнительно содержитСЙО при следующем соотношении компонентов, мас.7.:йо 20,5-27,5ВО. 11,5-17,5ВаО 29,5-37,0АЕ,О, б;5-8,5ЕпО 17,5-19,0СЙО 1,5-5,0Варку стекол осуществляют в газовой пламенной печи при температуре1450-1470 С. В качестве сырьевыхматериалов для приготовления шихтыиспользуют кварцевый песок, глинозем,борную кислоту, углекислый барий,оксиды цинка и кадмия.Конкретные примеры стекол и физико-химические свойства созданных наих основе изоляционных покрытийприведены в таблице. В качествеобразца для сравнения выбрано известное стекло. Как видно из таблицы, ситаллоцемент на основе предлагаемого стекла характеризуется по сравнению с базовым повышенным электрическим сопротивлением, величина которого на три порядка (10) выше, чем у известного, и низкими диэлектрическими потерями (й 8 СРпри 1=1,5 МГц : в 2 раза ниже). Улучшение изоляционных свойств стеклокристаллического по 1 крытия позволяет получить надежную изоляцию многослойных плат с медной разводкой, повысить надежность полупроводниковых приборов и интегральных схем. Кроме того, введение в состав стекла оксида кадмия улучшает химическую совместимость стек-, ла с медью (медной разводкой) в среде азота. Применение защитной среды (азота) при создании межслойной изоляции является обязательным условием при замене разводки из драгметалла на медную во избежание окисления меди.11127859 8,5 4 ЛпО 5 8,19,Физико-хсвойстваТе мическ мпература варк кла, С 0 14601 4 460 ь 10 1 с Температурачения .стекла 655110 660+ 10 660+ 20-65 й коэфейногопокрывале 22 54-60 б емное уд ктричес тивлени льное е со- покры эл пр ти 5,510 6,01 ф 5,9 10 месм Дите лектриче и покрыт д 104 при1=1,5 МГ к я 15-25 Т пература кристации, С 7015860 9 л ставитель Г.Буровцева.хред М.Надь Корректор Н.Корол Редактор Н.Яцо Тираж 468 ИПИ Государственного ко по делам изобретений Москва, Ж, Раушская
СмотретьЗаявка
3617647, 01.06.1983
БЕЛОРУССКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. С. М. КИРОВА
БОБКОВА НИНЕЛЬ МИРОНОВНА, РАЧКОВСКАЯ ГАЛИНА ЕВТИХИЕВНА, ШИШКАНОВА ЛЮДМИЛА ГЕОРГИЕВНА
МПК / Метки
МПК: C03C 3/22
Метки: изоляции, межслойной, стекло
Опубликовано: 07.12.1984
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1127859-steklo-dlya-mezhslojjnojj-izolyacii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Стекло для межслойной изоляции</a>
Предыдущий патент: Стекло
Следующий патент: Способ получения грунтового покрытия
Случайный патент: Устройство для измерения чувствительности и частотной избирательности каналов радиоприемника к побочным составляющим несущей частоты