Способ определения содержания влаги в герметизированных электронных приборах

(56) 1. Патент ВеликобританииФ 1185827,кл. О 1 Н, опублик. 1970.2. ВакМег Н. 1 п 21 пе шеазпгешепСоГ шодзпге п зеа 2 ей 1,С.асКарез."РМ 2 дрз Те 1 есошшшпсай 2 оп Ееч 1 еч",чо 1,37, Но 1, 1979, р. 11-19 (про-тотип),(54)(57) 1, СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ВЛАГИ В ГЕРМЕТИЗИРОВАННЫХЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРАХ, включающийохлаждение исследуемого герметизированного электронного прибора до температуры не ниже температуры точки росы, последующее повышение температуры и фиксацию температуры в момент появления росы внутрй исследуемого герметизированного электронного прибора, по которой определяют искомое содержание влаги, о т л и - фч а ю щ.и й с я тем, что, с целью повышения точности, исследуемый герметизированный электронный прибор помещают в поле СВЧ-волны и момент появления росы определяют по скачкообразному изменению параметров СВЧ-волны, причем охлаждение ведут до температуры не ниже температуры, соответствующей. предельно допустимому содержанию влаги для данного типа герметизированного электронногоприбора;10830992. Способ по п.1, о т л и ч а ю - . росы в исследуемом герйетизирощ и й с я тем, что повышение темпе- ванном электронном приборе сураФуры ведут до температуры, не пре" . дят о повышенном содержании влавышающей 223 К, и при отсутствииги,(1Изобретение относится к контролю Эцажйости газовых сред физическими методами,в.частности к контролю наличия влаги в полостях различных герметизиро ванных изделий, например электронных и полупроведниковых приборов, электроннык модулей, интегральных схем и тедеИзвестен способ неразрушающего детектирования влаги. на внутренней поверхности такого рода изделий с использованием кондуктометрических датчиков поверхностей влажности, рабочие поверхности которых совпадают с контролируемой поверхностью 11,Появление пленки влаги иа этой поверхности резко увеличивает электрическую проводимость, измеряемую между электродами, и приводит в действие сигнализирующее устройство. Недостатками указанного способа детектирования влаги является необходимость встраивания в изделие дополнительных элементов (электродов с электрическими выводамн) и невозможность обнаружения влаги в газообразном состоянии (водяной пар) .Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является способ определения содержания влаги в герметизированных электронных приборах, включающий охлаждение исследуемого герметизированного электронного прибора до температуры не ниже температуры точки росы, последующее повышение температуры и фиксацию температуры в момент появления росы внутри исследуемого герметизированного электронного прибора по которой определяют искомоесодер-,жание влаги 23 В способе применен детектор росы емкостиого типа, действие которого основано на изменении электрической емкости между двумя электродами, напесенными предварительно на поверхность элемента интегральной схемы.Для получения информации о значениитемпературы точки росы газовой 5 среды внутри контролируемой интегральной схемы анализируют графикизависимости емкости между электродами от температуры в процессе плавного изменения температуры контролируемого иэделия. На этих глафикахтемпература точки росы соответствуетопределенной точке..:, Недостатком известного способа 15 является низкая точность.Цель изобретения - повышение точности.Поставленная цель достигаетсясогласно способу определения содержания влаги в герметизированныхэлектронных приборах, включающемуохлаждение исследуемого герметизиро. ванного электронного прибора до температуры не ниже температуры точкиросы, последующее повышение температуры и фиксацию температуры в момент появления росы внутри исследуемого герметизированного электронногоприбора, по которой определяют иско" ЗО мое содержание влаги, при которомисследуемый герметизированный электронный прибор помещают в поле СВЧволны и момент появления росы опре,деляют по скачкообразному изменению З 5 параметров СВЧ-волны, причем охлаждение ведут до температуры не нижетемпературы, соответствующей предельно допустимому содержанию влаги дляданного типа герметизированного щ электронного прибора.При этом повышение температурыведут до температуры, не превышающей 273 К, и при отсутствии росы в исследуемом герметизированном электронном приборе судят о повышенном содержании влаги.1083099 Составитель Ю.МамонтовТехред Л.коцюбняк Редактор С.Юско Корректор М.Шароши Заказ 1734/38 Тираж 823 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретеиий и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул . Проектная, 4 На чертеже приведена зависимость,характеризующая изменение фазовогосостояния влаги и ее диэлектрической проницаемости Е в процессе повышения температуры С. Значение Свыбирается равным= Т, где Ттемпература точки росы, соответствующая влагосодержанию Хв внутриизделия, допустимому по техническимусловиям или другим регламентирующим документам для данного типа изделий,.Температура конденсации й Кравна 273 К.Если влагосодержание Х газовойсреды внутри изделия меньше Хо, т.е,температура точки росы ь меньше 7то влага в диапазоне температурбудет оставаться в твердойфазе (лед) с диэлектрической проницаемостью, близкой к 1.Взаимодействие радиоволн СВЧ сконтролируемым изделием осуществляется одним из известных способов,например контроль изделия можетосуществляться проходящей волнойлибо отраженной волной, а такжепомещением исследуемого прибора врезонатор или волновод возбуждаемыйгенератором СВЧ.Способ реализуется следующим образом,Исследуемый герметизированныйэлектронный прибор охлаждают с погмощью устройства охлаждения до температуры о, облучают его от источника радиоволн СВЧ и затем нагреваютдо температуры 273 К. Температурао5 равна минимальному целесообразномудля данного типа иэделий значениютемпературы точки росы, ниже которойохлаждать изделие нет практическойнеобходимости. При этом состояниеисследуемого герметизированногоэлектронного прибора контролируетсяизлучением СВЧ, которое реагируетна скачкообразное изменение диэлектрической проницаемости в момент дос тижения температуры точки росы (появление водной пленки конденсата).По этому значению определяют содержание влаги. Ю Предлагаемый способ не требуетоснащения исследуемого герметизированного электронного прибора какимилибо дополнительными элементами,датчиками получения и расшифровки 25 графиков, Благодаря этому обеспечивается упрощение способа и повышается производительность изделий.Применение предлагаемого способадает значительный технико-экономи ческий эффект благодаря сокращениюбрака от наличия влаги в изделияхэлектронной, радиотехнической идругих отраслях промышленности.