Криогенный насос

ОЮЗ СОВЕТСКИХОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1043350 19) Я Э(50 Г 04 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ К ля прохода газа и дному отверстию а криопанели растояниях от экрана ьные прорези, смео другой у соседс одину, равешеныкриом, что полым снаба его отра- Й 3 ф ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) (57) 1. КРИОГЕННЪй НАСОС, со-".) держащий корпус с входным отверстием и встроенным охладителем и концентрично установленные на последнем с тепловым кон-, тактом теплозашитный экран, криопанели и оптически непроницаемую решетку с от ражателем, отличающийся тем, что, с целью повышения откачных характеристик, отража+:. тель снабжен каналами д размещенным соосно вх экранируюшим стержнем, положены на равных расс и решетки и имеют продол шенные одна относительн них криопанелей.2. Насос по и, 1, о что прорези криопанелей р иаковым угловым шагом, ную расстоянию между одна относительно другой панелей на половину угл3. Насос по п. 1, отли экранируюший стержень из высокотеплопроводного жен отверстиями для пр внешняя поверхность им жательную способность. тли чающиися асположены имеют шири ними, и см у соседних вого шага. ающийся те выполнен материала,охода газа,ет высокуюИзобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенныхвакуумных насосов,Известен криогенный насос, содержащийкорпус с встроенным охладителем, на котором с тепловым контактом закреплены теплозащитный экран с жалюзийной решеткойи криопанели 1.Недостатком данного насоса является небольшая быстрота действия вследствие значительного сопротивления потоку откачиваемого газа, создаваемого жалюзийной решеткой.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является криогенный насос, содержащий корпус с входным отверстием и встроенным охладителем и концентрично установленные на последнем с тепловым контактом теплозащитный экран, криопанели иоптически непроницаемую решетку с отражателем 2,Недостатками известного насоса являются небольшая быстрота действия вследствие газоиепроницаемости отражателя и малой эффективности поверхности конденсации криопанелей, а также невысокий предельный вакуум вследствие недостаточно эффективной заШиты криопанелей от отраженного теплового потока,Цель изобретения - повышение откачных характеристик насоса.Указанная цель достигается тем, что вкриогенном насосе, содержащем корпус свходным отверстием и встроенным охладителем и концентрично установленные на последнем с тепловым контактом теплозащитный экран, криопанели и оптически непроницаемую решетку с,отражателем, последнийснабжен каналами для прохода газа и размещенным соосно входному отверстию экранирующим стержнем, а криопанели расположены на равных расстояниях от экранаи решетки и имеют продольные прорези,смещенные одна относительно другой у соседних криопанелей.Кроме того, прорези криопанелей расположены с одинаковым угловым шагом, имеют ширину, равную расстоянию между ними, и смещены одна относительно другой усоседних криопанелей на половину угловогошага.При этом экранирующий стержень выполнен полым из высокотеплопроводного материала, снабжен отверстиями для проходагаза, а его внешняя поверхность имеет высокую отражательную способность.На фиг. 1 представлен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг, 1.Криогенный насос содержит корпус 1 свходным отверстием 2 и встроенным охладителем 3 и,концентрично установленные на последнем с тепловым контактом тепло- защитный экран 4, криопанели 5 и б и оптически непроницаемую решетку 7 с отражателем 8, причем последний снабжен каналами 9 для прохода газа и размещенным соосно входному отверстию 2 экранирующим стержнем 10, а криопанели 5 и б расположены на равных расстояниях от экрана 4 и решетки 7 и имеют продольные 10 прорези 11 и 12, смещенные одна относительно другой у криопанелей 5 и б. Прорези 11 и 12 криопанелей 5 и б расположены с одинаковым угловым шагом имеют ширину 1, равную расстоянию Ь между ними, и смещены одна относительно другой у криоп анелей 5 и 6 на половину углового шага, т е. на ц 2. Экранирующий стержень 10 выполнен полым из высокотеплопроводного материала, снабжен отверстиями 13 для прохода газа, а его внешняя поверхность имеет высокуюотражательную способность. Кроме того, на обращенных друг к другу поверхностях криопанелей 5 и 6 нанесен слой адсорбента 4, например активированный уголь,Насос работает следующим образом.После откачки объема корпуса 1 до давления запуска включается охладитель 3 и происходит охлаждение элементов насоса до рабочих температур: теплозащитного экрана 4, решетки 7, отражателя 8 и экранирующего стержня 10 - до 80-90 К, а криопанелей 5 и б - до 14 - 16 К, Откачиваемый газ попадает в объем корпуса 1 насоса через входное отверстие 2. Легкоконденсируемые компоненты газа (пары воды, углеводороды и др.) конденсируются на поверхностях теплозащитного экрана 4, решетки 7, отражателя 8 и стержня 10. Такие компоненты откачиваемого газа, как азот, кислород, аргон, окись углерода, конденсируются на поверхностях криопанелей 5 и 6, обращенных к экрану 4 и решетке 7. Труд.40 ноконденсируемые компоненты (водород, неон и гелий) проникают через прорези 11 и 12 и сорбируются адсорбентом 14.Тепловое излучение, попадающее в полость насоса через входное отверстие 2, отражается отражателем 8 в направлении решетки 7, поглощающей это излучение. Экранирующий стержень 10 перекрывает центральную часть насоса и предотвращает попадание отраженного теплового излучения от отражателя 8 и переотраженного излучения от решетки 7 на криопанели 5 и 6.Применение предлагаемого криогенногонасоса обеспечивает хороший доступ газа к криопанелям и эффективную защиту их от теплового излучения, тем самым повышая его откачные характеристики..;. "6 рста вите о, Техреду И. Вере Ти рай:665 ВНИИПИ Государственног по делам йзобретени 113035, Москва, Ж. в35, Р филиал ППП Патент., г. УжРедактор С. Саенк Заказ 7304/37 ль В. Кряковкинс Корректор В. БуПодписноео комитета СССРй и открытийаушская наб., д. 4/5город ул Проектная 4 тяга