Вертикальный турбомолекулярный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(54) (57) ВЕРТИКАЛ ЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСО пус и расположенный тренней полостью, уста стержне, опирающемся личающийся тем, что, динамической неуравно подпятник расположен ти ротора. 1521798,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРпо делАм изОБРетений и ОткРытии(56) 1. Патент Великобританиикл. Г 1 С, 19782. Авторское свидетельство ССС737657, кл. Г 04 Р 1904, 1976 ЪНЫЙ ТУРБОМОС, содержащий корв нем ротор с внуовленный на гибкомна подпятник, отс целью уменьшения вешенности ротора, выше центра тяжесИзобретение относится к вакуумной технике.Известен вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус, ротор с магнитными подшипниками, причем момент инерции ротора относительно оси врашения больше момента инерции относительно поперечной оси, проходящей через центр тяжести ротора 1.Недостатком такого насоса является большой радиальный размер ротора по сравнению с его высотой, что не позволяет получить достаточную компрессию.Наиболее близким к изобретению является вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник 2.Однако в известном насосе не достигается динамическая уравновешенность ротора.Целью изобретения является уменьшение динамической неуравновешенности ротора.Указанная цель достигается тем, что в вертикальном турбомолекулярном насосе, содержащем корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на гибком стержне, опирающемся на подпятник, подпятник расположен выше центра тяжести ротора. На фиг. 1 изображен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - узел 1 на фиг, 1.Вертикальный турбомолекулярный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на гибком стержне 3, опирающемся на подпятник 4, расположенный выше центра тяжести ротора 2,Подпятник 4 запрессован в стакан 5 дем пфера. 5 1 О 15 зо 25 зо 35 Демпфер содержит корпус 6, заполненный маслом. Стакан 5 в верхней части снабжен пружинами 7. Станка 5 размещен в корпусе 6 с зазором 8. Ротор 2 приводится во вращение электродвигателем 9.Работа турбомолекулярного насоса осуществляется следующим образом.Ротор 2 раскручивается с помощью высокочастотного электродвигателя 9. При вращении ротор 2 опирается поверхностью стержня 3 на подпятник 4. Так как подпятник 4 запрессован в стакан 5 демпфера, то возникающие при вращении ротора 2 высокочастотные и низкочастотные колебания гасятся. При этом пружины 7 в совокупности со стержнем 3 гасят низкочастотные колебания, а зазор 8 - высокочастотные. Величина жесткости пружины 7, а также величина зазора 8 выбирается в зависимости от следующих факторов: массы ротора; момента инерции ротора относительно оси вращения; момента инерции ротора относительно поперечной оси, проходящей через центр тяжести ротора.Благодаря расположению центра тяжести ротора 2 ниже осевой точки опоры за счет силы собственного веса ротора 2 появляется дополнительный стабилизирующий фактор, защищающий роторную систему от сил гидроскопического происхождения.Кроме того, осевая игольчатая опора представляет собой комбинированный радиально-упорный подшипник скольжения и обеспечивает эффективное демпфирование ротора.Радиальный размер ротора предлагаемого насоса может находиться вне зависимости от его высоты, что позволяет изготавливать роторы с оптимальным количеством ступеней, от числа которых зависит величина предельного остаточного давления, достигаемого с помощью турбомолекулярного насоса.СостТехред ТиражВНИИПИ Государсноделам изоб113035, Москва, Ж - Филиал ППП Патент,яшина витель 0 И. Верес 665 венного ретений 35, Рау г. Уж го комитет и открышская на од, ул. Редактор И. ШуллаЗаказ 5971/35 Корректор В. ГирняПоднисноеа СССРтийб., д. 4/5Проектная, 4
СмотретьЗаявка
3287657, 24.03.1981
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Г-4857
БАХТЕРЕВ БОРИС КОНСТАНТИНОВИЧ, ПЕЧЕРКИН ЛЕОНИД ПЕТРОВИЧ, БАЛИМОВ ВАЛЕРИЙ ЕФИМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: F04D 19/04
Метки: вертикальный, насос, турбомолекулярный
Опубликовано: 23.08.1983
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1036956-vertikalnyjj-turbomolekulyarnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вертикальный турбомолекулярный насос</a>
Предыдущий патент: Центробежный вентилятор
Следующий патент: Подшипниковая опора центробежного насоса
Случайный патент: Карбюратор двигателя внутреннего сгорания с системой холостого хода