Устройство для получения фольгированного протектора

СОЮЗ СОВЕТСКИХШЗВНВМ 4 аыРЕСПУБЛИК ности фольги, направляющие щ е е с я тем я адгезии фольанизм профили- ольги выполнен а, надетого барабан, приче о стороны испа- крорельефом км 3 етическое о от средней она еди т лъемн 2. Устрч ающебандаж выптической Ф ойство по п. 1 е с я тем, чт олнен из меднои ольги. е лиОПИСАНИЕ ИЭ(71) Государственный, научно-исследовательский, проектный и конструкторский институт сплавов и обработкицветных металлов(56) 1. ПатентСША Иф 3183563,кп. С 23 С 1308, 1963.2, Авторское свидетельство СССРУ 842110, кл. С 23 С 13/08, 1979(54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ,ФОЛЬГИРОВАННОГО ПРОТЕКТОРА, содержащее вакуумную камеру с расположенны-ми в ней термостатированным бараба-., ном, выполненным с возможностью вращения, испарителями, механизмом профилирования поверхнамоточный гаспель иролики, о т л и ч а ючто, с целью повышениги к диэлектрику, мехрования поверхности фв виде съемного бандажна термостатированныйповерхность бандажа срителей выполнена с мнсо следующими параметрамиЕ =0,5 - 2 мкм; а=0,7п 0 =0,5 - 2 мкм ,где Е - среднее арифмшение профилялинии;ш - число максимумоном отрезке;п 0 - число пересеченуровнем.1126628 3К =0,5 - 2 мкм; ш=0,7 - 3 мкм ф;и =0 5 - 2 мкй ",где К - среднее арифметическое отношение профиля от среднейт линии;ш - число максимумов на единнчевв ном отрезке;.и - число пересечений с нулевымфя уровнем,1 О Кроме того, съемный бандаж выполнен из медной электролитической Фольги.В такой конструкции устройстваобеспечивается практически полное15 без искажений копирование Фольгойэталонного микрорельеФа поверхности,и на которой цроисходит ее образование.с- Результатом этого является повы 20 шение адгезии фольги к диэлектрикупри их последующем соединении.На фиг. 1 показано устройствот- с механизмом профилирования поверхности фольги; на Фиг. 2 - устройствос механизмом профилирования и вторым термостатированным барабаномв" для нанесения подслоя.ь- Устройство содержит вакуумнуюкамеру 1, вращающийся термостатироЗО ванный барабан 2, механизм профили-рования Фольги, выполненный в видесъемного бандажа 3 с эталонным микрорельефом рабочей поверхности (Ко,==0,5 - 2 мкм; ш 0,7 " 3 мкм ";35 па0,5 - 2 мкм "). Под барабаномрасположены последовательно испаритель 4 материала Фольги, испаритель 5подслоя и иснаритель 6 протектора. Изобретение относится к металлургии, в частности к конструированиюустройств для получения фольгированного протектора, предназйаченногодля изготовления фольгированного диэлектрика,и может быть использовано в радиоэлектронике и вычислительной технике.Известно устройство для нолучениФольгнрованных материалов, содержа"щее вакуумную камеру, в которой размещен термостатированяый барабан,выполненный с возможностью вращенияиспаритель, направляющие ролики. Рамоточный гаспель гибкой подложкии намоточный гаспель фольги на гибкой подложке размещены вне вакуумнокамеры, Ввод гибкой подложки в камеру и ее вывод с фольгой на поверхноти осуществляется через систему шлюзов Г 13,Однако такое устройство не позволяет получить Фольгированный диэлек.рик с достаточн 6 высокой адгезиейслоев, так как имеется контакт поверхности диэлектрика с атмосферой,Наиболее близким к изобретению яляется устройство для получения фолгированного диэлектрика, содержащеевакуумную камеру с расположеннымив ней термостатированным барабаном,выполненным с возможностью вращенияиспарителями, механизмом профилирования поверхности фольги, намоточныигаспель и направляющие ролики 2.Однако это устройство не обеспечивает достаточной адгезии фольгипри последующем ее соединении с диэлектриком. Величина силы сцепленияпри этом не превышает 80-100 г мм-", 40например, для медной Фольги.Целью изобретения является повышение адгезии фольги к диэлектрику.Поставленная цель достигается тем,что в устройстве для получения фольгированного протектора, содержащемвакуумную камеру с расположенными в ней термостатированным барабаном, выполненным с возможностью вращения, испарителями, механизмом про Офилирования поверхности фольги,намоточный гаспель и направляющиеролики, механизм профилирования поверхности фольги выполнен в видесъемного бандажа, надетого на термостатированный барабан, причем поверхность бандажа со стороны испарителей;выполнена с микрорельефом со следую-щими параметрами:ф В камере также расположены узел отделения готовой продукции 7, направляющие ролики 8 и намоточный гаспель готовой продукции 9. Испарители разделены экранами 10.Устройство может быть также снабжено вторым термостатированным бара- . баном 11, что повышает надежность работЫ устройства.Устройство работает следующим образом. По достижении в камере 1 заданного вакуума и температуры термостатированного барабана 2 на поверхность бандажа, который опоясывает барабан, при непрерывном вращении последова" тельно осаждают из испарителей 4-6 материал фольги, подслоя и протектора соответственно.б 28 4.например ротапринтной, толщиной100 мкм.Фольгированный протектор, жолученный на предложенном устройстве, соединяют с диэлектриком "СТАП" и определяют величину силы сцепления междуними.Сравнительные данные приведены .в таблице. Устройство еличина силы сцепения, г мм Известное 80-100 Предлагаемое вариант с 1 барабаном200-220 с 2 барабанами 150-170 сСоставитель Н.СеребрянниковаРедактор Т.Веселова Техред,М.Кузьма К оррктор А.Ильин3 аказ Яб 45/21 ВНИИПИ Гос по дТираж 899 арственно ам иэобре Ж"35, Рау Подписн о комитета СССР ений и открытий ская наб., д. 4/5 н 1Патент , г.ужгород-, ул.Проектная, 4 илиал 3 1126Готовое изделие непрерывно отделяется узлом 7 от барабана 2 и с по-, мощью ролика 8 сматывается на гаспель 9.Работа в устройстве с двуми термостатированными барабанами осуществляется следующим образом.По достижении в камере 1 заданного вакуума и температуры термостатированных барабанов 2 и 11 на поверх- Ю ность бандажа 3, опоясывающего бара баи 2, при иеирерывиом его вращении осаждают из исиарителя б материал протектора, который непрерывно затем отделяется узлом 7 и с помощью роли- ц ков 8 передается иа термостатирован ный барабан 11 таким образом, что на его поверхность, скопировавшую эталонный михрорельеФ поверхности бандажа, наносится последовательно из ис ф парителей 5 подслой и из 4 - материал Фольги. Готовое изделие сматывается на гаспель 9.Устройство использовалось при получении Фольгированного протектора,И в котором материалом Фольги толщиной 5 мкм служила медь, материалом протектора - медь толщиной 50 мкм, в ка.честве подслоя использовали хром.30Бандаж с эталонным микрорельеФом поверхности выполняли .из медой электролитической Фольги толщиной 35 мкм или алюминиевой щероховатой Фольги,Как видно иэ таблицы, адгезия Фольги к диэлектрику, полученная на предложенном устройстве, в 1,5-2,5 раза выие, чем на известном.Применение фольгированного диэлект-, рика с такой адгеэией позволяет создать материал для печатных схем с тонкими линиями проводки (О, 1- О, 15 мм), который используется для печатньи плат ЭВМ.