Устройство для управления технологическим процессом

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИК А 5 19) 80 П 1) 0 б 05 В 11/01 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н,СС рот РАВЛЕ- РОЦЕСающееся ости устдены два й и треый счете цифроГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМ ПСОМ по авт. св.924660, отличтем, что, с целью повышения точиройства, в него дополнительно ввеинвертора, второй генератор, второтий элементы совпадения, реверсивнчик и последовательно соединенны анало лител рого дом один элеме ключ выход трети входа рого логов инвер мента анало выход ратор треть говый преобразователь, второй усиь и третий компаратор, выход кото- непосредственно связан с вторым вховторого элемента совпадения и через из инверторов - с входом третьего нта совпадения, а второй вход поден к источнику опорного напряжения,первого компаратора через второй и й элементы совпадения соединен с ми реверсивного счетчика, выход кото- соединен с цифровым входом цифроанаого преобразователя, а через первый тор - с вторым входом первого элесовпадения, аналоговый вход цифрогового преобразователя соединен с ом первого усилителя, а второй гене - с третьими входами второго и его элементов совпадения. Фсэтих факторов приводит к появлению ложных срабатываний, т, е. к недостаточной 40 точности работы устройства.Целью изобретения является повышение точности устройства.Эта цель достигается тем, что в устройство дополнительно введены два инвертора, 45 второй генератор, второй и третий элементы совпадения, реверсивный счетчик и последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь, второй усилитель и третий компаратор, выход которого непосредственно связан с вторым входом второго 50 элемента совпадения и через один из инверторов - с входом третьего элемента совпа 55 Изобретение относится к автоматике и может быть использовано в системах управления технологическими процессами.По основному авт. св, Мо 924660 известно устройство, содержащее фотоэлемент, вых".д которого подключен через усилитель к первому входу первого компаратора, первый и второй ключи, первую и вторую КС-цепочки, сумматор, генератор, второй компаратор элемент совпадения, блок выделения максимума и аттенюатор, вход которого подключен через блок выделения максимума к выходу усилителя и к входам первого и второго ключей, а выход - к второму входу первого компаратора, выход которого соединен с первым входом элемента совпадения, управляющие входы первого и второго ключей соединены соответственно с первым и вторым выходами генератора, а выходы - соответственно через первую и вторую КС-цепочки с первым и вторым входами сумматора, первый и второй входы второго компаратора соединены соответственно с выходами сумматора и источника опорного напряжения, а выход - с вторым входом элемента совпадения 11.Недостатком известного устройства является наличие ложных срабатываний, вызванных некоторыми особенностями процесса плазмохимического травления: запыление смотрового окна реакционной камеры, вызванное осаждением на поверхность стекла продуктов реакции; измерение степени разряженности в реакционной камере, вызванное нестабильностью натекания рабочих газов; изменение мощности ВЧ-генератора,Влиянием этих факторов на точность работы устройства в ходе одного цикла обработки полупроводниковых пластин можно пренебречь, ибо изменение интенсивности излучения продуктов реакции, на которое они влияют, достаточно мало. Однако при более длительном периоде работы влияние дения, а второй вход подключен к источнику опорного напряжения, выход первого компаратора через второй и третий элементы совпадения соединен с входами реверсивного счетчика, выход которого соединен с цифровым входом цифроаналогового преобразователя, а через первый инвертор - с вто 5 1 О 15 20 25 зо 35 рым входом первого элемента совпадения, аналоговый вход соединен с выходом первого усилителя, а второй генератор - с третьими входами второго и третьего элементов совпадения.На чертеже изображена структурная схема устройства,Устройство для управления технологическим процессом содержит фотоэлемент 1, первый усилитель 2, первый компаратор 3, схему 4 выделения максимума, аттенюатор 5, первый и второй ключи 6 и 7, первую и вторую КС-цепочку 8 и 9, сумматор 10, второй компаратор 11, первый элемент совпадения 12, первый генератор 13, первый инвертор 14, второй генератор 15, второй 16 и третий 17 элементы совпадения, реверсивный счетчик 18, цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) 19, второй усилитель 20, третий компаратор 21, второй инвертор 22.Устройство работает следующим образом.После начала процесса на выходе фотоэлемента 1 повышается уровень сигнала, который через усилитель 2 поступает на входы блока 4 выделения максимума, первого компаратора 3 и аналоговый вход ЦАП 19, задачей которого является установление такого коэффициента усиления сигнала по аналоговому входу, который бы обеспечивал в момент времени срабатывания первого компаратора 3 равенство сигналов с выхода второго усилителя 20 и опорного сигнала на входе третьего компаратора 21. После этого полученное значение коэффициента усиления на ЦАП (который фиксируется с выхода реверсивного счетчика 18) фиксируется на постоянном уровне до окончания процесса. Происходит это следующим образом. В момент начала процесса запускается второй генератор 15, сигналы с которого через второй элемент совпадения 16 подаются на вход прямого счета реверсивного счетчика 18, в то время как первый элемент совпадения 17 закрыт логическим О с второго инвертора 22, Напряжение на выходе второго усилителя 20 увеличивается до момента равенства опорному сигналу на выходе третьего компаратора 21. В этот момент сработает компаратор 21 и импульсы с второго генератора 15 будут поступать на вход обратного счета реверсивного счетчика 18 через первый элемент совпадения 17. Это будет продолжаться до момента срабатывания первого компаратора 3, когда элементы совпадения 16 и 17 закрываются, фиксируя тем самым коэффициент усиления ЦАП на постоянном уровне, а на вход элемента совпадения 12 через первый инвертор 14 поступает сигнал, подготавливающий систему к срабатыванию. Сигнал с выхода второго усилителя 20 дифферен1087957 Соста витель Г. Н ефедо ва Техред И. Верес Корректор А, Зимокосов Тираж 842 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4(5 Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Редактор С. ЛыжоваЗаказ 2672(44 цируется и при достижении определенного значения вызывает срабатывание второго компаратора 11. Дифференцирование происходит следующим образом. Сигнал с выхода второго усилителя 20 через первый и второй ключи 6 и 7 поочередно подается на первую и вторую КС-цепочки 8 и 9. На выходе сумматора 10 будет выделяться напряжение, пропорциональное производной.Использование изобретения позволяетвести технологические процессы при одинаковых, фиксированных условиях, обеспечивающих существенное увеличение точности окончания процессов.