Диффузионный вакуумный насос

Изобретение относится к области вакуумной техники.Известен диффузионный насос, содержащий корпус с сопловым блоком и конденсационную поверхность,Однако создание предварительного разрежения, необходимого для запуска насоса, и форвакуумную откачку обычно про. изводят механическими насосами, которые могут стать,:па крайней мере в аварийных ситуациях, источником проникновения масла в откачиваемый объем.Известен также диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус, размещенную в нем криогенную панель с вакуумной полостью. в которой расположен сопловой блок, и поддон, отделяющий вакуумную полость от сборника конденсата.В известном насосе несколько расши. рен диапазон рабочих давлений за счет использования в насосе криогенной панели.Однако для создания форвакуума используются дополнительныв средства откачки.Целью изобретения является расширение диапазона рабочих давлений.Укаэанная цель достигается тем, что диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус, размещенную в нвм криогенную панель с вакуумной полостью, в которой расположен сопловой блок, и поддон, отделяющий вакуумную полость от сборника конденсата, снабжен кольцевым экраном. установленным между корпусом и криогенной панелью и образующим с первым из них полость предварительна вакуумирования, а со второй - форвакуумную полость, сборник конденсата снабжен размещенным на его днище слоем адсорбентв, а поддон-клапаном. сообщающим полость предварительного вакуумирования с вакуумной полостью,На чертеже изображен описываемый насос, продольный разрез.Диффузионный вакуумный насос содержит корпус 1, размещенную в нем криогенную панель 2 с вакуумной полостью 3, в которой расположен сопловой блок 4 и поддон 5, отделяющий вакуумную полость 3 от сборника конденсата 6,Насос снабжен кольцевым экраном 7, установленным между корпусом 1 и криогенкой панелью 2 и образующим с первым из них полость 8 предварительного вакуумирования, а со второй - форвакуумную полость 9, сборник 6 конденсата снабжен размещенным не его днище слоем адсорбента 10, а поддон 5- клапаном 11, сообщающим полость 8 предварительного вакуумирования с вакуумной полостью 3.Форвакуумная полость 9 сообщается с вакуумной полостью 3 клапаном 12. Поддон 5 сообщен со сборником 6 конденсата по средством клапана 13.В форвакуумной полости 9 расположенадсорбент 14.В начальный момент клапаны 12 и 11 10 закрыты, адсорбент 10 регенерирован, клапан 13 открыт. В полость панели 2 заливается жидкий азот и начинается откачка паров азота в верхней части панели 2, при этом происходит сначала охлаждение пане-.15 ли 2 до температуры жидкого азота, а затеми ниже вплоть до 64 К, До этой же темпе.ратуры охлаждается поддон 5 и адсорбент 14, расположенный на внешней поверхности панели 2 в форвакуумной полости 9. При 20 снижении температуры панели 2 ниже 77 Кначинается конденсация в жидкую фазу основных компонентов воздуха иэ реципиента, Конденсат стекает в поддон 5 и через открытый клапан 13 поступает в сборник 6, 25 постепенно охлаждая его, адсорбент.10,расположенный на днище, и экран 7, Таким образом, происходит понижение давления в реципиенте от 760 Торр до 100 Торр, после чего клапан 13 закрывается, клапан 30 11 открывается и происходит дальнейшеепонижение давления за счет поглощения газа адсорбентом 10, который работает до насыщения или полного выпаривания конденсата из сборника 6. При понижении 35 давления в реципиенте до 1 10 Торр клапан 11 закрывается, а клапан 12 открывается, одновременно подается рабочее тело(например СО 2) в сопловой блок.4 диффузионной ступени. Рабочее тело, истекая из соплового блока 4 в направлении поддона 5, захватывает молекулы откачиваемого газа, сжимает его, Откачиваемый газ через клапан 12 поступает в форвакуумную полость 9и поглощается адсорбентом 14, а рабочеетело, соприкасаясь с поверхностью панели2. конденсируется на ее поверхности в твердый криоосадок,Описываемое техническое решение позволяет расширить диапазон рабочих давлений диффузионного. вакуумного насоса от атмосФерного до сверхвысокого (порядка 1 10 Торр), обеспечив при этом высокую-8компактность насоса за счет выполнениясорбционной ступени предварительного вакуумирования встроенной и использованиедля ее криоохлаждения конденсата откачиваемого воздуха,56) Авторское свидетельство СССРМ 889901, кл, Е 04 Е 9/02, 1980,1100974 Составитель Е,ВеликановТехред М;Моргентал Редактор А.Колосков орректор Е.Па Тираж Подписное НПО " Поиск" Роспатента113035, Москва. Ж-.35, Раущскав наб 4/5 аказ 3182 оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина,